θερμαντήρας κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου

VeTek SemiconductorΟ θερμαντήρας κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου είναι ένας θερμαντήρας σχεδιασμένος για υψηλές θερμοκρασίες και σκληρά περιβάλλοντα. Επικαλύπτει ένα στρώμα πυριτίου άνθρακα κεραμικής επίστρωσης (SiC) στην επιφάνεια του θερμαντικού στοιχείου για να δώσει στον εξοπλισμό εξαιρετική αντοχή στη θερμότητα, αντοχή στη διάβρωση και θερμική αγωγιμότητα. 

Θερμαντήρας κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίουχρησιμοποιείται κυρίως σε εξοπλισμό επίστρωσης κενού (εξάτμιση). Οι κοινώς χρησιμοποιούμενες μέθοδοι είναι η PCD (Chemical Drying) και η PVD (Φυσική εναπόθεση ατμών), οι οποίες χρησιμοποιούνται ευρέως στην κατασκευή ημιαγωγών και σε άλλες βιομηχανικές εφαρμογές υψηλής ζήτησης.

Σε συνδυασμό με τη σχεδίαση επίστρωσης υψηλής απόδοσης του θερμαντήρα κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου,μπορεί να προσφέρει μια εξαιρετική λύση θέρμανσης για διαδικασίες υψηλής θερμοκρασίας.

Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα: Το υλικό SiC έχει εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, διασφαλίζοντας ότι ο θερμαντήρας μπορεί να επιτύχει ομοιόμορφη κατανομή θερμότητας στην περιοχή εργασίας και να μειώσει τις κλίσεις θερμοκρασίας.

Παρέχετε ομοιόμορφη κατανομή θερμότητας: Ο θερμαντήρας κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου χρησιμοποιεί την υψηλή θερμική αγωγιμότητα του υλικού SiC για να επιτύχει ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας σε όλη την περιοχή θέρμανσης. Αυτό είναι κρίσιμο για να διασφαλιστεί η ομοιόμορφη θερμική επεξεργασία των πλακών ημιαγωγών σε διάφορες διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας, όπως η ταχεία θερμική επεξεργασία (RTP), η διάχυση και η οξείδωση, αποφεύγοντας τα ελαττώματα του προϊόντος που προκαλούνται από τοπική υπερθέρμανση ή ανομοιόμορφη θερμοκρασία.

Ανοχή σε υψηλή θερμοκρασία: Η επίστρωση SiC επιτρέπει στον θερμαντήρα να αντέχει σε εξαιρετικά υψηλές θερμοκρασίες, συνήθως έως 1600°C, κατάλληλο για διάφορες διεργασίες επεξεργασίας σε υψηλή θερμοκρασία.

Βελτιώστε την αντίσταση στη θερμότητα: Επειδή η επίστρωση μπορεί να αντέξει εξαιρετικά υψηλές θερμοκρασίες, αποδίδει καλά σε διαδικασίες που απαιτούν μακροχρόνια λειτουργία σε υψηλή θερμοκρασία. Για παράδειγμα, στις διαδικασίες χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD), ο θερμαντήρας κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου μπορεί να εξασφαλίσει μακροχρόνια σταθερή λειτουργία του εξοπλισμού σε υψηλές θερμοκρασίες και να διατηρήσει σταθερή απόδοση θέρμανσης, βελτιώνοντας έτσι την επαναληψιμότητα και την αξιοπιστία της διαδικασίας.

Αντοχή στη χημική διάβρωση: Η επίστρωση SiC έχει εξαιρετικά υψηλή αντοχή σε οξέα, αλκάλια και διαβρωτικά αέρια και μπορεί να παραμείνει σταθερή για μεγάλο χρονικό διάστημα σε ένα σύνθετο περιβάλλον χημικής ατμόσφαιρας, παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού. 

Παράταση ζωής του εξοπλισμού: Η επίστρωση SiC έχει εξαιρετική αντοχή στην οξείδωση και αντοχή στη διάβρωση και μπορεί να αντισταθεί αποτελεσματικά στη χημική διάβρωση και την οξείδωση σε υψηλές θερμοκρασίες. Αυτό είναι πολύ κρίσιμο στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, ειδικά σε ένα περιβάλλον που χειρίζεται διαβρωτικά αέρια και χημικές ουσίες. Η προστατευτική επίδραση της επίστρωσης μπορεί να παρατείνει σημαντικά τη διάρκεια ζωής του θερμαντήρα και να μειώσει τη συχνότητα αντικατάστασης εξοπλισμού και το κόστος συντήρησης.

Βασικές φυσικές ιδιότητες θερμαντήρα κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου του πυριτίου:

Καταστήματα θερμαντήρων VeTek Semiconductor με κεραμική επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου:

Επισκόπηση της αλυσίδας βιομηχανίας επιταξίας τσιπ ημιαγωγών VeTek: