Κεραμική επίστρωση καρβιδίου πυριτίου

Vetek Semiconductor Κεραμική επίστρωση καρβιδίου πυριτίουείναι μια προστατευτική επίστρωση υψηλής απόδοσης κατασκευασμένη από εξαιρετικά σκληρό και ανθεκτικό στη φθορά υλικό καρβιδίου του πυριτίου (SiC), το οποίο παρέχει εξαιρετική αντοχή στη χημική διάβρωση και σταθερότητα σε υψηλές θερμοκρασίες. Αυτές οι ιδιότητες είναι ζωτικής σημασίας για την παραγωγή ημιαγωγών, επομένως η κεραμική επίστρωση καρβιδίου πυριτίου χρησιμοποιείται ευρέως σε βασικά εξαρτήματα του εξοπλισμού κατασκευής ημιαγωγών.

Ο συγκεκριμένος ρόλος που διαδραματίζει η Vetek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating στην παραγωγή ημιαγωγών είναιως εξής:

Βελτιώστε την αντοχή του εξοπλισμού: Η κεραμική επίστρωση καρβιδίου πυριτίου παρέχει εξαιρετική προστασία επιφάνειας για εξοπλισμό κατασκευής ημιαγωγών με την εξαιρετικά υψηλή σκληρότητα και αντοχή στη φθορά. Ειδικά σε περιβάλλοντα διεργασιών υψηλής θερμοκρασίας, εξαιρετικά διαβρωτικά, όπως εναπόθεση χημικών ατμών (CVD) και χάραξη πλάσματος, η κεραμική επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου μπορεί να αποτρέψει αποτελεσματικά τη ζημιά στην επιφάνεια του εξοπλισμού λόγω χημικής διάβρωσης ή φυσικής φθοράς, παρατείνοντας έτσι σημαντικά τη διάρκεια ζωής του τον εξοπλισμό και τη μείωση του χρόνου διακοπής λειτουργίας που προκαλείται από τη συχνή αντικατάσταση και συντήρηση.

Βελτιώστε την καθαρότητα της διαδικασίας: Στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, οποιαδήποτε μικροσκοπική μόλυνση μπορεί να προκαλέσει ελαττώματα του προϊόντος. Η χημική αδράνεια της κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου του πυριτίου της επιτρέπει να παραμένει σταθερή κάτω από ακραίες συνθήκες, να εμποδίζει το υλικό να απελευθερώσει σωματίδια ή ακαθαρσίες και να διασφαλίζει την καθαρότητα του περιβάλλοντος κατά τη διάρκεια της διαδικασίας. Αυτό είναι ιδιαίτερα σημαντικό για τα στάδια κατασκευής που απαιτούν υψηλή ακρίβεια και υψηλή καθαριότητα, όπως η εμφύτευση PECVD και ιόντων.

Βελτιστοποιήστε τη θερμική διαχείριση: Στην επεξεργασία ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας, όπως οι διαδικασίες ταχείας θερμικής επεξεργασίας (RTP) και οξείδωσης, η υψηλή θερμική αγωγιμότητα της κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου επιτρέπει ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας στο εσωτερικό του εξοπλισμού. Αυτό βοηθά στη μείωση της θερμικής καταπόνησης και της παραμόρφωσης του υλικού που προκαλείται από τις διακυμάνσεις της θερμοκρασίας, βελτιώνοντας έτσι την ακρίβεια και τη συνοχή της κατασκευής του προϊόντος.

Υποστήριξη σύνθετου περιβάλλοντος διαδικασίας: Σε διεργασίες που απαιτούν πολύπλοκο έλεγχο της ατμόσφαιρας, όπως οι διαδικασίες χάραξης ICP και χάραξης PSS, η σταθερότητα και η αντίσταση στην οξείδωση του θερμαντήρα κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου διασφαλίζουν τη σταθερή απόδοση του εξοπλισμού σε μακροχρόνια λειτουργία, μειώνοντας τον κίνδυνο υποβάθμισης υλικού ή εξοπλισμού ζημιές λόγω περιβαλλοντικών αλλαγών.

Vetek Semiconductorεπικεντρώνεται στην κατασκευή και την παροχή υψηλών επιδόσεωνΚεραμική επίστρωση καρβιδίου πυριτίου, και δεσμεύεται να παρέχει προηγμένες λύσεις τεχνολογίας και προϊόντων για τη βιομηχανία ημιαγωγών.Ελπίζουμε ειλικρινά να είμαστε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.

Βασικές φυσικές ιδιότητες τουΚεραμική επίστρωση καρβιδίου πυριτίου:

Καταστήματα VeTek Semiconductor Κεραμική επίστρωση καρβιδίου πυριτίου:

Επισκόπηση της αλυσίδας βιομηχανίας επιταξίας τσιπ ημιαγωγών: