Τσοκ γκοφρέτας καρβιδίου πυριτίου

Το VeTek Semiconductor Carbide Silicon Wafer Chuck χρησιμοποιεί τις εξαιρετικές ιδιότητες των υλικών καρβιδίου του πυριτίου για να καλύψει τις αυστηρές απαιτήσεις της παραγωγής ημιαγωγών, ειδικά στην επεξεργασία ημιαγωγών που απαιτεί εξαιρετικά υψηλή ακρίβεια και αξιοπιστία.

Στη διαδικασία επεξεργασίας ημιαγωγών,Καρβίδιο του πυριτίουέχει εξαιρετική αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία (μπορεί να λειτουργήσει σταθερά στους 1400°C), χαμηλή αγωγιμότητα (το SiC έχει σχετικά χαμηλή αγωγιμότητα, συνήθως 10^^-3S/m) και χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής (περίπου 4,0 × 10^^-6/°C), το οποίο είναι ένα απαραίτητο και σημαντικό υλικό, ιδιαίτερα κατάλληλο για την κατασκευή τσοκ γκοφρέτας καρβιδίου πυριτίου.

Κατά τη διάρκεια τουδιαδικασία επιταξιακής ανάπτυξης, ένα λεπτό στρώμα υλικού ημιαγωγού εναποτίθεται σε ένα υπόστρωμα, που απαιτεί απόλυτη σταθερότητα από τη γκοφρέτα για να διασφαλιστούν ομοιόμορφα και υψηλής ποιότητας στρώματα εναπόθεσης φιλμ. Το τσοκ κενού SiC το επιτυγχάνει δημιουργώντας ένα σταθερό, σταθερό κράτημα κενού για να αποτρέψει οποιαδήποτε κίνηση ή παραμόρφωση της γκοφρέτας.

Το τσοκ γκοφρέτας καρβιδίου πυριτίου προσφέρει επίσης εξαιρετική αντοχή στο θερμικό σοκ. Οι γρήγορες αλλαγές θερμοκρασίας είναι συνηθισμένες στην κατασκευή ημιαγωγών και τα υλικά που δεν μπορούν να αντέξουν αυτές τις διακυμάνσεις μπορεί να ραγίσουν, να λυγίσουν ή να αστοχήσουν. Το καρβίδιο του πυριτίου έχει χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής και μπορεί να διατηρήσει το σχήμα και τη λειτουργία του ακόμη και υπό δραστικές αλλαγές θερμοκρασίας, διασφαλίζοντας ότι η γκοφρέτα παραμένει ασφαλής κατά τη διαδικασία της επιταξίας χωρίς κίνηση ή κακή ευθυγράμμιση.

Επιπλέον, τοδιαδικασία της επιταξίαςσυχνά περιλαμβάνει αντιδραστικά αέρια και άλλες διαβρωτικές χημικές ουσίες. Η χημική αδράνεια του τσοκ SiC Wafer διασφαλίζει ότι δεν επηρεάζεται από αυτά τα σκληρά περιβάλλοντα, διατηρώντας την απόδοσή του και παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής του. Αυτή η χημική ανθεκτικότητα όχι μόνο μειώνει τη συχνότητα αντικατάστασης του τσοκ γκοφρέτας, αλλά εξασφαλίζει επίσης σταθερή απόδοση προϊόντος σε πολλαπλούς κύκλους παραγωγής, συμβάλλοντας στη βελτίωση της συνολικής απόδοσης και οικονομικής απόδοσης της διαδικασίας κατασκευής ημιαγωγών.

Η VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής και προμηθευτής προϊόντων τσοκ γκοφρέτας καρβιδίου πυριτίου στην Κίνα. Μπορούμε να παρέχουμε διάφορους τύπους προϊόντων Chuck όπως π.χΠορώδες κεραμικό τσοκ SiC, Πορώδες τσοκ κενού SiC, Πορώδες κεραμικό τσοκ κενούκαιΤσοκ με επίστρωση TaCκ.λπ. Η VeTek Semiconductor δεσμεύεται να παρέχει προηγμένες λύσεις τεχνολογίας και προϊόντων για τη βιομηχανία ημιαγωγών. Ελπίζουμε ειλικρινά να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.

ΔΕΔΟΜΕΝΑ SEM ΤΗΣ CVDΚΡΥΣΤΑΛΙΚΗ ΔΟΜΗ SIC FILM：

Καταστήματα τσοκ γκοφρέτας καρβιδίου πυριτίου VeTek Semiconductor：