Η VeTek semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής υλικών επίστρωσης καρβιδίου τανταλίου για τη βιομηχανία ημιαγωγών. Οι κύριες προσφορές προϊόντων μας περιλαμβάνουν εξαρτήματα επίστρωσης καρβιδίου τανταλίου CVD, εξαρτήματα επίστρωσης πυροσυσσωματωμένου TaC για ανάπτυξη κρυστάλλων SiC ή διαδικασία επιτάξεως ημιαγωγών. Πέρασε το ISO9001, το VeTek Semiconductor έχει καλό έλεγχο ποιότητας. Η VeTek Semiconductor είναι αφιερωμένη στο να γίνει καινοτόμος στη βιομηχανία επικάλυψης καρβιδίου τανταλίου μέσω της συνεχούς έρευνας και ανάπτυξης επαναληπτικών τεχνολογιών.
Τα κύρια προϊόντα είναιΔακτύλιος εκτροπής επικάλυψης καρβιδίου τανταλίου, δακτύλιος εκτροπής με επίστρωση TaC, εξαρτήματα μισής σελήνης με επικάλυψη TaC, Πλανητικός δίσκος περιστροφής με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου (Aixtron G10), Χωνευτήριο με επικάλυψη TaC. Δακτύλιοι με επίστρωση TaC. Πορώδης γραφίτης με επικάλυψη TaC. Επικάλυψη γραφίτη με καρβίδιο τανταλίου. Δακτύλιος οδηγός με επίστρωση TaC. Πλάκα με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου TaC. Επικαλυμμένο με TaC Susceptor Wafer; Δακτύλιος επίστρωσης TaC. Κάλυμμα γραφίτη με επίστρωση TaC. Κομμάτι με επικάλυψη TaCκ.λπ., η καθαρότητα είναι κάτω από 5 ppm, μπορεί να καλύψει τις απαιτήσεις των πελατών.
Ο γραφίτης επίστρωσης TaC δημιουργείται με την επίστρωση της επιφάνειας ενός υποστρώματος γραφίτη υψηλής καθαρότητας με ένα λεπτό στρώμα καρβιδίου του τανταλίου με μια ιδιόκτητη διαδικασία Chemical Vapor Deposition (CVD). Το πλεονέκτημα φαίνεται στην παρακάτω εικόνα:
Η επίστρωση καρβιδίου του τανταλίου (TaC) έχει κερδίσει την προσοχή λόγω του υψηλού σημείου τήξεως έως και 3880°C, της εξαιρετικής μηχανικής αντοχής, σκληρότητας και αντοχής σε θερμικούς κραδασμούς, καθιστώντας την ελκυστική εναλλακτική λύση σε διαδικασίες σύνθετης επιτάξεως ημιαγωγών με υψηλότερες απαιτήσεις θερμοκρασίας. όπως το σύστημα Aixtron MOCVD και η διαδικασία επιταξίας LPE SiC. Έχει επίσης ευρεία εφαρμογή στη μέθοδο PVT διαδικασία ανάπτυξης κρυστάλλων SiC.
●Σταθερότητα θερμοκρασίας
●Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα
●Αντοχή σε H2, NH3, SiH4, Si
●Αντοχή στο θερμικό απόθεμα
●Ισχυρή πρόσφυση στον γραφίτη
●Τυπική κάλυψη επίστρωσης
● Μέγεθος έως και 750 mm διάμετρος (Ο μόνος κατασκευαστής στην Κίνα φτάνει σε αυτό το μέγεθος)
● Επαγωγικός υποδοχέας θέρμανσης
● Αντιστατικό θερμαντικό στοιχείο
● Θερμική ασπίδα
Φυσικές ιδιότητες επικάλυψης TaC | |
Πυκνότητα | 14,3 (g/cm³) |
Ειδική ικανότητα εκπομπής | 0.3 |
Συντελεστής θερμικής διαστολής | 6.3 10-6/Κ |
Σκληρότητα (HK) | 2000 HK |
Αντίσταση | 1×10-5Ohm*cm |
Θερμική σταθερότητα | <2500℃ |
Αλλάζει το μέγεθος του γραφίτη | -10~-20 μμ |
Πάχος επίστρωσης | ≥20um τυπική τιμή (35um±10um) |
Στοιχείο | Ατομικό ποσοστό | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Μέσος | |
Γ Κ | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Το Μ | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Η VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής και καινοτόμος δακτύλιος οδηγού με επίστρωση TaC και καινοτόμος στην Κίνα. Είμαστε ειδικευμένοι στην κεραμική επίστρωση για πολλά χρόνια. Ο δακτύλιος οδηγός με επίστρωση TaC χρησιμοποιείται κυρίως για την καθοδήγηση και τον έλεγχο της ροής αέρα, ενισχύοντας την απόδοση της ανάπτυξης μονοκρυστάλλων. Καλώς ήρθατε να μας ρωτήσετε για περισσότερες πληροφορίες.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής πλανητικού δίσκου περιστροφής με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου και καινοτόμος στην Κίνα. Είμαστε εξειδικευμένοι στην κεραμική επίστρωση για πολλά χρόνια. Τα προϊόντα μας έχουν υψηλή καθαρότητα και αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής και καινοτόμος φορέας γραφίτη με επίστρωση TaC και καινοτόμος στην Κίνα. Είμαστε εξειδικευμένοι στην επίστρωση SiC και TaC εδώ και πολλά χρόνια. Ο φορέας γραφίτη με επίστρωση TaC έχει υψηλότερη αντοχή στη θερμοκρασία και ανθεκτικό στη φθορά. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης