Οι μοναδικές επικαλύψεις καρβιδίου της VeTek Semiconductor παρέχουν ανώτερη προστασία για τα μέρη γραφίτη στη διεργασία επιτάξεως SiC για την επεξεργασία απαιτητικών ημιαγωγών και σύνθετων ημιαγωγών υλικών. Το αποτέλεσμα είναι η παρατεταμένη διάρκεια ζωής του συστατικού γραφίτη, η διατήρηση της στοιχειομετρίας της αντίδρασης, η αναστολή της μετανάστευσης ακαθαρσιών σε εφαρμογές επιταξίας και ανάπτυξης κρυστάλλων, με αποτέλεσμα αυξημένη απόδοση και ποιότητα.
Οι επικαλύψεις καρβιδίου του τανταλίου (TaC) προστατεύουν τα κρίσιμα εξαρτήματα του κλιβάνου και του αντιδραστήρα σε υψηλές θερμοκρασίες (έως 2200°C) από καυτή αμμωνία, υδρογόνο, ατμούς πυριτίου και λιωμένα μέταλλα. Το VeTek Semiconductor έχει ένα ευρύ φάσμα δυνατοτήτων επεξεργασίας και μέτρησης γραφίτη για να καλύψει τις προσαρμοσμένες απαιτήσεις σας, ώστε να μπορούμε να προσφέρουμε επίστρωση ή πλήρη εξυπηρέτηση με χρέωση, με την ομάδα ειδικών μηχανικών μας έτοιμη να σχεδιάσει τη σωστή λύση για εσάς και τη συγκεκριμένη εφαρμογή σας .
Σύνθετοι κρύσταλλοι ημιαγωγών
Το VeTek Semiconductor μπορεί να παρέχει ειδικές επικαλύψεις TaC για διάφορα εξαρτήματα και φορείς. Μέσω της κορυφαίας διαδικασίας επίστρωσης της VeTek Semiconductor, η επίστρωση TaC μπορεί να αποκτήσει υψηλή καθαρότητα, σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας και υψηλή χημική αντοχή, βελτιώνοντας έτσι την ποιότητα του προϊόντος των στρωμάτων κρυστάλλου TaC/GaN και EPl και παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής των κρίσιμων εξαρτημάτων του αντιδραστήρα.
Θερμομονωτές
Συστατικά ανάπτυξης κρυστάλλων SiC, GaN και AlN, συμπεριλαμβανομένων των χωνευτηρίων, των δοχείων σπόρων, των εκτροπέων και των φίλτρων. Βιομηχανικά συγκροτήματα που περιλαμβάνουν θερμαντικά στοιχεία αντίστασης, ακροφύσια, δακτυλίους θωράκισης και εξαρτήματα συγκόλλησης, εξαρτήματα GaN και SiC επιταξιακού αντιδραστήρα CVD, συμπεριλαμβανομένων φορέων πλακών, δορυφορικών δίσκων, κεφαλών ντους, καπακιών και βάθρων, εξαρτημάτων MOCVD.
Φορέας γκοφρέτας LED (Δίοδος εκπομπής φωτός).
Δέκτης ALD(Semiconductor).
Υποδοχέας EPI (Διαδικασία επιτάξεως SiC)
Satellite Susceptor με επικάλυψη TaC TaC Coating Susceptor&Ring TaC Ανταλλακτικά επίστρωσης Εξαρτήματα Halfmoon με επίστρωση TaC
Ούτω | TaC | |
Κύρια χαρακτηριστικά | Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, εξαιρετική αντίσταση στο πλάσμα | Εξαιρετική σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας (συμμόρφωση διαδικασίας υψηλής θερμοκρασίας) |
Καθαρότητα | >99,9999% | >99,9999% |
Πυκνότητα (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Σκληρότητα (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Αντίσταση [Ωcm] | 0,1-15.000 | <1 |
Θερμική αγωγιμότητα (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Συντελεστής θερμικής διαστολής (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Εφαρμογή | Εξοπλισμός ημιαγωγών Κεραμική σέγα (δακτύλιος εστίασης, κεφαλή ντους, εικονική γκοφρέτα) | Ανταλλακτικά SiC Single Crystal Development, Epi, UV LED Εξοπλισμός |
Η VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής και καινοτόμος δακτύλιος με επίστρωση TaC με τρία πέταλα και καινοτόμος στην Κίνα. Είμαστε εξειδικευμένοι στην επίστρωση TaC και SiC εδώ και πολλά χρόνια. Τα προϊόντα μας έχουν αντοχή στη διάβρωση, υψηλή αντοχή. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής τσοκ με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου και καινοτόμος στην Κίνα. Είμαστε εξειδικευμένοι στην επίστρωση TaC για πολλά χρόνια. Τα προϊόντα μας έχουν υψηλή καθαρότητα και αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία έως 2000℃. Ανυπομονούμε να γίνουμε μακροπρόθεσμα συνεργάτης στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής καλυμμάτων με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου και καινοτόμος στην Κίνα. Είμαστε εξειδικευμένοι στην επίστρωση TaC και SiC εδώ και πολλά χρόνια. Τα προϊόντα μας έχουν αντοχή στη διάβρωση, υψηλή αντοχή. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος προμηθευτής προσαρμοσμένου Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon στην Κίνα, που ειδικεύεται σε προηγμένα υλικά για πολλά χρόνια. Το Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon είναι ειδικά σχεδιασμένο για επιταξιακό εξοπλισμό SiC, εξασφαλίζοντας εξαιρετική απόδοση. Κατασκευασμένο από εξαιρετικά καθαρό εισαγόμενο γραφίτη, προσφέρει αξιοπιστία και ανθεκτικότητα. Επισκεφθείτε το εργοστάσιό μας στην Κίνα για να εξερευνήσετε από πρώτο χέρι την υψηλής ποιότητας Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος προμηθευτής προσαρμοσμένου Upper Halfmoon Part SiC με επίστρωση στην Κίνα, που ειδικεύεται σε προηγμένα υλικά για περισσότερα από 20 χρόνια. Το VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part SiC με επίστρωση είναι ειδικά σχεδιασμένο για επιταξιακό εξοπλισμό SiC, που χρησιμεύει ως κρίσιμο συστατικό στο θάλαμο αντίδρασης. Κατασκευασμένο από εξαιρετικά καθαρό γραφίτη ημιαγωγού, εξασφαλίζει εξαιρετική απόδοση. Σας προσκαλούμε να επισκεφθείτε το εργοστάσιό μας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ VeTek Semiconductor είναι ένας κορυφαίος εξατομικευμένος προμηθευτής καρβιδίου πυριτίου Epitaxy Wafer Carrier στην Κίνα. Είμαστε εξειδικευμένοι σε προηγμένο υλικό για περισσότερα από 20 χρόνια. Προσφέρουμε ένα Carbide Carbide Epitaxy Wafer Wafer για μεταφορά υποστρώματος SiC, αυξανόμενο στρώμα επιτάξεως SiC στον επιταξιακό αντιδραστήρα SiC. Αυτό το καρβίδιο πυριτίου Epitaxy Wafer Carrier είναι ένα σημαντικό επικαλυμμένο με SiC μέρος του εξαρτήματος halfmoon, αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχή στην οξείδωση, αντοχή στη φθορά. Σας καλωσορίζουμε να επισκεφτείτε το εργοστάσιό μας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης