Ανταλλακτικό TaC Coating

VeTek SemiconductorΠλάκα επικάλυψης TaCείναι ένα ειδικό υλικό που χρησιμοποιείται ευρέως στηνημιαγωγόςδιαδικασία παραγωγής. Σε συνδυασμό με την υψηλή σκληρότητα και αντοχή στη φθορά, την αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, την αντίσταση στη διάβρωση, τον χαμηλό συντελεστή τριβής και την καλή θερμική αγωγιμότητα, το TaC Coating Plate παίζει αναντικατάστατο ρόλο σε πολλούς κρίκους επεξεργασίας ημιαγωγών.

Γενικά, οι εφαρμογές τωνΠλάκες με επίστρωση TaCστην επεξεργασία ημιαγωγών είναι οι εξής:

Υπόστρωμα ανάπτυξης CVD/ALD: Η αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, η χημική σταθερότητα και ο χαμηλός συντελεστής τριβής των επικαλυμμένων πλακών TaC τα καθιστούν ιδανικά υποστρώματα ανάπτυξης CVD/ALD. Μπορεί να παρέχει ένα σταθερό περιβάλλον ανάπτυξης για να εξασφαλίσει την ομοιομορφία και την πυκνότητα του φιλμ.

Πλάκα μάσκας χάραξης: Η υψηλή σκληρότητα και η αντοχή στη διάβρωση των πλακών με επίστρωση TaC τους επιτρέπουν να αντέχουν σε διαδικασίες υψηλής ενέργειας όπως η χάραξη πλάσματος, ως πλάκες μάσκας χάραξης, προστατεύοντας το υποκείμενο φιλμ.

Γυάλισμα CMP: Η αντίσταση στη φθορά και ο χαμηλός συντελεστής τριβής των πλακών με επίστρωση TaC τις καθιστούν ιδανικά υλικά για τακάκια γυαλίσματος CMP, τα οποία μπορούν να αφαιρέσουν αποτελεσματικά σωματίδια και ελαττώματα στην επιφάνεια της μεμβράνης.

Σωλήνας φούρνου υψηλής θερμοκρασίας: Η αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες και η αντίσταση στη διάβρωση των πλακών με επίστρωση TaC τους επιτρέπει να χρησιμοποιούνται ως σωλήνες κλιβάνου σε κλιβάνους υψηλής θερμοκρασίας για ανόπτηση, διάχυση και άλλες διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας.

Σε συνδυασμό με τα χαρακτηριστικά του προϊόντος τουΠλάκα επικάλυψης TaC, καθορίζει ότι αυτό το προϊόν διαδραματίζει αναντικατάστατο βασικό ρόλο στη βελτίωση της απόδοσης της συσκευής, στην παράταση της διάρκειας ζωής του εξοπλισμού και στη βελτίωση της απόδοσης παραγωγής. 

Ως επαγγελματίας κατασκευαστής τουGaN σε δέκτη SiC epi, Πορώδης ΓραφίτηςκαιΠλάκα επικάλυψης TaCστην Κίνα, η VeTek Semiconductor επιμένει πάντα στην παροχή εξατομικευμένων υπηρεσιών προϊόντων και δεσμεύεται να παρέχει στον κλάδο κορυφαίες λύσεις τεχνολογίας και προϊόντων. Ανυπομονούμε ειλικρινά για την περαιτέρω διαβούλευση σας.

CVD TAC COATING Τεχνικές παράμετροι：

Καταστήματα ανταλλακτικών TaC Coating：

Επισκόπηση της αλυσίδας βιομηχανίας επιταξίας τσιπ ημιαγωγών：