Κίνα Διαδικασία Επιτάξεως SiC Κατασκευαστής, Προμηθευτής, Εργοστάσιο

Οι μοναδικές επικαλύψεις καρβιδίου της VeTek Semiconductor παρέχουν ανώτερη προστασία για τα μέρη γραφίτη στη διεργασία επιτάξεως SiC για την επεξεργασία απαιτητικών ημιαγωγών και σύνθετων ημιαγωγών υλικών. Το αποτέλεσμα είναι η παρατεταμένη διάρκεια ζωής του συστατικού γραφίτη, η διατήρηση της στοιχειομετρίας της αντίδρασης, η αναστολή της μετανάστευσης ακαθαρσιών σε εφαρμογές επιταξίας και ανάπτυξης κρυστάλλων, με αποτέλεσμα αυξημένη απόδοση και ποιότητα.

Οι επικαλύψεις καρβιδίου του τανταλίου (TaC) προστατεύουν τα κρίσιμα εξαρτήματα του κλιβάνου και του αντιδραστήρα σε υψηλές θερμοκρασίες (έως 2200°C) από καυτή αμμωνία, υδρογόνο, ατμούς πυριτίου και λιωμένα μέταλλα. Το VeTek Semiconductor έχει ένα ευρύ φάσμα δυνατοτήτων επεξεργασίας και μέτρησης γραφίτη για να καλύψει τις προσαρμοσμένες απαιτήσεις σας, ώστε να μπορούμε να προσφέρουμε επίστρωση ή πλήρη εξυπηρέτηση με χρέωση, με την ομάδα ειδικών μηχανικών μας έτοιμη να σχεδιάσει τη σωστή λύση για εσάς και τη συγκεκριμένη εφαρμογή σας .

Σύνθετοι κρύσταλλοι ημιαγωγών

Το VeTek Semiconductor μπορεί να παρέχει ειδικές επικαλύψεις TaC για διάφορα εξαρτήματα και φορείς. Μέσω της κορυφαίας διαδικασίας επίστρωσης της VeTek Semiconductor, η επίστρωση TaC μπορεί να αποκτήσει υψηλή καθαρότητα, σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας και υψηλή χημική αντοχή, βελτιώνοντας έτσι την ποιότητα του προϊόντος των στρωμάτων κρυστάλλου TaC/GaN και EPl και παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής των κρίσιμων εξαρτημάτων του αντιδραστήρα.

Θερμομονωτές

Συστατικά ανάπτυξης κρυστάλλων SiC, GaN και AlN, συμπεριλαμβανομένων των χωνευτηρίων, των δοχείων σπόρων, των εκτροπέων και των φίλτρων. Βιομηχανικά συγκροτήματα που περιλαμβάνουν θερμαντικά στοιχεία αντίστασης, ακροφύσια, δακτυλίους θωράκισης και εξαρτήματα συγκόλλησης, εξαρτήματα GaN και SiC επιταξιακού αντιδραστήρα CVD, συμπεριλαμβανομένων φορέων πλακών, δορυφορικών δίσκων, κεφαλών ντους, καπακιών και βάθρων, εξαρτημάτων MOCVD.

Σκοπός:

Φορέας γκοφρέτας LED (Δίοδος εκπομπής φωτός).

Δέκτης ALD(Semiconductor).

Υποδοχέας EPI (Διαδικασία επιτάξεως SiC)

Satellite Susceptor με επικάλυψη TaC TaC Coating Susceptor&Ring TaC Ανταλλακτικά επίστρωσης Εξαρτήματα Halfmoon με επίστρωση TaC

Σύγκριση επικάλυψης SiC και επίστρωσης TaC:

	Ούτω	TaC
Κύρια χαρακτηριστικά	Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, εξαιρετική αντίσταση στο πλάσμα	Εξαιρετική σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας (συμμόρφωση διαδικασίας υψηλής θερμοκρασίας)
Καθαρότητα	>99,9999%	>99,9999%
Πυκνότητα (g/cm 3)	3.21	15
Σκληρότητα (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Αντίσταση [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Θερμική αγωγιμότητα (W/m-K)	200-360	22
Συντελεστής θερμικής διαστολής (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Εφαρμογή	Εξοπλισμός ημιαγωγών Κεραμική σέγα (δακτύλιος εστίασης, κεφαλή ντους, εικονική γκοφρέτα)	Ανταλλακτικά SiC Single Crystal Development, Epi, UV LED Εξοπλισμός

View as

Δαχτυλίδι από καρβίδιο τανταλίου

Ως προηγμένος κατασκευαστής και παραγωγός προϊόντων δακτυλίου καρβιδίου τανταλίου στην Κίνα, το VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Ring έχει εξαιρετικά υψηλή σκληρότητα, αντοχή στη φθορά, αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία και χημική σταθερότητα και χρησιμοποιείται ευρέως στον τομέα της κατασκευής ημιαγωγών. Ειδικά σε CVD, PVD, διαδικασία εμφύτευσης ιόντων, διαδικασία χάραξης και επεξεργασία και μεταφορά πλακιδίων, είναι ένα απαραίτητο προϊόν για την επεξεργασία και την κατασκευή ημιαγωγών. Αναμένουμε την περαιτέρω διαβούλευση σας.

Διαβάστε περισσότερα Αποστολή Ερώτησης

Υποστήριξη επίστρωσης καρβιδίου τανταλίου

Ως επαγγελματίας κατασκευαστής και εργοστάσιο προϊόντων υποστήριξης επίστρωσης καρβιδίου τανταλίου στην Κίνα, η VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support χρησιμοποιείται συνήθως για επιφανειακή επίστρωση δομικών εξαρτημάτων ή εξαρτημάτων στήριξης σε εξοπλισμό ημιαγωγών, ειδικά για προστασία επιφάνειας βασικών εξαρτημάτων εξοπλισμού σε διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών, όπως CVD και PVD. Καλωσορίστε την περαιτέρω διαβούλευση σας.

Διαβάστε περισσότερα Αποστολή Ερώτησης

Δακτύλιος οδηγός καρβιδίου τανταλίου

Η VeTek Semiconductor είναι επαγγελματίας κατασκευαστής και ηγέτης των προϊόντων οδηγού δακτυλίου από καρβίδιο τανταλίου στην Κίνα. Ο δακτύλιος οδηγός καρβιδίου τανταλίου (TaC) είναι ένα εξάρτημα δακτυλίου υψηλής απόδοσης κατασκευασμένο από καρβίδιο τανταλίου, το οποίο χρησιμοποιείται συνήθως σε εξοπλισμό επεξεργασίας ημιαγωγών, ειδικά σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και εξαιρετικά διαβρωτικά όπως CVD, PVD, χάραξη και διάχυση. Η VeTek Semiconductor δεσμεύεται να παρέχει προηγμένες λύσεις τεχνολογίας και προϊόντων για τη βιομηχανία ημιαγωγών και καλωσορίζει τα περαιτέρω ερωτήματά σας.

Διαβάστε περισσότερα Αποστολή Ερώτησης

TaC Coating Rotation Susceptor

Ως επαγγελματίας κατασκευαστής, καινοτόμος και ηγέτης των προϊόντων TaC Coating Rotation Susceptor στην Κίνα. Το VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor εγκαθίσταται συνήθως σε εξοπλισμό εναπόθεσης χημικών ατμών (CVD) και μοριακής επιτάξεως δέσμης (MBE) για την υποστήριξη και την περιστροφή πλακών για να διασφαλιστεί η ομοιόμορφη εναπόθεση υλικού και η αποτελεσματική αντίδραση. Είναι βασικό συστατικό στην επεξεργασία ημιαγωγών. Καλωσορίστε την περαιτέρω διαβούλευση σας.

Διαβάστε περισσότερα Αποστολή Ερώτησης

Χωνευτήριο επικάλυψης CVD TaC

Η VeTek Semiconductor είναι επαγγελματίας κατασκευαστής και ηγέτης των προϊόντων CVD TaC Coating Crucible στην Κίνα. Το CVD TaC Coating Crucible βασίζεται σε επίστρωση άνθρακα τανταλίου (TaC). Η επίστρωση άνθρακα από ταντάλιο καλύπτεται ομοιόμορφα στην επιφάνεια του χωνευτηρίου μέσω της διαδικασίας χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD) για να ενισχύσει την αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση. Είναι ένα υλικό εργαλείο που χρησιμοποιείται ειδικά σε ακραία περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας. Καλωσορίστε την περαιτέρω διαβούλευση σας.

Διαβάστε περισσότερα Αποστολή Ερώτησης

CVD TaC Coating Wafer Carrier

Ως επαγγελματίας κατασκευαστής και εργοστάσιο προϊόντων CVD TaC Coating Wafer Carrier στην Κίνα, το VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier είναι ένα εργαλείο μεταφοράς γκοφρέτας ειδικά σχεδιασμένο για υψηλές θερμοκρασίες και διαβρωτικά περιβάλλοντα στην κατασκευή ημιαγωγών. και CVD TaC Coating Wafer Carrier έχει υψηλή μηχανική αντοχή, εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση και θερμική σταθερότητα, παρέχοντας την απαραίτητη εγγύηση για την κατασκευή συσκευών ημιαγωγών υψηλής ποιότητας. Οι περαιτέρω ερωτήσεις σας είναι ευπρόσδεκτες.

Διαβάστε περισσότερα Αποστολή Ερώτησης

<1 2 3 4 5...7 >

Ως επαγγελματίας κατασκευαστής και προμηθευτής Διαδικασία Επιτάξεως SiC στην Κίνα, έχουμε το δικό μας εργοστάσιο. Είτε χρειάζεστε προσαρμοσμένες υπηρεσίες για να καλύψετε τις συγκεκριμένες ανάγκες της περιοχής σας είτε θέλετε να αγοράσετε προηγμένες και ανθεκτικές Διαδικασία Επιτάξεως SiC κατασκευασμένες στην Κίνα, μπορείτε να μας αφήσετε ένα μήνυμα.