Η VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής τσοκ με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου και καινοτόμος στην Κίνα. Είμαστε εξειδικευμένοι στην επίστρωση TaC για πολλά χρόνια. Τα προϊόντα μας έχουν υψηλή καθαρότητα και αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία έως 2000℃. Ανυπομονούμε να γίνουμε μακροπρόθεσμα συνεργάτης στην Κίνα.
Η VeTek Semiconductor παρέχει υψηλής ποιότητας τσοκ με επίστρωση καρβιδίου τανταλίου, εξαρτήματα επίστρωσης SiC με ανταγωνιστική τιμή. Καλώς ήρθατε να μας ρωτήσετε. Τσοκ με επίστρωση καρβιδίου τανταλίου VeTek, ειδικά σχεδιασμένο για το σύστημα AIXTRON G10 MOCVD. Αυτό το εξάρτημα ενισχύει την αποτελεσματικότητα και την ποιότητα στην κατασκευή ημιαγωγών, παρέχοντας εξαιρετική απόδοση και αξιοπιστία.
Κατασκευασμένο από υλικά υψηλής ποιότητας και κατασκευασμένο με ακρίβεια, το τσοκ διαθέτει υπόστρωμα γραφίτη επικαλυμμένο με καρβίδιο του τανταλίου CVD (TaC). Αυτή η επίστρωση παρέχει εξαιρετική θερμική σταθερότητα, υψηλή καθαρότητα και αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες. Εξασφαλίζει αξιόπιστη απόδοση στις απαιτητικές συνθήκες των διαδικασιών MOCVD.
Το τσοκ είναι προσαρμόσιμο για να δέχεται διαφορετικά μεγέθη γκοφρέτας ημιαγωγών, καθιστώντας το κατάλληλο για διάφορες απαιτήσεις παραγωγής. Η στιβαρή κατασκευή του ελαχιστοποιεί το χρόνο διακοπής λειτουργίας και το κόστος συντήρησης που σχετίζεται με τους φορείς και τους υποδοχείς γκοφρέτας.
Με το τσοκ VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Chuck, το σύστημα AIXTRON G10 MOCVD επιτυγχάνει υψηλότερη απόδοση και ανώτερα αποτελέσματα στην κατασκευή ημιαγωγών. Η εξαιρετική θερμική του σταθερότητα, η συμβατότητα με διαφορετικά μεγέθη γκοφρέτας και η αξιόπιστη απόδοση το καθιστούν απαραίτητο εργαλείο για τη βελτιστοποίηση της απόδοσης παραγωγής και την επίτευξη εξαιρετικών αποτελεσμάτων στο απαιτητικό περιβάλλον MOCVD.
Φυσικές ιδιότητες επικάλυψης TaC | |
Πυκνότητα | 14,3 (g/cm³) |
Ειδική ικανότητα εκπομπής | 0.3 |
Συντελεστής θερμικής διαστολής | 6,3 10-6/Κ |
Σκληρότητα (HK) | 2000 HK |
Αντίσταση | 1×10-5 Ohm*cm |
Θερμική σταθερότητα | <2500℃ |
Αλλάζει το μέγεθος του γραφίτη | -10~-20 μμ |
Πάχος επίστρωσης | ≥20um τυπική τιμή (35um±10um) |