Οι μοναδικές επικαλύψεις καρβιδίου της VeTek Semiconductor παρέχουν ανώτερη προστασία για τα μέρη γραφίτη στη διεργασία επιτάξεως SiC για την επεξεργασία απαιτητικών ημιαγωγών και σύνθετων ημιαγωγών υλικών. Το αποτέλεσμα είναι η παρατεταμένη διάρκεια ζωής του συστατικού γραφίτη, η διατήρηση της στοιχειομετρίας της αντίδρασης, η αναστολή της μετανάστευσης ακαθαρσιών σε εφαρμογές επιταξίας και ανάπτυξης κρυστάλλων, με αποτέλεσμα αυξημένη απόδοση και ποιότητα.
Οι επικαλύψεις καρβιδίου του τανταλίου (TaC) προστατεύουν τα κρίσιμα εξαρτήματα του κλιβάνου και του αντιδραστήρα σε υψηλές θερμοκρασίες (έως 2200°C) από καυτή αμμωνία, υδρογόνο, ατμούς πυριτίου και λιωμένα μέταλλα. Το VeTek Semiconductor έχει ένα ευρύ φάσμα δυνατοτήτων επεξεργασίας και μέτρησης γραφίτη για να καλύψει τις προσαρμοσμένες απαιτήσεις σας, ώστε να μπορούμε να προσφέρουμε επίστρωση ή πλήρη εξυπηρέτηση με χρέωση, με την ομάδα ειδικών μηχανικών μας έτοιμη να σχεδιάσει τη σωστή λύση για εσάς και τη συγκεκριμένη εφαρμογή σας .
Σύνθετοι κρύσταλλοι ημιαγωγών
Το VeTek Semiconductor μπορεί να παρέχει ειδικές επικαλύψεις TaC για διάφορα εξαρτήματα και φορείς. Μέσω της κορυφαίας διαδικασίας επίστρωσης της VeTek Semiconductor, η επίστρωση TaC μπορεί να αποκτήσει υψηλή καθαρότητα, σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας και υψηλή χημική αντοχή, βελτιώνοντας έτσι την ποιότητα του προϊόντος των στρωμάτων κρυστάλλου TaC/GaN και EPl και παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής των κρίσιμων εξαρτημάτων του αντιδραστήρα.
Θερμομονωτές
Συστατικά ανάπτυξης κρυστάλλων SiC, GaN και AlN, συμπεριλαμβανομένων των χωνευτηρίων, των δοχείων σπόρων, των εκτροπέων και των φίλτρων. Βιομηχανικά συγκροτήματα που περιλαμβάνουν θερμαντικά στοιχεία αντίστασης, ακροφύσια, δακτυλίους θωράκισης και εξαρτήματα συγκόλλησης, εξαρτήματα GaN και SiC επιταξιακού αντιδραστήρα CVD, συμπεριλαμβανομένων φορέων πλακών, δορυφορικών δίσκων, κεφαλών ντους, καπακιών και βάθρων, εξαρτημάτων MOCVD.
Φορέας γκοφρέτας LED (Δίοδος εκπομπής φωτός).
Δέκτης ALD(Semiconductor).
Υποδοχέας EPI (Διαδικασία επιτάξεως SiC)
Satellite Susceptor με επικάλυψη TaC TaC Coating Susceptor&Ring TaC Ανταλλακτικά επίστρωσης Εξαρτήματα Halfmoon με επίστρωση TaC
Ούτω | TaC | |
Κύρια χαρακτηριστικά | Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, εξαιρετική αντίσταση στο πλάσμα | Εξαιρετική σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας (συμμόρφωση διαδικασίας υψηλής θερμοκρασίας) |
Καθαρότητα | >99,9999% | >99,9999% |
Πυκνότητα (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Σκληρότητα (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Αντίσταση [Ωcm] | 0,1-15.000 | <1 |
Θερμική αγωγιμότητα (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Συντελεστής θερμικής διαστολής (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Εφαρμογή | Εξοπλισμός ημιαγωγών Κεραμική σέγα (δακτύλιος εστίασης, κεφαλή ντους, εικονική γκοφρέτα) | Ανταλλακτικά SiC Single Crystal Development, Epi, UV LED Εξοπλισμός |
Η VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής και καινοτόμος επικάλυψης επικάλυψης καρβιδίου τανταλίου στην Κίνα. Εστιάζουμε στην παροχή προϊόντων καρβιδίου του τανταλίου υψηλής καθαρότητας, ανθεκτικά σε υψηλές θερμοκρασίες. Το κάλυμμά μας με επίστρωση καρβιδίου τανταλίου έχει εξαιρετική απόδοση και αξιοπιστία και μπορεί να προστατεύσει αποτελεσματικά τα υλικά σε εξαιρετικά υψηλές θερμοκρασίες και διαβρωτικά περιβάλλοντα. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΟ δακτύλιος εκτροπέα με επίστρωση TaC της VeTek Semiconductor είναι ένα εξαιρετικά εξειδικευμένο εξάρτημα σχεδιασμένο για διαδικασίες ανάπτυξης κρυστάλλων SiC. Η επίστρωση TaC παρέχει εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες και χημική αδράνεια για να αντιμετωπίσει τις υψηλές θερμοκρασίες και τα διαβρωτικά περιβάλλοντα κατά τη διαδικασία ανάπτυξης κρυστάλλων. Αυτό εξασφαλίζει σταθερή απόδοση και μεγάλη διάρκεια ζωής του εξαρτήματος, μειώνοντας τη συχνότητα αντικατάστασης και το χρόνο διακοπής λειτουργίας. Δεσμευόμαστε να παρέχουμε ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές και ανυπομονούμε να είμαστε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο VeTek Semiconductor είναι ένας μεγάλης κλίμακας επικαλυμμένος δακτύλιος TaC για SiC Epitaxial Reactor κατασκευαστής και καινοτόμος στην Κίνα. Είμαστε εξειδικευμένοι στην επίστρωση TaC για πολλά χρόνια. Τα προϊόντα μας έχουν υψηλή καθαρότητα, υψηλή σταθερότητα, εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση, υψηλή αντοχή δεσμού. να γίνει ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο VeTek Semiconductor είναι ένα μεγάλης κλίμακας ανταλλακτικό Halfmoon με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου για κατασκευαστή LPE και καινοτόμο στην Κίνα. Είμαστε εξειδικευμένοι στην επίστρωση TaC για πολλά χρόνια. Τα προϊόντα μας αντέχουν σε θερμοκρασίες πάνω από 2000 βαθμούς Κελσίου, παρατείνουν τη διάρκεια ζωής των αναλωσίμων. Ανυπομονούμε να γίνει ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής πλανητικού δίσκου περιστροφής με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου και καινοτόμος στην Κίνα. Είμαστε εξειδικευμένοι στην κεραμική επίστρωση για πολλά χρόνια. Τα προϊόντα μας έχουν υψηλή καθαρότητα και αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης