Ακροφύσιο επίστρωσης CVD SiC

Η VeTek Semiconductor είναι ένας εξειδικευμένος κατασκευαστής αξεσουάρ επίστρωσης CVD SiC για επιταξιακές συσκευές όπως εξαρτήματα CVD SiC Coating halfmoon και τα αξεσουάρ CVD SiC Coating Nozzels. Καλώς ήρθατε να μας ρωτήσετε.

Το PE1O8 είναι ένα πλήρως αυτόματο σύστημα φυσιγγίων σε φυσίγγια σχεδιασμένο να χειρίζεταιΓκοφρέτες SiCέως 200 χλστ. Το φορμά μπορεί να εναλλάσσεται μεταξύ 150 και 200 ​​mm, ελαχιστοποιώντας το χρόνο διακοπής λειτουργίας του εργαλείου. Η μείωση των σταδίων θέρμανσης αυξάνει την παραγωγικότητα, ενώ ο αυτοματισμός μειώνει την εργασία και βελτιώνει την ποιότητα και την επαναληψιμότητα. Για να εξασφαλιστεί μια αποτελεσματική και ανταγωνιστική από πλευράς κόστους διαδικασία επιταξίας, αναφέρονται τρεις κύριοι παράγοντες: 

●  γρήγορη διαδικασία.

●  υψηλή ομοιομορφία πάχους και ντόπινγκ.

●  ελαχιστοποίηση του σχηματισμού ελαττώματος κατά τη διαδικασία της επιταξίας. 

Στο PE1O8, η μικρή μάζα γραφίτη και το αυτόματο σύστημα φόρτωσης/εκφόρτωσης επιτρέπουν την ολοκλήρωση μιας τυπικής διαδρομής σε λιγότερο από 75 λεπτά (η τυπική σύνθεση διόδου Schottky 10μm χρησιμοποιεί ρυθμό ανάπτυξης 30μm/h). Το αυτόματο σύστημα επιτρέπει τη φόρτωση/εκφόρτωση σε υψηλές θερμοκρασίες. Ως αποτέλεσμα, οι χρόνοι θέρμανσης και ψύξης είναι σύντομοι, ενώ το στάδιο ψησίματος έχει ανασταλεί. Αυτή η ιδανική συνθήκη επιτρέπει την ανάπτυξη αληθινών μη επικαλυμμένων υλικών.

Στη διαδικασία της επιταξίας με καρβίδιο του πυριτίου, τα ακροφύσια επίστρωσης CVD SiC παίζουν κρίσιμο ρόλο στην ανάπτυξη και την ποιότητα των επιταξιακών στρωμάτων. Εδώ είναι η διευρυμένη εξήγηση του ρόλου των ακροφυσίωνεπιταξία καρβιδίου του πυριτίου:

● Παροχή και έλεγχος αερίου: Τα ακροφύσια χρησιμοποιούνται για την παροχή του μείγματος αερίων που απαιτείται κατά τη διάρκεια της επιταξίας, συμπεριλαμβανομένου του αερίου πηγής πυριτίου και του αερίου πηγής άνθρακα. Μέσω των ακροφυσίων, η ροή του αερίου και οι αναλογίες μπορούν να ελέγχονται με ακρίβεια για να διασφαλιστεί η ομοιόμορφη ανάπτυξη του επιταξιακού στρώματος και η επιθυμητή χημική σύνθεση.

● Έλεγχος θερμοκρασίας: Τα ακροφύσια βοηθούν επίσης στον έλεγχο της θερμοκρασίας εντός του αντιδραστήρα επιταξίας. Στην επιταξία καρβιδίου του πυριτίου, η θερμοκρασία είναι ένας κρίσιμος παράγοντας που επηρεάζει τον ρυθμό ανάπτυξης και την ποιότητα των κρυστάλλων. Παρέχοντας θερμότητα ή ψυκτικό αέριο μέσω των ακροφυσίων, η θερμοκρασία ανάπτυξης του επιταξιακού στρώματος μπορεί να ρυθμιστεί για βέλτιστες συνθήκες ανάπτυξης.

● Κατανομή ροής αερίου: Ο σχεδιασμός των ακροφυσίων επηρεάζει την ομοιόμορφη κατανομή του αερίου εντός του αντιδραστήρα. Η ομοιόμορφη κατανομή ροής αερίου διασφαλίζει την ομοιομορφία του επιταξιακού στρώματος και το σταθερό πάχος, αποφεύγοντας ζητήματα που σχετίζονται με την ανομοιομορφία της ποιότητας του υλικού.

● Πρόληψη μόλυνσης από ακαθαρσίες: Ο σωστός σχεδιασμός και η χρήση των ακροφυσίων μπορεί να βοηθήσει στην πρόληψη της μόλυνσης από ακαθαρσίες κατά τη διαδικασία της επιταξίας. Ο κατάλληλος σχεδιασμός ακροφυσίου ελαχιστοποιεί την πιθανότητα εξωτερικών ακαθαρσιών να εισέλθουν στον αντιδραστήρα, διασφαλίζοντας την καθαρότητα και την ποιότητα του επιταξιακού στρώματος.

CVD SIC ΕΠΙΚΑΛΥΨΗ ΦΙΜ ΚΡΥΣΤΑΛΛΙΚΗ ΔΟΜΗ:

Βασικές φυσικές ιδιότητες της επίστρωσης CVD SiC: