Πόσα γνωρίζετε για το CVD SiC;

CVD SiC(Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide) είναι ένα υλικό καρβιδίου του πυριτίου υψηλής καθαρότητας που κατασκευάζεται με χημική εναπόθεση ατμών. Χρησιμοποιείται κυρίως για διάφορα εξαρτήματα και επιστρώσεις σε εξοπλισμό επεξεργασίας ημιαγωγών.Υλικό CVD SiCέχει εξαιρετική θερμική σταθερότητα, υψηλή σκληρότητα, χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής και εξαιρετική αντοχή στη χημική διάβρωση, καθιστώντας το ιδανικό υλικό για χρήση σε ακραίες συνθήκες διεργασίας.

Το υλικό CVD SiC χρησιμοποιείται ευρέως σε εξαρτήματα που περιλαμβάνουν υψηλή θερμοκρασία, εξαιρετικά διαβρωτικό περιβάλλον και υψηλή μηχανική καταπόνηση στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών,που περιλαμβάνει κυρίως τα ακόλουθα προϊόντα:

Επίστρωση CVD SiC:

Χρησιμοποιείται ως προστατευτικό στρώμα για εξοπλισμό επεξεργασίας ημιαγωγών για να αποτρέψει την καταστροφή του υποστρώματος από υψηλή θερμοκρασία, χημική διάβρωση και μηχανική φθορά.

SiC Wafer Boat:

Χρησιμοποιείται για τη μεταφορά και τη μεταφορά πλακών σε διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας (όπως η διάχυση και η επιταξιακή ανάπτυξη) για να διασφαλιστεί η σταθερότητα των πλακών και η ομοιομορφία των διεργασιών.

Σωλήνας διεργασίας SiC:

Οι σωλήνες διεργασίας SiC χρησιμοποιούνται κυρίως σε κλιβάνους διάχυσης και κλιβάνους οξείδωσης για να παρέχουν ένα ελεγχόμενο περιβάλλον αντίδρασης για γκοφρέτες πυριτίου, εξασφαλίζοντας ακριβή εναπόθεση υλικού και ομοιόμορφη κατανομή ντόπινγκ.

SiC Cantilever Paddle:

Το SiC Cantilever Paddle χρησιμοποιείται κυρίως για τη μεταφορά ή την υποστήριξη γκοφρετών πυριτίου σε φούρνους διάχυσης και φούρνους οξείδωσης, παίζοντας φέροντα ρόλο. Ειδικά σε διαδικασίες υψηλής θερμοκρασίας όπως διάχυση, οξείδωση, ανόπτηση κ.λπ., εξασφαλίζει τη σταθερότητα και την ομοιόμορφη επεξεργασία των πλακιδίων πυριτίου σε ακραία περιβάλλοντα.

Κεφαλή ντους CVD SiC:

Χρησιμοποιείται ως συστατικό διανομής αερίου σε εξοπλισμό χάραξης πλάσματος, με εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση και θερμική σταθερότητα για να εξασφαλίσει ομοιόμορφη κατανομή αερίου και αποτέλεσμα χάραξης.

Οροφή με επικάλυψη SiC:

Εξαρτήματα στον θάλαμο αντίδρασης του εξοπλισμού, που χρησιμοποιούνται για την προστασία του εξοπλισμού από ζημιές από υψηλή θερμοκρασία και διαβρωτικά αέρια και για την παράταση της διάρκειας ζωής του εξοπλισμού.

Επιτάξεις πυριτίου:

Φορείς γκοφρέτας που χρησιμοποιούνται σε διεργασίες επιταξιακής ανάπτυξης πυριτίου για την εξασφάλιση ομοιόμορφης ποιότητας θέρμανσης και εναπόθεσης των πλακών.

Το καρβίδιο του πυριτίου που εναποτίθεται με χημικούς ατμούς (CVD SiC) έχει ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών στην επεξεργασία ημιαγωγών, που χρησιμοποιούνται κυρίως για την κατασκευή συσκευών και εξαρτημάτων που είναι ανθεκτικά σε υψηλές θερμοκρασίες, διάβρωση και υψηλή σκληρότητα.Ο βασικός του ρόλος αντανακλάται στις ακόλουθες πτυχές:

Προστατευτικές επιστρώσεις σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας:

Λειτουργία: Το CVD SiC χρησιμοποιείται συχνά για επιφανειακές επικαλύψεις βασικών εξαρτημάτων σε εξοπλισμό ημιαγωγών (όπως υποδοχείς, επενδύσεις θαλάμων αντίδρασης κ.λπ.). Αυτά τα εξαρτήματα πρέπει να λειτουργούν σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και οι επικαλύψεις CVD SiC μπορούν να παρέχουν εξαιρετική θερμική σταθερότητα για την προστασία του υποστρώματος από ζημιές σε υψηλή θερμοκρασία.

Πλεονεκτήματα: Το υψηλό σημείο τήξης και η εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα του CVD SiC διασφαλίζουν ότι τα εξαρτήματα μπορούν να λειτουργούν σταθερά για μεγάλο χρονικό διάστημα υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, επεκτείνοντας τη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού.

Αντιδιαβρωτικές εφαρμογές:

Λειτουργία: Στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, η επίστρωση CVD SiC μπορεί να αντισταθεί αποτελεσματικά στη διάβρωση διαβρωτικών αερίων και χημικών ουσιών και να προστατεύσει την ακεραιότητα του εξοπλισμού και των συσκευών. Αυτό είναι ιδιαίτερα σημαντικό για το χειρισμό εξαιρετικά διαβρωτικών αερίων όπως φθοριούχα και χλωριούχα.

Πλεονεκτήματα: Με την εναπόθεση επίστρωσης CVD SiC στην επιφάνεια του εξαρτήματος, η ζημιά του εξοπλισμού και το κόστος συντήρησης που προκαλούνται από τη διάβρωση μπορούν να μειωθούν σημαντικά και η απόδοση παραγωγής μπορεί να βελτιωθεί.

Εφαρμογές υψηλής αντοχής και αντοχής στη φθορά:

Λειτουργία: Το υλικό CVD SiC είναι γνωστό για την υψηλή σκληρότητα και την υψηλή μηχανική του αντοχή. Χρησιμοποιείται ευρέως σε εξαρτήματα ημιαγωγών που απαιτούν αντοχή στη φθορά και υψηλή ακρίβεια, όπως μηχανικά στεγανοποιητικά, φέροντα εξαρτήματα κ.λπ. Αυτά τα εξαρτήματα υπόκεινται σε ισχυρή μηχανική καταπόνηση και τριβή κατά τη λειτουργία. Το CVD SiC μπορεί να αντισταθεί αποτελεσματικά σε αυτές τις καταπονήσεις και να εξασφαλίσει τη μεγάλη διάρκεια ζωής και τη σταθερή απόδοση της συσκευής.

Πλεονεκτήματα: Τα εξαρτήματα από CVD SiC όχι μόνο μπορούν να αντέξουν τη μηχανική καταπόνηση σε ακραία περιβάλλοντα, αλλά και να διατηρήσουν τη σταθερότητα των διαστάσεων και το φινίρισμα της επιφάνειας τους μετά από μακροχρόνια χρήση.

Ταυτόχρονα, το CVD SiC παίζει ζωτικό ρόλοLED επιταξιακή ανάπτυξη, ημιαγωγοί ισχύος και άλλα πεδία. Στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, συνήθως χρησιμοποιούνται υποστρώματα CVD SiCEPI SUSCEPTORS. Η εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα και η χημική τους σταθερότητα κάνουν τα αναπτυσσόμενα επιταξιακά στρώματα να έχουν υψηλότερη ποιότητα και συνοχή. Επιπλέον, το CVD SiC χρησιμοποιείται επίσης ευρέως σεΦορείς χάραξης PSS, RTP φορείς γκοφρέτας, Φορείς χάραξης ICPκ.λπ., παρέχοντας σταθερή και αξιόπιστη υποστήριξη κατά τη χάραξη ημιαγωγών για να διασφαλιστεί η απόδοση της συσκευής.

Η VeTek Semiconductor Technology Co., LTD είναι κορυφαίος πάροχος προηγμένων υλικών επίστρωσης για τη βιομηχανία ημιαγωγών. Η εταιρεία μας επικεντρώνεται στην ανάπτυξη λύσεων αιχμής για τον κλάδο.

Οι κύριες προσφορές προϊόντων μας περιλαμβάνουν επιστρώσεις καρβιδίου του πυριτίου CVD (SiC), επικαλύψεις καρβιδίου τανταλίου (TaC), χύμα SiC, σκόνες SiC και υλικά SiC υψηλής καθαρότητας, υποδοχέα γραφίτη με επικάλυψη SiC, προθέρμανση, δακτύλιο εκτροπής με επίστρωση TaC, halfmoon, εξαρτήματα κοπής κ.λπ. ., η καθαρότητα είναι κάτω από 5 ppm, οι δακτύλιοι κοπής μπορούν να ικανοποιήσουν τις απαιτήσεις των πελατών.

Η VeTek semiconductor επικεντρώνεται στην ανάπτυξη τεχνολογίας αιχμής και λύσεων ανάπτυξης προϊόντων για τη βιομηχανία ημιαγωγών.Ελπίζουμε ειλικρινά να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.