Κύλινδρος γραφίτη CVD SiC

Ο κύλινδρος γραφίτη CVD SiC της Vetek Semiconductor παίζει σημαντικό ρόλο στον εξοπλισμό ημιαγωγών. Συνήθως χρησιμοποιείται ως προστατευτικό κάλυμμα μέσα στον αντιδραστήρα για να παρέχει προστασία στα εσωτερικά εξαρτήματα του αντιδραστήρα σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και υψηλής πίεσης. Αυτό το προστατευτικό κάλυμμα μπορεί να απομονώσει αποτελεσματικά τις χημικές ουσίες και τις υψηλές θερμοκρασίες στον αντιδραστήρα, αποτρέποντάς τους από το να προκαλέσουν ζημιά στον εξοπλισμό. Ταυτόχρονα, ο κύλινδρος γραφίτη CVD SiC έχει επίσης εξαιρετική αντοχή στη φθορά και τη διάβρωση, καθιστώντας τον ικανό να διατηρεί σταθερότητα και μακροπρόθεσμη αντοχή σε σκληρά περιβάλλοντα εργασίας. Με τη χρήση προστατευτικών καλυμμάτων από αυτό το υλικό, η απόδοση και η αξιοπιστία των συσκευών ημιαγωγών μπορούν να βελτιωθούν, παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής της συσκευής, μειώνοντας παράλληλα τις ανάγκες συντήρησης και τον κίνδυνο ζημιάς.

Ο κύλινδρος γραφίτη CVD SiC έχει ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών στον εξοπλισμό ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένων, ενδεικτικά, των ακόλουθων πτυχών:

Εξοπλισμός θερμικής επεξεργασίας: Ο κύλινδρος γραφίτη CVD SiC μπορεί να χρησιμοποιηθεί ως προστατευτικό κάλυμμα ή θερμική ασπίδα σε εξοπλισμό θερμικής επεξεργασίας για την προστασία των εσωτερικών εξαρτημάτων από υψηλές θερμοκρασίες παρέχοντας παράλληλα εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες.

Αντιδραστήρας εναπόθεσης χημικών ατμών (CVD): Στον αντιδραστήρα CVD, ο κύλινδρος γραφίτη CVD SiC μπορεί να χρησιμοποιηθεί ως προστατευτικό κάλυμμα για τον θάλαμο χημικής αντίδρασης, απομονώνοντας αποτελεσματικά την ουσία αντίδρασης και παρέχοντας αντοχή στη διάβρωση.

Εφαρμογές σε διαβρωτικά περιβάλλοντα: Λόγω της εξαιρετικής αντοχής στη διάβρωση, ο κύλινδρος γραφίτη CVD SiC μπορεί να χρησιμοποιηθεί σε περιβάλλοντα με χημική διάβρωση, όπως περιβάλλοντα με διαβρωτικό αέριο ή υγρό κατά την κατασκευή ημιαγωγών.

Εξοπλισμός ανάπτυξης ημιαγωγών: Προστατευτικά καλύμματα ή άλλα εξαρτήματα που χρησιμοποιούνται στον εξοπλισμό ανάπτυξης ημιαγωγών για την προστασία του εξοπλισμού από υψηλές θερμοκρασίες, χημική διάβρωση και φθορά για να διασφαλιστεί η σταθερότητα του εξοπλισμού και η μακροπρόθεσμη αξιοπιστία.

Σταθερότητα σε υψηλές θερμοκρασίες, αντοχή στη διάβρωση, εξαιρετικές μηχανικές ιδιότητες, θερμική αγωγιμότητα. Με αυτές τις άριστες επιδόσεις, βοηθά στην αποτελεσματικότερη διάχυση της θερμότητας σε συσκευές ημιαγωγών, διατηρώντας τη σταθερότητα και την απόδοση της συσκευής.

Βασικές φυσικές ιδιότητες της επίστρωσης CVD SiC:

Καταστήματα παραγωγής:

Επισκόπηση της αλυσίδας βιομηχανίας επιταξίας τσιπ ημιαγωγών: