Η VeTek semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής υλικών επίστρωσης καρβιδίου τανταλίου για τη βιομηχανία ημιαγωγών. Οι κύριες προσφορές προϊόντων μας περιλαμβάνουν εξαρτήματα επίστρωσης καρβιδίου τανταλίου CVD, εξαρτήματα επίστρωσης πυροσυσσωματωμένου TaC για ανάπτυξη κρυστάλλων SiC ή διαδικασία επιτάξεως ημιαγωγών. Πέρασε το ISO9001, το VeTek Semiconductor έχει καλό έλεγχο ποιότητας. Η VeTek Semiconductor είναι αφιερωμένη στο να γίνει καινοτόμος στη βιομηχανία επικάλυψης καρβιδίου τανταλίου μέσω της συνεχούς έρευνας και ανάπτυξης επαναληπτικών τεχνολογιών.
Τα κύρια προϊόντα είναιΔακτύλιος εκτροπής επικάλυψης καρβιδίου τανταλίου, δακτύλιος εκτροπής με επίστρωση TaC, εξαρτήματα μισής σελήνης με επικάλυψη TaC, Πλανητικός δίσκος περιστροφής με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου (Aixtron G10), Χωνευτήριο με επικάλυψη TaC. Δακτύλιοι με επίστρωση TaC. Πορώδης γραφίτης με επικάλυψη TaC. Επικάλυψη γραφίτη με καρβίδιο τανταλίου. Δακτύλιος οδηγός με επίστρωση TaC. Πλάκα με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου TaC. Επικαλυμμένο με TaC Susceptor Wafer; Δακτύλιος επίστρωσης TaC. Κάλυμμα γραφίτη με επίστρωση TaC. Κομμάτι με επικάλυψη TaCκ.λπ., η καθαρότητα είναι κάτω από 5 ppm, μπορεί να καλύψει τις απαιτήσεις των πελατών.
Ο γραφίτης επίστρωσης TaC δημιουργείται με την επίστρωση της επιφάνειας ενός υποστρώματος γραφίτη υψηλής καθαρότητας με ένα λεπτό στρώμα καρβιδίου του τανταλίου με μια ιδιόκτητη διαδικασία Chemical Vapor Deposition (CVD). Το πλεονέκτημα φαίνεται στην παρακάτω εικόνα:
Η επίστρωση καρβιδίου του τανταλίου (TaC) έχει κερδίσει την προσοχή λόγω του υψηλού σημείου τήξεως έως και 3880°C, της εξαιρετικής μηχανικής αντοχής, σκληρότητας και αντοχής σε θερμικούς κραδασμούς, καθιστώντας την ελκυστική εναλλακτική λύση σε διαδικασίες σύνθετης επιτάξεως ημιαγωγών με υψηλότερες απαιτήσεις θερμοκρασίας. όπως το σύστημα Aixtron MOCVD και η διαδικασία επιταξίας LPE SiC. Έχει επίσης ευρεία εφαρμογή στη μέθοδο PVT διαδικασία ανάπτυξης κρυστάλλων SiC.
●Σταθερότητα θερμοκρασίας
●Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα
●Αντοχή σε H2, NH3, SiH4, Si
●Αντοχή στο θερμικό απόθεμα
●Ισχυρή πρόσφυση στον γραφίτη
●Τυπική κάλυψη επίστρωσης
● Μέγεθος έως και 750 mm διάμετρος (Ο μόνος κατασκευαστής στην Κίνα φτάνει σε αυτό το μέγεθος)
● Επαγωγικός υποδοχέας θέρμανσης
● Αντιστατικό θερμαντικό στοιχείο
● Θερμική ασπίδα
Φυσικές ιδιότητες επικάλυψης TaC | |
Πυκνότητα | 14,3 (g/cm³) |
Ειδική ικανότητα εκπομπής | 0.3 |
Συντελεστής θερμικής διαστολής | 6.3 10-6/Κ |
Σκληρότητα (HK) | 2000 HK |
Αντίσταση | 1×10-5Ohm*cm |
Θερμική σταθερότητα | <2500℃ |
Αλλάζει το μέγεθος του γραφίτη | -10~-20 μμ |
Πάχος επίστρωσης | ≥20um τυπική τιμή (35um±10um) |
Στοιχείο | Ατομικό ποσοστό | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Μέσος | |
Γ Κ | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Το Μ | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Η VeTek Semiconductor είναι επαγγελματίας κατασκευαστής και ηγέτης των προϊόντων CVD TaC Coating Crucible στην Κίνα. Το CVD TaC Coating Crucible βασίζεται σε επίστρωση άνθρακα τανταλίου (TaC). Η επίστρωση άνθρακα από ταντάλιο καλύπτεται ομοιόμορφα στην επιφάνεια του χωνευτηρίου μέσω της διαδικασίας χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD) για να ενισχύσει την αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση. Είναι ένα υλικό εργαλείο που χρησιμοποιείται ειδικά σε ακραία περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας. Καλωσορίστε την περαιτέρω διαβούλευση σας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΩς επαγγελματίας κατασκευαστής και εργοστάσιο προϊόντων CVD TaC Coating Wafer Carrier στην Κίνα, το VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier είναι ένα εργαλείο μεταφοράς γκοφρέτας ειδικά σχεδιασμένο για υψηλές θερμοκρασίες και διαβρωτικά περιβάλλοντα στην κατασκευή ημιαγωγών. και CVD TaC Coating Wafer Carrier έχει υψηλή μηχανική αντοχή, εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση και θερμική σταθερότητα, παρέχοντας την απαραίτητη εγγύηση για την κατασκευή συσκευών ημιαγωγών υψηλής ποιότητας. Οι περαιτέρω ερωτήσεις σας είναι ευπρόσδεκτες.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής και καινοτόμος θερμαντήρας επίστρωσης TaC στην Κίνα. Αυτό το προϊόν έχει εξαιρετικά υψηλό σημείο τήξης (περίπου 3880°C). Το υψηλό σημείο τήξης του θερμαντήρα επίστρωσης TaC του επιτρέπει να λειτουργεί σε εξαιρετικά υψηλές θερμοκρασίες, ειδικά κατά την ανάπτυξη επιταξιακών στρωμάτων νιτριδίου του γαλλίου (GaN) στη διαδικασία εναπόθεσης μεταλλικών οργανικών χημικών ατμών (MOCVD). Η VeTek Semiconductor δεσμεύεται να παρέχει προηγμένες λύσεις τεχνολογίας και προϊόντων για τη βιομηχανία ημιαγωγών. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΩς επαγγελματίας κατασκευαστής και προμηθευτής τσοκ με επίστρωση TaC στην Κίνα, το τσοκ επίστρωσης TaC της VeTek Semiconductor είναι ειδικά σχεδιασμένο για κλιβάνους ημιαγωγών. Με την αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, τη χημική αδράνεια και την εξαιρετική απόδοση, η καινοτόμος τεχνολογία της Vetek Semiconductor παρέχει μια αξιόπιστη λύση για τη βιομηχανία κατασκευής ημιαγωγών για τη διασφάλιση προτύπων παραγωγής υψηλής ποιότητας. Πιστεύουμε ότι τα προϊόντα μας μπορούν να σας προσφέρουν προηγμένη τεχνολογία και λύσεις προϊόντων υψηλής ποιότητας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΩς επαγγελματίας κατασκευαστής και προμηθευτής σωλήνων επίστρωσης TaC στην Κίνα, ο σωλήνας επίστρωσης TaC της VeTek Semiconductor είναι βασικό συστατικό για την επιτυχή ανάπτυξη μονοκρυστάλλων καρβιδίου του πυριτίου. Με την αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, τη χημική αδράνεια και την εξαιρετική απόδοση, εξασφαλίζει την παραγωγή κρυστάλλων υψηλής ποιότητας με σταθερά αποτελέσματα. Εμπιστευτείτε τις καινοτόμες λύσεις μας για να βελτιώσετε τη διαδικασία ανάπτυξης κρυστάλλων SiC με τη μέθοδο PVT και να επιτύχετε εξαιρετικά αποτελέσματα. Καλώς ήρθατε να μας ρωτήσετε.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής, καινοτόμος και ηγέτης της CVD TAC Coating στην Κίνα. Για πολλά χρόνια, εστιάζουμε σε διάφορα προϊόντα CVD TAC Coating, όπως κάλυμμα επίστρωσης CVD TaC, CVD TaC Coating Ring, CVD TaC Coating carrier κ.λπ. Το VeTek Semiconductor υποστηρίζει προσαρμοσμένες υπηρεσίες προϊόντων και ικανοποιητικές τιμές προϊόντων και προσβλέπει σε περαιτέρω διαβούλευση.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης