Τι είναι το TaC Coating;

Η επίστρωση TaC (Επίστρωση καρβιδίου τανταλίου) είναι ένα υλικό επίστρωσης υψηλής απόδοσης που παράγεται με τη διαδικασία χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD). Λόγω των εξαιρετικών ιδιοτήτων της επίστρωσης TaC υπό ακραίες συνθήκες, χρησιμοποιείται ευρέως στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, ειδικά σε εξοπλισμό και εξαρτήματα που απαιτούν υψηλή θερμοκρασία και ισχυρό διαβρωτικό περιβάλλον. Το TaC Coating χρησιμοποιείται συνήθως για την προστασία υποστρωμάτων (όπως γραφίτη ή κεραμικά) από ζημιές από υψηλή θερμοκρασία, διαβρωτικά αέρια και μηχανική φθορά.

Χαρακτηριστικά και Πλεονεκτήματα Προϊόντος

Εξαιρετικά υψηλή θερμική σταθερότητα:

Περιγραφή χαρακτηριστικών: Η επίστρωση TaC έχει σημείο τήξης μεγαλύτερο από 3880°C και μπορεί να διατηρήσει τη σταθερότητα χωρίς αποσύνθεση ή παραμόρφωση σε περιβάλλον εξαιρετικά υψηλής θερμοκρασίας.

Πλεονέκτημα: Αυτό το καθιστά απαραίτητο υλικό σε εξοπλισμό ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας, όπως CVD TaC Coating και TaC Coated Susceptor, ειδικά για εφαρμογές σε αντιδραστήρες MOCVD, όπως ο εξοπλισμός Aixtron G5.

Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση:

Περιγραφή χαρακτηριστικού: Το TaC έχει εξαιρετικά ισχυρή χημική αδράνεια και μπορεί να αντισταθεί αποτελεσματικά στη διάβρωση διαβρωτικών αερίων όπως τα χλωρίδια και τα φθοριούχα.

Πλεονεκτήματα: Σε διεργασίες ημιαγωγών που περιλαμβάνουν εξαιρετικά διαβρωτικά χημικά, το TaC Coating προστατεύει τα εξαρτήματα του εξοπλισμού από χημική επίθεση, παρατείνει τη διάρκεια ζωής και βελτιώνει τη σταθερότητα της διαδικασίας, ειδικά στην εφαρμογή του Silicon Carbide Wafer Boat και άλλων βασικών εξαρτημάτων.

Άριστη μηχανική σκληρότητα:

Περιγραφή χαρακτηριστικού: Η σκληρότητα της επίστρωσης TaC είναι τόσο υψηλή όσο 9-10 Mohs, γεγονός που την καθιστά ανθεκτική στη μηχανική φθορά και την καταπόνηση υψηλής θερμοκρασίας.

Πλεονέκτημα: Η ιδιότητα υψηλής σκληρότητας καθιστά το TaC Coating ιδιαίτερα κατάλληλο για χρήση σε περιβάλλοντα υψηλής φθοράς και υψηλής καταπόνησης, διασφαλίζοντας τη μακροπρόθεσμη σταθερότητα και αξιοπιστία του εξοπλισμού κάτω από σκληρές συνθήκες.

Χαμηλή χημική αντιδραστικότητα:

Περιγραφή χαρακτηριστικού: Λόγω της χημικής του αδράνειας, το TaC Coating μπορεί να διατηρήσει χαμηλή αντιδραστικότητα σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και να αποφύγει περιττές χημικές αντιδράσεις με αντιδραστικά αέρια.

Πλεονέκτημα: Αυτό είναι ιδιαίτερα σημαντικό στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, επειδή διασφαλίζει την καθαρότητα του περιβάλλοντος της διεργασίας και την υψηλής ποιότητας εναπόθεση υλικών.

Ο ρόλος του TaC Coating στην επεξεργασία ημιαγωγών

Προστασία βασικών εξαρτημάτων εξοπλισμού:

Περιγραφή λειτουργίας: Η επίστρωση TaC χρησιμοποιείται ευρέως σε βασικά εξαρτήματα του εξοπλισμού κατασκευής ημιαγωγών, όπως το TaC Coated Susceptor, το οποίο χρειάζεται να λειτουργεί υπό ακραίες συνθήκες. Με την επίστρωση με TaC, αυτά τα εξαρτήματα μπορούν να λειτουργήσουν για μεγάλα χρονικά διαστήματα σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικών αερίων χωρίς να υποστούν ζημιά.

Παρατείνετε τη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού:

Περιγραφή λειτουργίας: Σε εξοπλισμό MOCVD όπως το Aixtron G5, το TaC Coating μπορεί να βελτιώσει σημαντικά την ανθεκτικότητα των εξαρτημάτων του εξοπλισμού και να μειώσει την ανάγκη συντήρησης και αντικατάστασης του εξοπλισμού λόγω διάβρωσης και φθοράς.

Βελτιώστε τη σταθερότητα της διαδικασίας:

Περιγραφή λειτουργίας: Στην κατασκευή ημιαγωγών, το TaC Coating διασφαλίζει την ομοιομορφία και τη συνέπεια της διαδικασίας εναπόθεσης παρέχοντας ένα σταθερό περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας και χημικού. Αυτό είναι ιδιαίτερα σημαντικό σε διαδικασίες επιταξιακής ανάπτυξης όπως η επιταξία πυριτίου και το νιτρίδιο του γαλλίου (GaN).

Βελτιώστε την αποτελεσματικότητα της διαδικασίας:

Περιγραφή λειτουργίας: Βελτιστοποιώντας την επίστρωση στην επιφάνεια του εξοπλισμού, το TaC Coating μπορεί να βελτιώσει τη συνολική απόδοση της διαδικασίας, να μειώσει το ποσοστό ελαττωμάτων και να αυξήσει την απόδοση του προϊόντος. Αυτό είναι κρίσιμο για την κατασκευή ημιαγωγών υλικών υψηλής ακρίβειας, υψηλής καθαρότητας.

Η υψηλή θερμική σταθερότητα, η εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση, η μηχανική σκληρότητα και η χαμηλή χημική αντιδραστικότητα που παρουσιάζει το TaC Coating κατά την επεξεργασία ημιαγωγών το καθιστούν ιδανική επιλογή για την προστασία των εξαρτημάτων του εξοπλισμού κατασκευής ημιαγωγών. Καθώς η ζήτηση της βιομηχανίας ημιαγωγών για υψηλή θερμοκρασία, υψηλή καθαρότητα και αποτελεσματικές διαδικασίες παραγωγής συνεχίζει να αυξάνεται, το TaC Coating έχει ευρείες προοπτικές εφαρμογής, ειδικά σε εξοπλισμό και διαδικασίες που περιλαμβάνουν CVD TaC Coating, TaC Coated Susceptor και Aixtron G5.

Η VeTek Semiconductor Technology Co., LTD είναι κορυφαίος πάροχος προηγμένων υλικών επίστρωσης για τη βιομηχανία ημιαγωγών. Η εταιρεία μας επικεντρώνεται στην ανάπτυξη λύσεων αιχμής για τον κλάδο.

Οι κύριες προσφορές προϊόντων μας περιλαμβάνουν επιστρώσεις καρβιδίου του πυριτίου CVD (SiC), επικαλύψεις καρβιδίου τανταλίου (TaC), χύμα SiC, σκόνες SiC και υλικά SiC υψηλής καθαρότητας, επικαλυμμένο με SiC υποδοχέα γραφίτη, δακτυλίους προθέρμανσης, δακτύλιο εκτροπής με επίστρωση TaC, εξαρτήματα μισοφέγγαρου κ.λπ. ., η καθαρότητα είναι κάτω από 5 ppm, μπορεί να καλύψει τις απαιτήσεις των πελατών.

Η VeTek semiconductor επικεντρώνεται στην ανάπτυξη τεχνολογίας αιχμής και λύσεων ανάπτυξης προϊόντων για τη βιομηχανία ημιαγωγών.Ελπίζουμε ειλικρινά να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.