Κίνα Διαδικασία Επιτάξεως SiC Κατασκευαστής, Προμηθευτής, Εργοστάσιο

Οι μοναδικές επικαλύψεις καρβιδίου της VeTek Semiconductor παρέχουν ανώτερη προστασία για τα μέρη γραφίτη στη διεργασία επιτάξεως SiC για την επεξεργασία απαιτητικών ημιαγωγών και σύνθετων ημιαγωγών υλικών. Το αποτέλεσμα είναι η παρατεταμένη διάρκεια ζωής του συστατικού γραφίτη, η διατήρηση της στοιχειομετρίας της αντίδρασης, η αναστολή της μετανάστευσης ακαθαρσιών σε εφαρμογές επιταξίας και ανάπτυξης κρυστάλλων, με αποτέλεσμα αυξημένη απόδοση και ποιότητα.

Οι επικαλύψεις καρβιδίου του τανταλίου (TaC) προστατεύουν τα κρίσιμα εξαρτήματα του κλιβάνου και του αντιδραστήρα σε υψηλές θερμοκρασίες (έως 2200°C) από καυτή αμμωνία, υδρογόνο, ατμούς πυριτίου και λιωμένα μέταλλα. Το VeTek Semiconductor έχει ένα ευρύ φάσμα δυνατοτήτων επεξεργασίας και μέτρησης γραφίτη για να καλύψει τις προσαρμοσμένες απαιτήσεις σας, ώστε να μπορούμε να προσφέρουμε επίστρωση ή πλήρη εξυπηρέτηση με χρέωση, με την ομάδα ειδικών μηχανικών μας έτοιμη να σχεδιάσει τη σωστή λύση για εσάς και τη συγκεκριμένη εφαρμογή σας .

Σύνθετοι κρύσταλλοι ημιαγωγών

Το VeTek Semiconductor μπορεί να παρέχει ειδικές επικαλύψεις TaC για διάφορα εξαρτήματα και φορείς. Μέσω της κορυφαίας διαδικασίας επίστρωσης της VeTek Semiconductor, η επίστρωση TaC μπορεί να αποκτήσει υψηλή καθαρότητα, σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας και υψηλή χημική αντοχή, βελτιώνοντας έτσι την ποιότητα του προϊόντος των στρωμάτων κρυστάλλου TaC/GaN και EPl και παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής των κρίσιμων εξαρτημάτων του αντιδραστήρα.

Θερμομονωτές

Συστατικά ανάπτυξης κρυστάλλων SiC, GaN και AlN, συμπεριλαμβανομένων των χωνευτηρίων, των δοχείων σπόρων, των εκτροπέων και των φίλτρων. Βιομηχανικά συγκροτήματα που περιλαμβάνουν θερμαντικά στοιχεία αντίστασης, ακροφύσια, δακτυλίους θωράκισης και εξαρτήματα συγκόλλησης, εξαρτήματα GaN και SiC επιταξιακού αντιδραστήρα CVD, συμπεριλαμβανομένων φορέων πλακών, δορυφορικών δίσκων, κεφαλών ντους, καπακιών και βάθρων, εξαρτημάτων MOCVD.

Σκοπός:

Φορέας γκοφρέτας LED (Δίοδος εκπομπής φωτός).

Δέκτης ALD(Semiconductor).

Υποδοχέας EPI (Διαδικασία επιτάξεως SiC)

Satellite Susceptor με επικάλυψη TaC TaC Coating Susceptor&Ring TaC Ανταλλακτικά επίστρωσης Εξαρτήματα Halfmoon με επίστρωση TaC

Σύγκριση επικάλυψης SiC και επίστρωσης TaC:

	Ούτω	TaC
Κύρια χαρακτηριστικά	Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, εξαιρετική αντίσταση στο πλάσμα	Εξαιρετική σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας (συμμόρφωση διαδικασίας υψηλής θερμοκρασίας)
Καθαρότητα	>99,9999%	>99,9999%
Πυκνότητα (g/cm 3)	3.21	15
Σκληρότητα (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Αντίσταση [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Θερμική αγωγιμότητα (W/m-K)	200-360	22
Συντελεστής θερμικής διαστολής (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Εφαρμογή	Εξοπλισμός ημιαγωγών Κεραμική σέγα (δακτύλιος εστίασης, κεφαλή ντους, εικονική γκοφρέτα)	Ανταλλακτικά SiC Single Crystal Development, Epi, UV LED Εξοπλισμός

View as

Θερμαντήρας επίστρωσης TaC

Η VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής και καινοτόμος θερμαντήρας επίστρωσης TaC στην Κίνα. Αυτό το προϊόν έχει εξαιρετικά υψηλό σημείο τήξης (περίπου 3880°C). Το υψηλό σημείο τήξης του θερμαντήρα επίστρωσης TaC του επιτρέπει να λειτουργεί σε εξαιρετικά υψηλές θερμοκρασίες, ειδικά κατά την ανάπτυξη επιταξιακών στρωμάτων νιτριδίου του γαλλίου (GaN) στη διαδικασία εναπόθεσης μεταλλικών οργανικών χημικών ατμών (MOCVD). Η VeTek Semiconductor δεσμεύεται να παρέχει προηγμένες λύσεις τεχνολογίας και προϊόντων για τη βιομηχανία ημιαγωγών. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.

Διαβάστε περισσότερα Αποστολή Ερώτησης

Τσοκ με επίστρωση TaC

Ως επαγγελματίας κατασκευαστής και προμηθευτής τσοκ με επίστρωση TaC στην Κίνα, το τσοκ επίστρωσης TaC της VeTek Semiconductor είναι ειδικά σχεδιασμένο για κλιβάνους ημιαγωγών. Με την αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, τη χημική αδράνεια και την εξαιρετική απόδοση, η καινοτόμος τεχνολογία της Vetek Semiconductor παρέχει μια αξιόπιστη λύση για τη βιομηχανία κατασκευής ημιαγωγών για τη διασφάλιση προτύπων παραγωγής υψηλής ποιότητας. Πιστεύουμε ότι τα προϊόντα μας μπορούν να σας προσφέρουν προηγμένη τεχνολογία και λύσεις προϊόντων υψηλής ποιότητας.

Διαβάστε περισσότερα Αποστολή Ερώτησης

Σωλήνας επίστρωσης TaC

Ως επαγγελματίας κατασκευαστής και προμηθευτής σωλήνων επίστρωσης TaC στην Κίνα, ο σωλήνας επίστρωσης TaC της VeTek Semiconductor είναι βασικό συστατικό για την επιτυχή ανάπτυξη μονοκρυστάλλων καρβιδίου του πυριτίου. Με την αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, τη χημική αδράνεια και την εξαιρετική απόδοση, εξασφαλίζει την παραγωγή κρυστάλλων υψηλής ποιότητας με σταθερά αποτελέσματα. Εμπιστευτείτε τις καινοτόμες λύσεις μας για να βελτιώσετε τη διαδικασία ανάπτυξης κρυστάλλων SiC με τη μέθοδο PVT και να επιτύχετε εξαιρετικά αποτελέσματα. Καλώς ήρθατε να μας ρωτήσετε.

Διαβάστε περισσότερα Αποστολή Ερώτησης

Επικάλυψη CVD TAC

Η VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής, καινοτόμος και ηγέτης της CVD TAC Coating στην Κίνα. Για πολλά χρόνια, εστιάζουμε σε διάφορα προϊόντα CVD TAC Coating, όπως κάλυμμα επίστρωσης CVD TaC, CVD TaC Coating Ring, CVD TaC Coating carrier κ.λπ. Το VeTek Semiconductor υποστηρίζει προσαρμοσμένες υπηρεσίες προϊόντων και ικανοποιητικές τιμές προϊόντων και προσβλέπει σε περαιτέρω διαβούλευση.

Διαβάστε περισσότερα Αποστολή Ερώτησης

Ανταλλακτικό TaC Coating

Η VeTek Semiconductor είναι επαγγελματίας κατασκευαστής TaC Coating Plate και άλλων ανταλλακτικών TaC Coating στην Κίνα. Η επίστρωση TaC χρησιμοποιείται επί του παρόντος κυρίως σε διεργασίες όπως η ανάπτυξη μονοκρυστάλλου καρβιδίου του πυριτίου (μέθοδος PVT), ο επιταξιακός δίσκος (συμπεριλαμβανομένης της επιταξίας καρβιδίου του πυριτίου, της επιταξίας LED) κ.λπ. Σε συνδυασμό με την καλή μακροπρόθεσμη σταθερότητα της πλάκας επίστρωσης TaC, VeTek Semiconductor TaC Το Coating Plate έχει γίνει το σημείο αναφοράς για τα ανταλλακτικά TaC Coating. Ανυπομονούμε να γίνετε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης μας.

Διαβάστε περισσότερα Αποστολή Ερώτησης

GaN σε δέκτη SiC epi

Η VeTek Semiconductor είναι επαγγελματίας κατασκευαστής GaN on SiC epi susceptor, CVD SiC επίστρωση και CVD TAC COATING sceptor graphite στην Κίνα. Μεταξύ αυτών, το GaN στο SiC epi susceptor παίζει ζωτικό ρόλο στην επεξεργασία ημιαγωγών. Μέσω της εξαιρετικής θερμικής αγωγιμότητας, της ικανότητας επεξεργασίας σε υψηλές θερμοκρασίες και της χημικής σταθερότητας, διασφαλίζει την υψηλή απόδοση και ποιότητα υλικού της διαδικασίας επιταξιακής ανάπτυξης GaN. Ανυπομονούμε ειλικρινά για την περαιτέρω διαβούλευση σας.

Διαβάστε περισσότερα Αποστολή Ερώτησης

<1 2 3 4 5...7 >

Ως επαγγελματίας κατασκευαστής και προμηθευτής Διαδικασία Επιτάξεως SiC στην Κίνα, έχουμε το δικό μας εργοστάσιο. Είτε χρειάζεστε προσαρμοσμένες υπηρεσίες για να καλύψετε τις συγκεκριμένες ανάγκες της περιοχής σας είτε θέλετε να αγοράσετε προηγμένες και ανθεκτικές Διαδικασία Επιτάξεως SiC κατασκευασμένες στην Κίνα, μπορείτε να μας αφήσετε ένα μήνυμα.