Θερμαντήρας γραφίτη κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου

VeTek Semiconductor Θερμαντήρας γραφίτη κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίουσυνδυάζει την εξαιρετική ηλεκτρική και θερμική αγωγιμότητα του γραφίτη με την αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, τη διάβρωση και την αντίσταση στη φθορά της κεραμικής επίστρωσης άνθρακα από πυρίτιο και έχει σχεδιαστεί για σκληρά περιβάλλοντα παραγωγής ημιαγωγών. 

Θερμαντήρας γραφίτη κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίουχρησιμοποιείται κυρίως σε εξοπλισμό επίστρωσης κενού (εξάτμιση) και οι μέθοδοι που χρησιμοποιούνται συνήθως είναι PCD (Χημική ξήρανση πλάσματος) και PVD (Φυσική εναπόθεση ατμού). Αυτό το προϊόν έχει παίξει σημαντικό ρόλο στην προώθηση της τεχνολογικής προόδου και στη βελτίωση της αποδοτικότητας της παραγωγής στη βιομηχανία ημιαγωγών.Ανυπομονούμε ειλικρινά για περαιτέρω συνεργασία μαζί σας.

Τα υλικά και τα δομικά χαρακτηριστικά του θερμαντήρα γραφίτη κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου είναι τα εξής:

Υπόστρωμα γραφίτη: Ο γραφίτης είναι γνωστός για την υψηλή θερμική του αγωγιμότητα και τον χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής. Μπορεί να ανταποκριθεί γρήγορα στις αλλαγές θερμοκρασίας και να διατηρήσει τη δομική σταθερότητα σε υψηλές θερμοκρασίες.

Κεραμική επίστρωση πυριτίου άνθρακα: Η επίστρωση SiC επικαλύπτεται ομοιόμορφα στην επιφάνεια του γραφίτη μέσω εναπόθεσης χημικών ατμών ή άλλων προηγμένων διεργασιών. Το SiC έχει εξαιρετικά υψηλή σκληρότητα και αντοχή στη χημική διάβρωση, τα οποία μπορούν να προστατεύσουν το υπόστρωμα γραφίτη από την οξείδωση υψηλής θερμοκρασίας και τα διαβρωτικά περιβάλλοντα.

Ο ειδικός δομικός σχεδιασμός προϊόντος του θερμαντήρα γραφίτη κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου καθορίζειτα αναντικατάστατα πλεονεκτήματα προϊόντος αυτού του προϊόντος στη διαδικασία επεξεργασίας ημιαγωγών:

Αποτελεσματική και ομοιόμορφη θέρμανση:

Θερμική αγωγιμότητα: Η υψηλή θερμική αγωγιμότητα του γραφίτη επιτρέπει στον θερμαντήρα να φτάσει και να διατηρήσει γρήγορα την απαιτούμενη θερμοκρασία και η επίστρωση SiC εξασφαλίζει ομοιόμορφη κατανομή της θερμότητας. Αυτό είναι ιδιαίτερα σημαντικό για διεργασίες ημιαγωγών που απαιτούν ακριβή έλεγχο θερμοκρασίας, όπως η ταχεία θερμική επεξεργασία (RTP) και η εναπόθεση χημικών ατμών (CVD).

Ομοιομορφία θερμοκρασίας: Μέσω ομοιόμορφης κατανομής θερμότητας, ο θερμαντήρας γραφίτη κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου μπορεί να μειώσει αποτελεσματικά τη θερμική καταπόνηση και την κλίση θερμοκρασίας, διασφαλίζοντας τη συνέπεια και την ποιοτική σταθερότητα των γκοφρετών ημιαγωγών σε όλη τη διαδικασία θέρμανσης.

Αντιδιαβρωτική προστασία:

Χημική αντοχή: Η αντοχή στη χημική διάβρωση της επίστρωσης SiC επιτρέπει στον θερμαντήρα να λειτουργεί σταθερά και για μεγάλο χρονικό διάστημα σε διαβρωτικά αέρια και χημικά περιβάλλοντα, αποφεύγοντας τη ζημιά στο υπόστρωμα γραφίτη. Αυτό το χαρακτηριστικό είναι ιδιαίτερα κρίσιμο σε διεργασίες όπως η χημική εναπόθεση ατμών (CVD) και η ενισχυμένη με πλάσμα χημική εναπόθεση ατμών (PECVD).

Αντοχή στην οξείδωση: Σε υψηλές θερμοκρασίες, η επίστρωση SiC μπορεί να αποτρέψει την οξείδωση του υποστρώματος γραφίτη, να παρατείνει τη διάρκεια ζωής του θερμαντήρα και να μειώσει τη συχνότητα και το κόστος συντήρησης του εξοπλισμού.

Μειώστε τη μόλυνση από σωματίδια:

Επιφανειακή σταθερότητα: Η επίστρωση SiC δεν είναι μόνο ανθεκτική στη φθορά, αλλά επίσης αποτρέπει την πτώση σωματιδίων από την επιφάνεια του υλικού λόγω θερμικού κύκλου ή χημικών αντιδράσεων, μειώνοντας έτσι τον κίνδυνο μόλυνσης από σωματίδια που μπορεί να προκύψει κατά την κατασκευή ημιαγωγών και διασφαλίζοντας ένα περιβάλλον διεργασίας υψηλής καθαριότητας.

Βελτιώστε την αξιοπιστία και την αποτελεσματικότητα της διαδικασίας:

Σχεδιασμός μεγάλης διάρκειας ζωής: Λόγω του συνδυασμού της μηχανικής αντοχής του γραφίτη και της αντοχής στη φθορά της επίστρωσης SiC, ο θερμαντήρας γραφίτη κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου μπορεί να διατηρήσει τη λειτουργία υψηλής απόδοσης για μεγάλο χρονικό διάστημα υπό σκληρές συνθήκες διεργασίας, βελτιώνοντας σημαντικά τη συνολική αξιοπιστία του εξοπλισμού.

Αποτελεσματική χρήση ενέργειας: Η υψηλή θερμική αγωγιμότητα του γραφίτη και η σταθερότητα σε υψηλή θερμοκρασία της επίστρωσης SiC επιτρέπουν στον θερμαντήρα να μειώνει την κατανάλωση ενέργειας ενώ βελτιώνει την ακρίβεια ελέγχου της θερμοκρασίας, βελτιώνοντας έτσι τη συνολική απόδοση της παραγωγής ημιαγωγών.

Βασικές φυσικές ιδιότητες τουΘερμαντήρας γραφίτη κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου:

VeTek SemiconductorΘερμαντήρας γραφίτη κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίουκαταστήματα:

Επισκόπηση της αλυσίδας βιομηχανίας επιταξίας τσιπ ημιαγωγών:

/άλλο-διαδικασία