Η VeTek Semiconductor είναι ο κορυφαίος κατασκευαστής και προμηθευτής στην Κίνα για το Halfmoon με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου TaC, ειδικευόμαστε στην Ε&Α και την παραγωγή, μπορούμε να ελέγξουμε καλά την ποιότητα και να προσφέρουμε ανταγωνιστική τιμή. Είστε ευπρόσδεκτοι να επισκεφτείτε το εργοστάσιό μας για περαιτέρω συζήτηση σχετικά με μια μακροπρόθεσμη συνεργασία.
Η VeTek Semiconductor είναι επαγγελματίας κατασκευαστής και προμηθευτής Halfmoon με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου στην Κίνα. Το VeTek Semiconductor προσφέρει το TaC Coated Halfmoon με ταντάλιο, το οποίο παίζει ρόλο υποστήριξης και μεταφοράς στην επιταξιακή διαδικασία του καρβιδίου του πυριτίου, όχι μόνο υποστηρίζει το υπόστρωμα, αλλά παρέχει επίσης μια επίπεδη βάση, επιτρέποντας στην επιταξία να αναπτύσσεται ομοιόμορφα πάνω του.
Η ποιότητα και η απόδοση του τμήματος του halfmoon επηρεάζει άμεσα την ποιότητα και την απόδοση της γκοφρέτας κατά τη διαδικασία επιταξίας καρβιδίου του πυριτίου. Ως εκ τούτου, ο σχεδιασμός και η επιλογή του κατάλληλου τμήματος του μισού φεγγαριού είναι ζωτικής σημασίας για την επιτυχία της επιταξιακής διαδικασίας SiC. Το Halfmoon με επίστρωση TaC Carbide Tantalum που κατασκευάζεται από την VeTek Semiconductor μπορεί να ενισχύσει την αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, τη διάβρωση και την αντοχή στη φθορά, βελτιώνοντας σημαντικά τη σταθερότητα και τη διάρκεια ζωής του εξαρτήματος μισής σελήνης κατά τη διαδικασία ανάπτυξης.
Φυσικές ιδιότητες επικάλυψης TaC | |
Πυκνότητα | 14,3 (g/cm³) |
Ειδική ικανότητα εκπομπής | 0.3 |
Συντελεστής θερμικής διαστολής | 6,3 10-6/Κ |
Σκληρότητα (HK) | 2000 HK |
Αντίσταση | 1×10-5 Ohm*cm |
Θερμική σταθερότητα | <2500℃ |
Αλλάζει το μέγεθος του γραφίτη | -10~-20 μμ |
Πάχος επίστρωσης | ≥20um τυπική τιμή (35um±10um) |
1.Αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία
2. Υψηλή αντοχή στη διάβρωση
3. Υψηλή σκληρότητα και αντοχή στη φθορά
4.Καλή θερμική αγωγιμότητα
5.Καλή χημική αδράνεια