Η VeTek semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής υλικών επίστρωσης καρβιδίου τανταλίου για τη βιομηχανία ημιαγωγών. Οι κύριες προσφορές προϊόντων μας περιλαμβάνουν εξαρτήματα επίστρωσης καρβιδίου τανταλίου CVD, εξαρτήματα επίστρωσης πυροσυσσωματωμένου TaC για ανάπτυξη κρυστάλλων SiC ή διαδικασία επιτάξεως ημιαγωγών. Πέρασε το ISO9001, το VeTek Semiconductor έχει καλό έλεγχο ποιότητας. Η VeTek Semiconductor είναι αφιερωμένη στο να γίνει καινοτόμος στη βιομηχανία επικάλυψης καρβιδίου τανταλίου μέσω της συνεχούς έρευνας και ανάπτυξης επαναληπτικών τεχνολογιών.
Τα κύρια προϊόντα είναιΔακτύλιος εκτροπής επικάλυψης καρβιδίου τανταλίου, δακτύλιος εκτροπής με επίστρωση TaC, εξαρτήματα μισής σελήνης με επικάλυψη TaC, Πλανητικός δίσκος περιστροφής με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου (Aixtron G10), Χωνευτήριο με επικάλυψη TaC. Δακτύλιοι με επίστρωση TaC. Πορώδης γραφίτης με επικάλυψη TaC. Επικάλυψη γραφίτη με καρβίδιο τανταλίου. Δακτύλιος οδηγός με επίστρωση TaC. Πλάκα με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου TaC. Επικαλυμμένο με TaC Susceptor Wafer; Δακτύλιος επίστρωσης TaC. Κάλυμμα γραφίτη με επίστρωση TaC. Κομμάτι με επικάλυψη TaCκ.λπ., η καθαρότητα είναι κάτω από 5 ppm, μπορεί να καλύψει τις απαιτήσεις των πελατών.
Ο γραφίτης επίστρωσης TaC δημιουργείται με την επίστρωση της επιφάνειας ενός υποστρώματος γραφίτη υψηλής καθαρότητας με ένα λεπτό στρώμα καρβιδίου του τανταλίου με μια ιδιόκτητη διαδικασία Chemical Vapor Deposition (CVD). Το πλεονέκτημα φαίνεται στην παρακάτω εικόνα:
Η επίστρωση καρβιδίου του τανταλίου (TaC) έχει κερδίσει την προσοχή λόγω του υψηλού σημείου τήξεως έως και 3880°C, της εξαιρετικής μηχανικής αντοχής, σκληρότητας και αντοχής σε θερμικούς κραδασμούς, καθιστώντας την ελκυστική εναλλακτική λύση σε διαδικασίες σύνθετης επιτάξεως ημιαγωγών με υψηλότερες απαιτήσεις θερμοκρασίας. όπως το σύστημα Aixtron MOCVD και η διαδικασία επιταξίας LPE SiC. Έχει επίσης ευρεία εφαρμογή στη μέθοδο PVT διαδικασία ανάπτυξης κρυστάλλων SiC.
●Σταθερότητα θερμοκρασίας
●Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα
●Αντοχή σε H2, NH3, SiH4, Si
●Αντοχή στο θερμικό απόθεμα
●Ισχυρή πρόσφυση στον γραφίτη
●Τυπική κάλυψη επίστρωσης
● Μέγεθος έως και 750 mm διάμετρος (Ο μόνος κατασκευαστής στην Κίνα φτάνει σε αυτό το μέγεθος)
● Επαγωγικός υποδοχέας θέρμανσης
● Αντιστατικό θερμαντικό στοιχείο
● Θερμική ασπίδα
Φυσικές ιδιότητες επικάλυψης TaC | |
Πυκνότητα | 14,3 (g/cm³) |
Ειδική ικανότητα εκπομπής | 0.3 |
Συντελεστής θερμικής διαστολής | 6.3 10-6/Κ |
Σκληρότητα (HK) | 2000 HK |
Αντίσταση | 1×10-5Ohm*cm |
Θερμική σταθερότητα | <2500℃ |
Αλλάζει το μέγεθος του γραφίτη | -10~-20 μμ |
Πάχος επίστρωσης | ≥20um τυπική τιμή (35um±10um) |
Στοιχείο | Ατομικό ποσοστό | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Μέσος | |
Γ Κ | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Το Μ | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Η περιστρεφόμενη πλάκα επίστρωσης TaC της VeTek Semiconductor διαθέτει εξαιρετική επίστρωση TaC. Με την εξαιρετική της επίστρωση TaC, οι πλάκες περιστροφής επίστρωσης TaC έχουν αξιοσημείωτη αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία και χημική αδράνεια, που την ξεχωρίζουν από τις παραδοσιακές λύσεις. Δεσμευόμαστε να παρέχουμε ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικά τιμές και ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ πλάκα επίστρωσης TaC της VeTek Semiconductor είναι ένα αξιόλογο προϊόν που προσφέρει εξαιρετικά χαρακτηριστικά και πλεονεκτήματα. Σχεδιασμένη με ακρίβεια και σχεδιασμένη στην τελειότητα, η πλάκα επίστρωσης TaC είναι ειδικά προσαρμοσμένη για διάφορες εφαρμογές σε διαδικασίες ανάπτυξης μονοκρυστάλλου καρβιδίου του πυριτίου (SiC). Οι ακριβείς διαστάσεις και η στιβαρή κατασκευή της πλάκας επίστρωσης TaC καθιστούν εύκολη την ενσωμάτωση σε υπάρχοντα συστήματα, εξασφαλίζοντας απρόσκοπτη συμβατότητα και αποτελεσματική λειτουργία. Η αξιόπιστη απόδοση και η υψηλής ποιότητας επίστρωσή του συμβάλλουν σε συνεπή και ομοιόμορφα αποτελέσματα στις εφαρμογές ανάπτυξης κρυστάλλων SiC. Δεσμευόμαστε να παρέχουμε ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές και ανυπομονούμε να είμαστε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης......
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο κάλυμμα επίστρωσης CVD TaC που παρέχεται από την VeTek Semiconductor είναι ένα εξαιρετικά εξειδικευμένο εξάρτημα σχεδιασμένο ειδικά για απαιτητικές εφαρμογές. Με τα προηγμένα χαρακτηριστικά και την εξαιρετική απόδοση, το κάλυμμα επίστρωσης CVD TaC προσφέρει πολλά βασικά πλεονεκτήματα. Το κάλυμμα επίστρωσης CVD TaC παρέχει την απαραίτητη προστασία και απόδοση που απαιτούνται για την επιτυχία. Ανυπομονούμε να εξερευνήσουμε πιθανή συνεργασία μαζί σας!
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor είναι ένα εξαιρετικό προϊόν για εξοπλισμό επιταξίας Aixtron. Η στιβαρή επίστρωση TaC παρέχει εξαιρετική αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία και χημική αδράνεια. Αυτός ο μοναδικός συνδυασμός εξασφαλίζει αξιόπιστη απόδοση και μεγάλη διάρκεια ζωής, ακόμη και σε απαιτητικά περιβάλλοντα. Η VeTek δεσμεύεται να παρέχει προϊόντα υψηλής ποιότητας και να λειτουργεί ως μακροπρόθεσμος συνεργάτης στην κινεζική αγορά με ανταγωνιστικές τιμές.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ πλάκα στήριξης βάθρου επίστρωσης TaC της VeTek Semiconductor είναι ένα προϊόν υψηλής ακρίβειας που έχει σχεδιαστεί για να ανταποκρίνεται στις ειδικές απαιτήσεις των διαδικασιών επιταξίας ημιαγωγών. Με την επίστρωση TaC, την αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες και τη χημική αδράνεια, το προϊόν μας σάς δίνει τη δυνατότητα να παράγετε στρώματα EPI υψηλής ποιότητας με υψηλή ποιότητα. Δεσμευόμαστε να παρέχουμε ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές και ανυπομονούμε να είμαστε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο τσοκ επίστρωσης TaC της VeTek Semiconductor διαθέτει επίστρωση TaC υψηλής ποιότητας, γνωστή για την εξαιρετική αντίσταση σε υψηλές θερμοκρασίες και τη χημική αδράνεια, ιδιαίτερα στις διαδικασίες επιταξίας καρβιδίου του πυριτίου (SiC) (EPI). Με τα εξαιρετικά χαρακτηριστικά και την ανώτερη απόδοσή του, το τσοκ επίστρωσης TaC προσφέρει πολλά βασικά πλεονεκτήματα. Δεσμευόμαστε να παρέχουμε ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές και ανυπομονούμε να γίνουμε μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης