Πλάκα περιστροφής επίστρωσης TaC

Η περιστροφική πλάκα επίστρωσης TaC της VeTek Semiconductor έχει σύνθεση υψηλής καθαρότητας, περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες μικρότερη από 5 ppm και πυκνή και ομοιόμορφη δομή, η οποία χρησιμοποιείται ευρέως σε συστήματα LPE EPI, συστήματα Aixtron, συστήματα Nuflare, συστήματα TEL CVD, συστήματα VEECO, TSI συστήματα.

Εξαιρετικές μηχανικές ιδιότητες:

Σκληρότητα επίστρωσης έως 2300 HV, με εξαιρετική αντοχή στη φθορά.

Η πρόσφυση μεταξύ της επικάλυψης και του υποστρώματος είναι ισχυρή και δεν είναι εύκολο να πέσει ή να ξεφλουδίσει.

Η επίστρωση μπορεί ακόμα να διατηρήσει καλή δομική σταθερότητα σε υψηλή θερμοκρασία.

Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση:

Το ίδιο το υλικό TaC έχει εξαιρετική χημική σταθερότητα και αντοχή στη διάβρωση.

Οι επιστρώσεις ημιαγωγών VeTek αποδίδουν καλά σε διάφορα επιθετικά περιβάλλοντα αερίου.

Μπορεί να προστατεύσει αποτελεσματικά τα εσωτερικά εξαρτήματα του εξοπλισμού από τη διάβρωση.

Υψηλό φινίρισμα επιφάνειας:

Ο ημιαγωγός VeTek χρησιμοποιεί μια ακριβή διαδικασία επίστρωσης για να παράγει το επιθυμητό φινίρισμα.

Η χαμηλή τραχύτητα επιφάνειας βοηθά στη μείωση της συσσώρευσης και της εναπόθεσης σωματιδίων.

Η συνοχή της επίστρωσης είναι καλή:

Το VeTek Semiconductor διαθέτει σύστημα ελέγχου ποιότητας ήχου για να διασφαλίζει σταθερή απόδοση μεταξύ των παρτίδων.

Το πάχος της επίστρωσης είναι ομοιόμορφα κατανεμημένο και δεν υπάρχουν εμφανή τοπικά ελαττώματα.

Εξαιρετική απόδοση πρακτικής εφαρμογής:

Η επίστρωση TaC του ημιαγωγού VeTek χρησιμοποιείται ευρέως σε πολλούς γνωστούς κατασκευαστές επιταξιακού εξοπλισμού στο εσωτερικό και στο εξωτερικό.

Προϊόν Φυσική παράμετρος της πλάκας περιστροφής με επικάλυψη TaC: