Η VeTek semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής υλικών επίστρωσης καρβιδίου τανταλίου για τη βιομηχανία ημιαγωγών. Οι κύριες προσφορές προϊόντων μας περιλαμβάνουν εξαρτήματα επίστρωσης καρβιδίου τανταλίου CVD, εξαρτήματα επίστρωσης πυροσυσσωματωμένου TaC για ανάπτυξη κρυστάλλων SiC ή διαδικασία επιτάξεως ημιαγωγών. Πέρασε το ISO9001, το VeTek Semiconductor έχει καλό έλεγχο ποιότητας. Η VeTek Semiconductor είναι αφιερωμένη στο να γίνει καινοτόμος στη βιομηχανία επικάλυψης καρβιδίου τανταλίου μέσω της συνεχούς έρευνας και ανάπτυξης επαναληπτικών τεχνολογιών.
Τα κύρια προϊόντα είναιΔακτύλιος εκτροπής επικάλυψης καρβιδίου τανταλίου, δακτύλιος εκτροπής με επίστρωση TaC, εξαρτήματα μισής σελήνης με επικάλυψη TaC, Πλανητικός δίσκος περιστροφής με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου (Aixtron G10), Χωνευτήριο με επικάλυψη TaC. Δακτύλιοι με επίστρωση TaC. Πορώδης γραφίτης με επικάλυψη TaC. Επικάλυψη γραφίτη με καρβίδιο τανταλίου. Δακτύλιος οδηγός με επίστρωση TaC. Πλάκα με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου TaC. Επικαλυμμένο με TaC Susceptor Wafer; Δακτύλιος επίστρωσης TaC. Κάλυμμα γραφίτη με επίστρωση TaC. Κομμάτι με επικάλυψη TaCκ.λπ., η καθαρότητα είναι κάτω από 5 ppm, μπορεί να καλύψει τις απαιτήσεις των πελατών.
Ο γραφίτης επίστρωσης TaC δημιουργείται με την επίστρωση της επιφάνειας ενός υποστρώματος γραφίτη υψηλής καθαρότητας με ένα λεπτό στρώμα καρβιδίου του τανταλίου με μια ιδιόκτητη διαδικασία Chemical Vapor Deposition (CVD). Το πλεονέκτημα φαίνεται στην παρακάτω εικόνα:
Η επίστρωση καρβιδίου του τανταλίου (TaC) έχει κερδίσει την προσοχή λόγω του υψηλού σημείου τήξεως έως και 3880°C, της εξαιρετικής μηχανικής αντοχής, σκληρότητας και αντοχής σε θερμικούς κραδασμούς, καθιστώντας την ελκυστική εναλλακτική λύση σε διαδικασίες σύνθετης επιτάξεως ημιαγωγών με υψηλότερες απαιτήσεις θερμοκρασίας. όπως το σύστημα Aixtron MOCVD και η διαδικασία επιταξίας LPE SiC. Έχει επίσης ευρεία εφαρμογή στη μέθοδο PVT διαδικασία ανάπτυξης κρυστάλλων SiC.
●Σταθερότητα θερμοκρασίας
●Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα
●Αντοχή σε H2, NH3, SiH4, Si
●Αντοχή στο θερμικό απόθεμα
●Ισχυρή πρόσφυση στον γραφίτη
●Τυπική κάλυψη επίστρωσης
● Μέγεθος έως και 750 mm διάμετρος (Ο μόνος κατασκευαστής στην Κίνα φτάνει σε αυτό το μέγεθος)
● Επαγωγικός υποδοχέας θέρμανσης
● Αντιστατικό θερμαντικό στοιχείο
● Θερμική ασπίδα
Φυσικές ιδιότητες επικάλυψης TaC | |
Πυκνότητα | 14,3 (g/cm³) |
Ειδική ικανότητα εκπομπής | 0.3 |
Συντελεστής θερμικής διαστολής | 6.3 10-6/Κ |
Σκληρότητα (HK) | 2000 HK |
Αντίσταση | 1×10-5Ohm*cm |
Θερμική σταθερότητα | <2500℃ |
Αλλάζει το μέγεθος του γραφίτη | -10~-20 μμ |
Πάχος επίστρωσης | ≥20um τυπική τιμή (35um±10um) |
Στοιχείο | Ατομικό ποσοστό | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Μέσος | |
Γ Κ | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Το Μ | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Η VeTek Semiconductor είναι επαγγελματίας κατασκευαστής TaC Coating Plate και άλλων ανταλλακτικών TaC Coating στην Κίνα. Η επίστρωση TaC χρησιμοποιείται επί του παρόντος κυρίως σε διεργασίες όπως η ανάπτυξη μονοκρυστάλλου καρβιδίου του πυριτίου (μέθοδος PVT), ο επιταξιακός δίσκος (συμπεριλαμβανομένης της επιταξίας καρβιδίου του πυριτίου, της επιταξίας LED) κ.λπ. Σε συνδυασμό με την καλή μακροπρόθεσμη σταθερότητα της πλάκας επίστρωσης TaC, VeTek Semiconductor TaC Το Coating Plate έχει γίνει το σημείο αναφοράς για τα ανταλλακτικά TaC Coating. Ανυπομονούμε να γίνετε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης μας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ VeTek Semiconductor είναι επαγγελματίας κατασκευαστής GaN on SiC epi susceptor, CVD SiC επίστρωση και CVD TAC COATING sceptor graphite στην Κίνα. Μεταξύ αυτών, το GaN στο SiC epi susceptor παίζει ζωτικό ρόλο στην επεξεργασία ημιαγωγών. Μέσω της εξαιρετικής θερμικής αγωγιμότητας, της ικανότητας επεξεργασίας σε υψηλές θερμοκρασίες και της χημικής σταθερότητας, διασφαλίζει την υψηλή απόδοση και ποιότητα υλικού της διαδικασίας επιταξιακής ανάπτυξης GaN. Ανυπομονούμε ειλικρινά για την περαιτέρω διαβούλευση σας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΟ φορέας επίστρωσης CVD TaC της VeTek Semiconductor έχει σχεδιαστεί κυρίως για την επιταξιακή διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών. Το εξαιρετικά υψηλό σημείο τήξης του φορέα CVD TaC Coating, η εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση και η εξαιρετική θερμική σταθερότητα καθορίζουν την αναγκαιότητα αυτού του προϊόντος στην επιταξιακή διαδικασία ημιαγωγών. Ελπίζουμε ειλικρινά να οικοδομήσουμε μια μακροπρόθεσμη επιχειρηματική σχέση μαζί σας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΟ δακτύλιος οδηγός επίστρωσης TaC της VeTek Semiconductor δημιουργείται με την εφαρμογή επικάλυψης καρβιδίου τανταλίου σε μέρη γραφίτη χρησιμοποιώντας μια εξαιρετικά προηγμένη τεχνική που ονομάζεται χημική εναπόθεση ατμού (CVD). Αυτή η μέθοδος είναι καθιερωμένη και προσφέρει εξαιρετικές ιδιότητες επίστρωσης. Με τη χρήση του δακτυλίου οδηγού επίστρωσης TaC, η διάρκεια ζωής των εξαρτημάτων γραφίτη μπορεί να παραταθεί σημαντικά, η κίνηση των ακαθαρσιών γραφίτη μπορεί να κατασταλεί και η ποιότητα του μονοκρυστάλλου SiC και AIN μπορεί να διατηρηθεί αξιόπιστα. Καλώς ήρθατε να μας ρωτήσετε.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο VeTek Semiconductor's TaC Coated Graphite Susceptor χρησιμοποιεί τη μέθοδο χημικής εναπόθεσης ατμού (CVD) για την προετοιμασία επικάλυψης καρβιδίου του τανταλίου στην επιφάνεια των τμημάτων γραφίτη. Αυτή η διαδικασία είναι η πιο ώριμη και έχει τις καλύτερες ιδιότητες επίστρωσης. Το TaC Coated Graphite Susceptor μπορεί να παρατείνει τη διάρκεια ζωής των συστατικών γραφίτη, να εμποδίσει τη μετανάστευση των ακαθαρσιών γραφίτη και να εξασφαλίσει την ποιότητα της επιταξίας. Η VeTek Semiconductor ανυπομονεί για το ερώτημά σας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ VeTek Semiconductor παρουσιάζει το TaC Coating Susceptor. Με την εξαιρετική του επίστρωση TaC, αυτό το susceptor προσφέρει πολλά πλεονεκτήματα που το ξεχωρίζουν από τις συμβατικές λύσεις. Ενσωματώνοντας απρόσκοπτα σε υπάρχοντα συστήματα, το TaC Coating Susceptor της VeTek Semiconductor εγγυάται συμβατότητα και αποτελεσματική λειτουργία. Η αξιόπιστη απόδοση και η υψηλής ποιότητας επίστρωση TaC προσφέρουν σταθερά εξαιρετικά αποτελέσματα στις διαδικασίες επιτάξεως SiC. Δεσμευόμαστε να παρέχουμε ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές και ανυπομονούμε να είμαστε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης