Η VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής και καινοτόμος φορέας γραφίτη με επίστρωση TaC και καινοτόμος στην Κίνα. Είμαστε εξειδικευμένοι στην επίστρωση SiC και TaC εδώ και πολλά χρόνια. Ο φορέας γραφίτη με επίστρωση TaC έχει υψηλότερη αντοχή στη θερμοκρασία και ανθεκτικό στη φθορά. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Μπορείτε να είστε σίγουροι ότι θα αγοράσετε προσαρμοσμένο TaC Coated Graphite Carrier Wafer από την VeTek Semiconductor. Ανυπομονούμε να συνεργαστούμε μαζί σας, αν θέλετε να μάθετε περισσότερα, μπορείτε να μας συμβουλευτείτε τώρα, θα σας απαντήσουμε εγκαίρως!
Το VeTek Semiconductor TaC Coated Graphite Wafer Carrier αλληλεπιδρά άμεσα με τις γκοφρέτες στον αντιδραστήρα επιταξίας, βελτιώνοντας την απόδοση και την απόδοση. Με την επιλογή επικάλυψης καρβιδίου του πυριτίου ή καρβιδίου του τανταλίου, η VeTek Semiconductor TaC Coated Graphite Carrier προσφέρει εκτεταμένη διάρκεια ζωής, έως και 2-3 φορές μεγαλύτερη με καρβίδιο τανταλίου. Συμβατό με διάφορα μοντέλα μηχανών, συμπεριλαμβανομένων των κλιβάνων επιταξίας LPE SiC, των επιταξιακών κλιβάνων JSG, NASO.
Ο φορέας γραφίτη με επίστρωση VeTek Semiconductor TaC εξασφαλίζει ακριβή στοιχειομετρία αντίδρασης, αποτρέπει τη μετανάστευση ακαθαρσιών και διατηρεί σταθερότητα θερμοκρασίας πέραν των 2000°C. Παρουσιάζει αξιοσημείωτη αντοχή στα H2, NH3, SiH4 και Si, προστατεύοντας από σκληρά χημικά περιβάλλοντα. Αντοχή σε θερμικούς κραδασμούς, επιτρέπει γρήγορους κύκλους λειτουργίας χωρίς αποκόλληση επίστρωσης.
Η επίστρωση TaC Semiconductor VeTek εγγυάται εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, εξαλείφει τις ακαθαρσίες και εξασφαλίζει ομοιόμορφη κάλυψη που πληροί αυστηρές ανοχές διαστάσεων. Με τις προηγμένες δυνατότητες επεξεργασίας γραφίτη της VeTek Semiconductor, είμαστε εξοπλισμένοι για να καλύψουμε τις ανάγκες προσαρμογής σας. Είτε χρειάζεστε υπηρεσίες επίστρωσης είτε ολοκληρωμένες λύσεις, η ομάδα ειδικών μηχανικών μας είναι έτοιμη να σχεδιάσει την τέλεια λύση για τις συγκεκριμένες εφαρμογές σας. Εμπιστευτείτε μας για την παράδοση προϊόντων υψηλής ποιότητας προσαρμοσμένων στις απαιτήσεις και τις προσδοκίες σας.
Φυσικές ιδιότητες επικάλυψης TaC | |
Πυκνότητα | 14,3 (g/cm³) |
Ειδική ικανότητα εκπομπής | 0.3 |
Συντελεστής θερμικής διαστολής | 6,3 10-6/Κ |
Σκληρότητα (HK) | 2000 HK |
Αντίσταση | 1×10-5 Ohm*cm |
Θερμική σταθερότητα | <2500℃ |
Αλλάζει το μέγεθος του γραφίτη | -10~-20 μμ |
Πάχος επίστρωσης | ≥20um τυπική τιμή (35um±10um) |