Το VeTek Semiconductor είναι ένας μεγάλης κλίμακας επικαλυμμένος δακτύλιος TaC για SiC Epitaxial Reactor κατασκευαστής και καινοτόμος στην Κίνα. Είμαστε εξειδικευμένοι στην επίστρωση TaC για πολλά χρόνια. Τα προϊόντα μας έχουν υψηλή καθαρότητα, υψηλή σταθερότητα, εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση, υψηλή αντοχή δεσμού. να γίνει ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Η VeTek Semiconductor είναι μια διάσημη εταιρεία με έδρα την Κίνα, γνωστή για την τεχνογνωσία της στην κατασκευή επικαλύψεων TaC και SiC υψηλής ποιότητας, καθώς και υψηλής καθαρότητας επικαλυμμένο δακτύλιο TaC για SiC Epitaxial Reactor. Είμαστε υπερήφανοι που προσφέρουμε ανώτερα προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές. Σας προσκαλούμε θερμά να επικοινωνήσετε μαζί μας και να ανακαλύψετε τις εξαιρετικές λύσεις που παρέχουμε.
Οι δακτύλιοι με επίστρωση TaC για επιταξιακούς αντιδραστήρες SiC διαδραματίζουν κρίσιμο ρόλο. Αυτοί οι δακτύλιοι αποτελούν αναπόσπαστο μέρος του σετ ημισελήνου μας, προσφέροντας βασικές λειτουργίες, όπως υποστήριξη υποστρώματος, ακριβή έλεγχο θερμοκρασίας, αποτελεσματική θερμομόνωση, αποτελεσματικό αερισμό και αξιόπιστη προστασία. Δουλεύοντας αρμονικά, αυτοί οι δακτύλιοι εξασφαλίζουν σχολαστικό έλεγχο του πάχους, του ντόπινγκ και των ελαττωματικών χαρακτηριστικών του επιταξιακού στρώματος SiC που αναπτύσσεται εντός του θαλάμου αντίδρασης.
Εκτός από τους εξαιρετικούς μας δακτυλίους με επίστρωση TaC, η VeTek Semiconductor προσφέρει μια εκτεταμένη γκάμα σχετικών προϊόντων ειδικά σχεδιασμένων για θαλάμους αντίδρασης. Η γκάμα προϊόντων μας περιλαμβάνει άνω και κάτω μισοφέγγαρα, προστατευτικά καλύμματα, μονωτικά καλύμματα και διεπαφές εκτροπής αέρα διεργασιών. Κάθε ένα από αυτά τα εξαρτήματα υφίσταται σχολαστική επίστρωση SiC ή TaC για βελτίωση της απόδοσης και παράταση της διάρκειας ζωής τους.
Φυσικές ιδιότητες επικάλυψης TaC | |
Πυκνότητα | 14,3 (g/cm³) |
Ειδική ικανότητα εκπομπής | 0.3 |
Συντελεστής θερμικής διαστολής | 6,3 10-6/Κ |
Σκληρότητα (HK) | 2000 HK |
Αντίσταση | 1×10-5 Ohm*cm |
Θερμική σταθερότητα | <2500℃ |
Αλλάζει το μέγεθος του γραφίτη | -10~-20 μμ |
Πάχος επίστρωσης | ≥20um τυπική τιμή (35um±10um) |