Οι μοναδικές επικαλύψεις καρβιδίου της VeTek Semiconductor παρέχουν ανώτερη προστασία για τα μέρη γραφίτη στη διεργασία επιτάξεως SiC για την επεξεργασία απαιτητικών ημιαγωγών και σύνθετων ημιαγωγών υλικών. Το αποτέλεσμα είναι η παρατεταμένη διάρκεια ζωής του συστατικού γραφίτη, η διατήρηση της στοιχειομετρίας της αντίδρασης, η αναστολή της μετανάστευσης ακαθαρσιών σε εφαρμογές επιταξίας και ανάπτυξης κρυστάλλων, με αποτέλεσμα αυξημένη απόδοση και ποιότητα.
Οι επικαλύψεις καρβιδίου του τανταλίου (TaC) προστατεύουν τα κρίσιμα εξαρτήματα του κλιβάνου και του αντιδραστήρα σε υψηλές θερμοκρασίες (έως 2200°C) από καυτή αμμωνία, υδρογόνο, ατμούς πυριτίου και λιωμένα μέταλλα. Το VeTek Semiconductor έχει ένα ευρύ φάσμα δυνατοτήτων επεξεργασίας και μέτρησης γραφίτη για να καλύψει τις προσαρμοσμένες απαιτήσεις σας, ώστε να μπορούμε να προσφέρουμε επίστρωση ή πλήρη εξυπηρέτηση με χρέωση, με την ομάδα ειδικών μηχανικών μας έτοιμη να σχεδιάσει τη σωστή λύση για εσάς και τη συγκεκριμένη εφαρμογή σας .
Σύνθετοι κρύσταλλοι ημιαγωγών
Το VeTek Semiconductor μπορεί να παρέχει ειδικές επικαλύψεις TaC για διάφορα εξαρτήματα και φορείς. Μέσω της κορυφαίας διαδικασίας επίστρωσης της VeTek Semiconductor, η επίστρωση TaC μπορεί να αποκτήσει υψηλή καθαρότητα, σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας και υψηλή χημική αντοχή, βελτιώνοντας έτσι την ποιότητα του προϊόντος των στρωμάτων κρυστάλλου TaC/GaN και EPl και παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής των κρίσιμων εξαρτημάτων του αντιδραστήρα.
Θερμομονωτές
Συστατικά ανάπτυξης κρυστάλλων SiC, GaN και AlN, συμπεριλαμβανομένων των χωνευτηρίων, των δοχείων σπόρων, των εκτροπέων και των φίλτρων. Βιομηχανικά συγκροτήματα που περιλαμβάνουν θερμαντικά στοιχεία αντίστασης, ακροφύσια, δακτυλίους θωράκισης και εξαρτήματα συγκόλλησης, εξαρτήματα GaN και SiC επιταξιακού αντιδραστήρα CVD, συμπεριλαμβανομένων φορέων πλακών, δορυφορικών δίσκων, κεφαλών ντους, καπακιών και βάθρων, εξαρτημάτων MOCVD.
Φορέας γκοφρέτας LED (Δίοδος εκπομπής φωτός).
Δέκτης ALD(Semiconductor).
Υποδοχέας EPI (Διαδικασία επιτάξεως SiC)
Satellite Susceptor με επικάλυψη TaC TaC Coating Susceptor&Ring TaC Ανταλλακτικά επίστρωσης Εξαρτήματα Halfmoon με επίστρωση TaC
Ούτω | TaC | |
Κύρια χαρακτηριστικά | Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, εξαιρετική αντίσταση στο πλάσμα | Εξαιρετική σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας (συμμόρφωση διαδικασίας υψηλής θερμοκρασίας) |
Καθαρότητα | >99,9999% | >99,9999% |
Πυκνότητα (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Σκληρότητα (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Αντίσταση [Ωcm] | 0,1-15.000 | <1 |
Θερμική αγωγιμότητα (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Συντελεστής θερμικής διαστολής (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Εφαρμογή | Εξοπλισμός ημιαγωγών Κεραμική σέγα (δακτύλιος εστίασης, κεφαλή ντους, εικονική γκοφρέτα) | Ανταλλακτικά SiC Single Crystal Development, Epi, UV LED Εξοπλισμός |
Το κάλυμμα επίστρωσης CVD TaC που παρέχεται από την VeTek Semiconductor είναι ένα εξαιρετικά εξειδικευμένο εξάρτημα σχεδιασμένο ειδικά για απαιτητικές εφαρμογές. Με τα προηγμένα χαρακτηριστικά και την εξαιρετική απόδοση, το κάλυμμα επίστρωσης CVD TaC προσφέρει πολλά βασικά πλεονεκτήματα. Το κάλυμμα επίστρωσης CVD TaC παρέχει την απαραίτητη προστασία και απόδοση που απαιτούνται για την επιτυχία. Ανυπομονούμε να εξερευνήσουμε πιθανή συνεργασία μαζί σας!
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor είναι ένα εξαιρετικό προϊόν για εξοπλισμό επιταξίας Aixtron. Η στιβαρή επίστρωση TaC παρέχει εξαιρετική αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία και χημική αδράνεια. Αυτός ο μοναδικός συνδυασμός εξασφαλίζει αξιόπιστη απόδοση και μεγάλη διάρκεια ζωής, ακόμη και σε απαιτητικά περιβάλλοντα. Η VeTek δεσμεύεται να παρέχει προϊόντα υψηλής ποιότητας και να λειτουργεί ως μακροπρόθεσμος συνεργάτης στην κινεζική αγορά με ανταγωνιστικές τιμές.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ πλάκα στήριξης βάθρου επίστρωσης TaC της VeTek Semiconductor είναι ένα προϊόν υψηλής ακρίβειας που έχει σχεδιαστεί για να ανταποκρίνεται στις ειδικές απαιτήσεις των διαδικασιών επιταξίας ημιαγωγών. Με την επίστρωση TaC, την αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες και τη χημική αδράνεια, το προϊόν μας σάς δίνει τη δυνατότητα να παράγετε στρώματα EPI υψηλής ποιότητας με υψηλή ποιότητα. Δεσμευόμαστε να παρέχουμε ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές και ανυπομονούμε να είμαστε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο τσοκ επίστρωσης TaC της VeTek Semiconductor διαθέτει επίστρωση TaC υψηλής ποιότητας, γνωστή για την εξαιρετική αντίσταση σε υψηλές θερμοκρασίες και τη χημική αδράνεια, ιδιαίτερα στις διαδικασίες επιταξίας καρβιδίου του πυριτίου (SiC) (EPI). Με τα εξαιρετικά χαρακτηριστικά και την ανώτερη απόδοσή του, το τσοκ επίστρωσης TaC προσφέρει πολλά βασικά πλεονεκτήματα. Δεσμευόμαστε να παρέχουμε ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές και ανυπομονούμε να γίνουμε μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςLPE SiC Epi Halfmoon από την VeTek Semiconductor, ένα επαναστατικό προϊόν που έχει σχεδιαστεί για να ανυψώνει τις διαδικασίες επιτάξεως SiC του αντιδραστήρα LPE. Αυτή η λύση αιχμής διαθέτει πολλά βασικά χαρακτηριστικά που διασφαλίζουν ανώτερη απόδοση και αποδοτικότητα σε όλες τις κατασκευαστικές σας εργασίες. Ανυπομονούμε να δημιουργήσουμε μακροπρόθεσμη συνεργασία μαζί σας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ VeTek Semiconductor είναι ο κορυφαίος κατασκευαστής και προμηθευτής στην Κίνα για το Halfmoon με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου TaC, ειδικευόμαστε στην Ε&Α και την παραγωγή, μπορούμε να ελέγξουμε καλά την ποιότητα και να προσφέρουμε ανταγωνιστική τιμή. Είστε ευπρόσδεκτοι να επισκεφτείτε το εργοστάσιό μας για περαιτέρω συζήτηση σχετικά με μια μακροπρόθεσμη συνεργασία.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης