Η VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής και καινοτόμος θερμαντήρας επίστρωσης TaC στην Κίνα. Αυτό το προϊόν έχει εξαιρετικά υψηλό σημείο τήξης (περίπου 3880°C). Το υψηλό σημείο τήξης του θερμαντήρα επίστρωσης TaC του επιτρέπει να λειτουργεί σε εξαιρετικά υψηλές θερμοκρασίες, ειδικά κατά την ανάπτυξη επιταξιακών στρωμάτων νιτριδίου του γαλλίου (GaN) στη διαδικασία εναπόθεσης μεταλλικών οργανικών χημικών ατμών (MOCVD). Η VeTek Semiconductor δεσμεύεται να παρέχει προηγμένες λύσεις τεχνολογίας και προϊόντων για τη βιομηχανία ημιαγωγών. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Το TaC Coating Heater είναι ένα θερμαντικό στοιχείο υψηλής απόδοσης που χρησιμοποιείται ευρέως σε διαδικασίες παραγωγής ημιαγωγών. Η επιφάνειά του είναι επικαλυμμένη με υλικό καρβιδίου του τανταλίου (TaC), το οποίο δίνει στον θερμαντήρα εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, αντοχή στη χημική διάβρωση και εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα.
Οι κύριες εφαρμογές του TaC Coating Heater στην κατασκευή ημιαγωγών περιλαμβάνουν:
Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επιταξιακής ανάπτυξης νιτριδίου του γαλλίου (GaN), ο θερμαντήρας επίστρωσης TaC παρέχει ένα περιβάλλον με ακρίβεια ελεγχόμενης υψηλής θερμοκρασίας για να διασφαλίσει ότι το επιταξιακό στρώμα εναποτίθεται στο υπόστρωμα με ομοιόμορφο ρυθμό και υψηλή ποιότητα. Η σταθερή απόδοση θερμότητας του βοηθά στον ακριβή έλεγχο των υλικών λεπτής μεμβράνης, βελτιώνοντας έτσι την απόδοση της συσκευής.
Επιπλέον, στη διαδικασία εναπόθεσης μεταλλικών οργανικών χημικών ατμών (MOCVD), σε συνδυασμό με την αντίσταση σε υψηλή θερμοκρασία και τη θερμική αγωγιμότητα της επικάλυψης TaC, ο θερμαντήρας επίστρωσης TaC χρησιμοποιείται συνήθως για τη θέρμανση του αερίου αντίδρασης και παρέχοντας ομοιόμορφη κατανομή θερμότητας, προωθεί Η χημική του αντίδραση στην επιφάνεια του υποστρώματος, βελτιώνοντας έτσι την ομοιομορφία της επιταξιακής στρώσης και σχηματίζοντας ένα φιλμ υψηλής ποιότητας.
Ως ηγέτης του κλάδου στα προϊόντα TaC Coating Heater, η VeTek Semiconducto υποστηρίζει πάντα υπηρεσίες προσαρμογής προϊόντων και ικανοποιητικές τιμές προϊόντων. Ανεξάρτητα από τις συγκεκριμένες απαιτήσεις σας, θα ταιριάξουμε την καλύτερη λύση για τις ανάγκες σας για τον θερμαντήρα επίστρωσης TaC και περιμένουμε τη συμβουλή σας ανά πάσα στιγμή.
Φυσικές ιδιότητες επικάλυψης TaC | |
Πυκνότητα | 14,3 (g/cm³) |
Ειδική ικανότητα εκπομπής | 0.3 |
Συντελεστής θερμικής διαστολής | 6,3 10-6/Κ |
Σκληρότητα (HK) | 2000 HK |
Αντίσταση | 1×10-5 Ohm*cm |
Θερμική σταθερότητα | <2500℃ |
Αλλάζει το μέγεθος του γραφίτη | -10~-20 μμ |
Πάχος επίστρωσης | ≥20um τυπική τιμή (35um±10um) |