Δαχτυλίδι με τρία πέταλα με επίστρωση TaC

Η VeTek Semiconductor είναι επαγγελματίας κατασκευαστής και προμηθευτής δαχτυλιδιών τριών πετάλων με επίστρωση TaC στην Κίνα. Ο δακτύλιος τριών πετάλων με επίστρωση TaC χρησιμοποιείται στο σύστημα εναπόθεσης Aixtron G10 για σύνθετους ημιαγωγούς, επιταξία υψηλής απόδοσης G10-GaN 150/200 mm για ισχύ GaN & RF εφαρμογές.

Η επίστρωση VeTek Semiconductor TaC είναι μια νέα γενιά ανθεκτικού υλικού σε υψηλή θερμοκρασία, με καλύτερη σταθερότητα σε υψηλή θερμοκρασία από το SiC, ως ανθεκτική στη διάβρωση επίστρωση, επίστρωση ανθεκτική στην οξείδωση, επίστρωση ανθεκτική στη φθορά, μπορεί να χρησιμοποιηθεί σε περιβάλλον πάνω από 2000℃, χρησιμοποιείται ευρέως σε αεροδιαστημική υπερυψηλές θερμοκρασίες θερμών εξαρτημάτων, η τρίτη γενιά ημιαγωγών ανάπτυξης μονοκρυστάλλων και άλλα πεδία.

Χαρακτηριστικά Προϊόντος:

1. Υψηλή καθαρότητα, περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες < 5 ppm

2. Αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, αντίσταση στη διάβρωση, υψηλή πυκνότητα, υψηλή πυκνότητα

3. Είναι χημικά αδρανές στην αμμωνία, το υδρογόνο, το σιλάνιο και το πυρίτιο σε υψηλή θερμοκρασία και έχει καλή θερμική σταθερότητα.

4. Αντοχή σε θερμικό σοκ, μπορεί να επιταχύνει τον κύκλο λειτουργίας

5. Η ισχυρή πρόσφυση γραφίτη εξασφαλίζει μεγάλη διάρκεια ζωής και χωρίς αποκόλληση επίστρωσης.

6. Αυστηρές ανοχές διαστάσεων.

Κύριες εφαρμογές:

1. Επιταξιακή ανάπτυξη

2. Ανάπτυξη μονοκρυστάλλου

3. Εκτροπή διάβρωσης υψηλής θερμοκρασίας

4. Ακροφύσιο ανθεκτικό σε υψηλή θερμοκρασία και οξείδωση

5. Πτερύγια αεριοστροβίλου

Παράμετρος προϊόντος του δακτυλίου τριών πετάλων με επίστρωση TaC

Κατάστημα παραγωγής ημιαγωγών VeTek