Η VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής κεφαλής ντους CVD SiC και καινοτόμος στην Κίνα. Είμαστε εξειδικευμένοι στο υλικό SiC για πολλά χρόνια. Η κεφαλή ντους CVD SiC επιλέγεται ως υλικό δακτυλίου εστίασης λόγω της εξαιρετικής θερμοχημικής σταθερότητας, της υψηλής μηχανικής αντοχής και της αντοχής σε διάβρωση πλάσματος. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Μπορείτε να είστε σίγουροι ότι θα αγοράσετε κεφαλή ντους CVD SiC από το εργοστάσιό μας. Η κεφαλή ντους VeTek Semiconductor CVD SiC είναι κατασκευασμένη από στερεό καρβίδιο του πυριτίου (SiC) χρησιμοποιώντας προηγμένες τεχνικές χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD). Το SiC επιλέγεται για την εξαιρετική του θερμική αγωγιμότητα, τη χημική αντοχή και τη μηχανική του αντοχή, ιδανικό για εξαρτήματα SiC μεγάλου όγκου όπως η κεφαλή ντους CVD SiC.
Σχεδιασμένη για την κατασκευή ημιαγωγών, η κεφαλή ντους CVD SiC αντέχει σε υψηλές θερμοκρασίες και επεξεργασία πλάσματος. Ο ακριβής έλεγχος ροής αερίου και οι ανώτερες ιδιότητες του υλικού εξασφαλίζουν σταθερές διαδικασίες και μακροπρόθεσμη αξιοπιστία. Η χρήση του CVD SiC ενισχύει τη θερμική διαχείριση και τη χημική σταθερότητα, βελτιώνοντας την ποιότητα και την απόδοση των προϊόντων ημιαγωγών.
Η κεφαλή ντους CVD SiC ενισχύει την απόδοση επιταξιακής ανάπτυξης κατανέμοντας ομοιόμορφα τα αέρια διεργασίας και προστατεύοντας τον θάλαμο από μόλυνση. Επιλύει αποτελεσματικά τις προκλήσεις της κατασκευής ημιαγωγών, όπως ο έλεγχος θερμοκρασίας, η χημική σταθερότητα και η συνέπεια της διαδικασίας, παρέχοντας αξιόπιστες λύσεις στους πελάτες.
Χρησιμοποιούμενη σε συστήματα MOCVD, Si epitaxy και SiC epitaxy, η CVD SiC Shower Head υποστηρίζει την παραγωγή υψηλής ποιότητας συσκευών ημιαγωγών. Ο κρίσιμος ρόλος του διασφαλίζει τον ακριβή έλεγχο και τη σταθερότητα της διαδικασίας, ικανοποιώντας τις διαφορετικές απαιτήσεις των πελατών για προϊόντα υψηλής απόδοσης και αξιοπιστίας.
Φυσικές ιδιότητες του στερεού SiC | |||
Πυκνότητα | 3.21 | g/cm3 | |
Αντίσταση ηλεκτρικής ενέργειας | 102 | Ω/cm | |
Δύναμη κάμψης | 590 | MPa | (6000kgf/cm2) |
Modulus του Young | 450 | GPa | (6000kgf/mm2) |
Σκληρότητα Vickers | 26 | GPa | (2650kgf/mm2) |
C.T.E. (RT-1000℃) | 4.0 | x10-6/Κ | |
Θερμική αγωγιμότητα (RT) | 250 | W/mK |