Η VeTek semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής υλικών επίστρωσης καρβιδίου τανταλίου για τη βιομηχανία ημιαγωγών. Οι κύριες προσφορές προϊόντων μας περιλαμβάνουν εξαρτήματα επίστρωσης καρβιδίου τανταλίου CVD, εξαρτήματα επίστρωσης πυροσυσσωματωμένου TaC για ανάπτυξη κρυστάλλων SiC ή διαδικασία επιτάξεως ημιαγωγών. Πέρασε το ISO9001, το VeTek Semiconductor έχει καλό έλεγχο στην ποιότητα. Η VeTek Semiconductor είναι αφιερωμένη στο να γίνει καινοτόμος στη βιομηχανία επικάλυψης καρβιδίου τανταλίου μέσω της συνεχούς έρευνας και ανάπτυξης επαναληπτικών τεχνολογιών.
Τα κύρια προϊόντα είναιΔακτύλιος οδηγός με επίστρωση TaC, Δακτύλιος οδηγός τριών πετάλων με επίστρωση CVD TaC, Καρβίδιο τανταλίου με επικάλυψη TaC Halfmoon, CVD TaC επίστρωση πλανητικού επιταξιακού υποδοχέα SiC, Δαχτυλίδι επικάλυψης καρβιδίου τανταλίου, Πορώδης γραφίτης με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου, TaC Coating Rotation Susceptor, Δαχτυλίδι από καρβίδιο τανταλίου, Πλάκα περιστροφής επίστρωσης TaC, Υποδοχέας γκοφρέτας με επικάλυψη TaC, Δακτύλιος εκτροπέα με επίστρωση TaC, Κάλυμμα επικάλυψης CVD TaC, Τσοκ με επίστρωση TaCκ.λπ., η καθαρότητα είναι κάτω από 5 ppm, μπορεί να καλύψει τις απαιτήσεις των πελατών.
Ο γραφίτης επίστρωσης TaC δημιουργείται με την επίστρωση της επιφάνειας ενός υποστρώματος γραφίτη υψηλής καθαρότητας με ένα λεπτό στρώμα καρβιδίου του τανταλίου με μια ιδιόκτητη διαδικασία Chemical Vapor Deposition (CVD). Το πλεονέκτημα φαίνεται στην παρακάτω εικόνα:
Η επίστρωση καρβιδίου του τανταλίου (TaC) έχει κερδίσει την προσοχή λόγω του υψηλού σημείου τήξεως έως και 3880°C, της εξαιρετικής μηχανικής αντοχής, σκληρότητας και αντοχής σε θερμικούς κραδασμούς, καθιστώντας την ελκυστική εναλλακτική λύση σε διαδικασίες σύνθετης επιτάξεως ημιαγωγών με υψηλότερες απαιτήσεις θερμοκρασίας. όπως το σύστημα Aixtron MOCVD και η διαδικασία επιταξίας LPE SiC. Έχει επίσης ευρεία εφαρμογή στη μέθοδο PVT κρύσταλλο SiC διαδικασία ανάπτυξης.
●Σταθερότητα θερμοκρασίας
●Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα
●Αντοχή σε H2, NH3, SiH4, Si
●Αντοχή στο θερμικό απόθεμα
●Ισχυρή πρόσφυση στον γραφίτη
●Τυπική κάλυψη επίστρωσης
● Μέγεθος έως και 750 mm διάμετρος (Ο μόνος κατασκευαστής στην Κίνα φτάνει σε αυτό το μέγεθος)
● Επαγωγικός υποδοχέας θέρμανσης
● Αντιστατικό θερμαντικό στοιχείο
● Θερμική ασπίδα
Φυσικές ιδιότητες επικάλυψης TaC | |
Πυκνότητα | 14,3 (g/cm³) |
Ειδική ικανότητα εκπομπής | 0.3 |
Συντελεστής θερμικής διαστολής | 6.3 10-6/Κ |
Σκληρότητα (HK) | 2000 HK |
Αντίσταση | 1×10-5Ohm*cm |
Θερμική σταθερότητα | <2500℃ |
Αλλάζει το μέγεθος του γραφίτη | -10~-20 μμ |
Πάχος επίστρωσης | ≥20um τυπική τιμή (35um±10um) |
Στοιχείο | Ατομικό ποσοστό | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Μέσος | |
Γ Κ | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Το Μ | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Ο δακτύλιος οδηγός με επίστρωση TaC είναι κατασκευασμένος από υψηλής ποιότητας γραφίτη και επίστρωση TaC. Κατά την παρασκευή κρυστάλλων SiC με τη μέθοδο PVT, ο δακτύλιος οδηγός με επίστρωση TaC της VeTek Semiconductor χρησιμοποιείται κυρίως για την καθοδήγηση και τον έλεγχο της ροής αέρα, τη βελτιστοποίηση της διαδικασίας ανάπτυξης ενός κρυστάλλου και τη βελτίωση της απόδοσης μονού κρυστάλλου. Με εξαιρετική τεχνολογία επίστρωσης TaC, τα προϊόντα μας έχουν εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, αντοχή στη διάβρωση και καλές μηχανικές ιδιότητες. Χαιρετίζουμε ειλικρινά τη διαβούλευση σας και ανυπομονούμε να σας παρέχουμε λεπτομερέστερες πληροφορίες για το προϊόν και τεχνική υποστήριξη.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής και προμηθευτής πλανητικού δίσκου περιστροφής με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου στην Κίνα, εστιάζοντας στην τεχνολογία επίστρωσης TaC για πολλά χρόνια. Τα προϊόντα μας έχουν υψηλή καθαρότητα και εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, τα οποία αναγνωρίζονται ευρέως από τους κατασκευαστές ημιαγωγών. Ο πλανητικός δίσκος περιστροφής με επίστρωση καρβιδίου τανταλίου VeTek έχει γίνει η ραχοκοκαλιά της βιομηχανίας επιτάξεων γκοφρετών. Ανυπομονούμε να δημιουργήσουμε μια μακροπρόθεσμη συνεργασία μαζί σας για να προωθήσουμε από κοινού την τεχνολογική πρόοδο και τη βελτιστοποίηση της παραγωγής.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ VeTek Semiconductor έχει σχεδιάσει προσεκτικά το TaC Coated Graphite Carrier για τους πελάτες. Αποτελείται από γραφίτη υψηλής καθαρότητας και επίστρωση TaC, η οποία είναι κατάλληλη για διάφορες επεξεργασίες επιταξιακής γκοφρέτας. Είμαστε εξειδικευμένοι στην επίστρωση SiC και TaC εδώ και πολλά χρόνια. Σε σύγκριση με την επίστρωση SiC, ο φορέας γκοφρέτας γραφίτη με επίστρωση TaC έχει υψηλότερη αντοχή στη θερμοκρασία και ανθεκτικό στη φθορά. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης