Η VeTek semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής υλικών επίστρωσης καρβιδίου τανταλίου για τη βιομηχανία ημιαγωγών. Οι κύριες προσφορές προϊόντων μας περιλαμβάνουν εξαρτήματα επίστρωσης καρβιδίου τανταλίου CVD, εξαρτήματα επίστρωσης πυροσυσσωματωμένου TaC για ανάπτυξη κρυστάλλων SiC ή διαδικασία επιτάξεως ημιαγωγών. Πέρασε το ISO9001, το VeTek Semiconductor έχει καλό έλεγχο ποιότητας. Η VeTek Semiconductor είναι αφιερωμένη στο να γίνει καινοτόμος στη βιομηχανία επικάλυψης καρβιδίου τανταλίου μέσω της συνεχούς έρευνας και ανάπτυξης επαναληπτικών τεχνολογιών.
Τα κύρια προϊόντα είναιΔακτύλιος εκτροπής επικάλυψης καρβιδίου τανταλίου, δακτύλιος εκτροπής με επίστρωση TaC, εξαρτήματα μισής σελήνης με επικάλυψη TaC, Πλανητικός δίσκος περιστροφής με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου (Aixtron G10), Χωνευτήριο με επικάλυψη TaC. Δακτύλιοι με επίστρωση TaC. Πορώδης γραφίτης με επικάλυψη TaC. Επικάλυψη γραφίτη με καρβίδιο τανταλίου. Δακτύλιος οδηγός με επίστρωση TaC. Πλάκα με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου TaC. Επικαλυμμένο με TaC Susceptor Wafer; Δακτύλιος επίστρωσης TaC. Κάλυμμα γραφίτη με επίστρωση TaC. Κομμάτι με επικάλυψη TaCκ.λπ., η καθαρότητα είναι κάτω από 5 ppm, μπορεί να καλύψει τις απαιτήσεις των πελατών.
Ο γραφίτης επίστρωσης TaC δημιουργείται με την επίστρωση της επιφάνειας ενός υποστρώματος γραφίτη υψηλής καθαρότητας με ένα λεπτό στρώμα καρβιδίου του τανταλίου με μια ιδιόκτητη διαδικασία Chemical Vapor Deposition (CVD). Το πλεονέκτημα φαίνεται στην παρακάτω εικόνα:
Η επίστρωση καρβιδίου του τανταλίου (TaC) έχει κερδίσει την προσοχή λόγω του υψηλού σημείου τήξεως έως και 3880°C, της εξαιρετικής μηχανικής αντοχής, σκληρότητας και αντοχής σε θερμικούς κραδασμούς, καθιστώντας την ελκυστική εναλλακτική λύση σε διαδικασίες σύνθετης επιτάξεως ημιαγωγών με υψηλότερες απαιτήσεις θερμοκρασίας. όπως το σύστημα Aixtron MOCVD και η διαδικασία επιταξίας LPE SiC. Έχει επίσης ευρεία εφαρμογή στη μέθοδο PVT διαδικασία ανάπτυξης κρυστάλλων SiC.
●Σταθερότητα θερμοκρασίας
●Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα
●Αντοχή σε H2, NH3, SiH4, Si
●Αντοχή στο θερμικό απόθεμα
●Ισχυρή πρόσφυση στον γραφίτη
●Τυπική κάλυψη επίστρωσης
● Μέγεθος έως και 750 mm διάμετρος (Ο μόνος κατασκευαστής στην Κίνα φτάνει σε αυτό το μέγεθος)
● Επαγωγικός υποδοχέας θέρμανσης
● Αντιστατικό θερμαντικό στοιχείο
● Θερμική ασπίδα
Φυσικές ιδιότητες επικάλυψης TaC | |
Πυκνότητα | 14,3 (g/cm³) |
Ειδική ικανότητα εκπομπής | 0.3 |
Συντελεστής θερμικής διαστολής | 6.3 10-6/Κ |
Σκληρότητα (HK) | 2000 HK |
Αντίσταση | 1×10-5Ohm*cm |
Θερμική σταθερότητα | <2500℃ |
Αλλάζει το μέγεθος του γραφίτη | -10~-20 μμ |
Πάχος επίστρωσης | ≥20um τυπική τιμή (35um±10um) |
Στοιχείο | Ατομικό ποσοστό | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Μέσος | |
Γ Κ | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Το Μ | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Ως επαγγελματίας καινοτόμος και ηγέτης των προϊόντων με επίστρωση δακτυλίου με καρβίδιο τανταλίου στην Κίνα, ο ημιαγωγός VeTek με επίστρωση καρβιδίου τανταλίου διαδραματίζει αναντικατάστατο ρόλο στην ανάπτυξη κρυστάλλων SiC με την εξαιρετική αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχή στη φθορά και εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα. Καλωσορίστε την περαιτέρω διαβούλευση σας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ VeTek Semiconductor είναι επαγγελματίας κατασκευαστής και ηγέτης των προϊόντων πορώδους καρβιδίου τανταλίου στην Κίνα. Το πορώδες καρβίδιο του τανταλίου συνήθως κατασκευάζεται με τη μέθοδο χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD), διασφαλίζοντας τον ακριβή έλεγχο του μεγέθους και της κατανομής των πόρων του και είναι ένα υλικό εργαλείο αφιερωμένο σε ακραία περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας. Καλωσορίστε την περαιτέρω διαβούλευση σας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΩς προηγμένος κατασκευαστής και παραγωγός προϊόντων δακτυλίου καρβιδίου τανταλίου στην Κίνα, το VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Ring έχει εξαιρετικά υψηλή σκληρότητα, αντοχή στη φθορά, αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία και χημική σταθερότητα και χρησιμοποιείται ευρέως στον τομέα της κατασκευής ημιαγωγών. Ειδικά σε CVD, PVD, διαδικασία εμφύτευσης ιόντων, διαδικασία χάραξης και επεξεργασία και μεταφορά πλακιδίων, είναι ένα απαραίτητο προϊόν για την επεξεργασία και την κατασκευή ημιαγωγών. Αναμένουμε την περαιτέρω διαβούλευση σας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΩς επαγγελματίας κατασκευαστής και εργοστάσιο προϊόντων υποστήριξης επίστρωσης καρβιδίου τανταλίου στην Κίνα, η VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support χρησιμοποιείται συνήθως για επιφανειακή επίστρωση δομικών εξαρτημάτων ή εξαρτημάτων στήριξης σε εξοπλισμό ημιαγωγών, ειδικά για προστασία επιφάνειας βασικών εξαρτημάτων εξοπλισμού σε διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών, όπως CVD και PVD. Καλωσορίστε την περαιτέρω διαβούλευση σας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ VeTek Semiconductor είναι επαγγελματίας κατασκευαστής και ηγέτης των προϊόντων οδηγού δακτυλίου από καρβίδιο τανταλίου στην Κίνα. Ο δακτύλιος οδηγός καρβιδίου τανταλίου (TaC) είναι ένα εξάρτημα δακτυλίου υψηλής απόδοσης κατασκευασμένο από καρβίδιο τανταλίου, το οποίο χρησιμοποιείται συνήθως σε εξοπλισμό επεξεργασίας ημιαγωγών, ειδικά σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και εξαιρετικά διαβρωτικά όπως CVD, PVD, χάραξη και διάχυση. Η VeTek Semiconductor δεσμεύεται να παρέχει προηγμένες λύσεις τεχνολογίας και προϊόντων για τη βιομηχανία ημιαγωγών και καλωσορίζει τα περαιτέρω ερωτήματά σας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΩς επαγγελματίας κατασκευαστής, καινοτόμος και ηγέτης των προϊόντων TaC Coating Rotation Susceptor στην Κίνα. Το VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor εγκαθίσταται συνήθως σε εξοπλισμό εναπόθεσης χημικών ατμών (CVD) και μοριακής επιτάξεως δέσμης (MBE) για την υποστήριξη και την περιστροφή πλακών για να διασφαλιστεί η ομοιόμορφη εναπόθεση υλικού και η αποτελεσματική αντίδραση. Είναι βασικό συστατικό στην επεξεργασία ημιαγωγών. Καλωσορίστε την περαιτέρω διαβούλευση σας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης