Η VeTek Semiconductor ειδικεύεται στην παραγωγή προϊόντων επικάλυψης εξαιρετικά καθαρού καρβιδίου πυριτίου, αυτές οι επικαλύψεις έχουν σχεδιαστεί για να εφαρμόζονται σε καθαρισμένο γραφίτη, κεραμικά και πυρίμαχα μεταλλικά εξαρτήματα.
Οι επιστρώσεις μας υψηλής καθαρότητας προορίζονται κυρίως για χρήση στη βιομηχανία ημιαγωγών και ηλεκτρονικών. Χρησιμεύουν ως προστατευτικό στρώμα για φορείς πλακιδίων, υποδοχείς και θερμαντικά στοιχεία, προστατεύοντάς τα από διαβρωτικά και αντιδραστικά περιβάλλοντα που συναντώνται σε διαδικασίες όπως το MOCVD και το EPI. Αυτές οι διαδικασίες είναι αναπόσπαστο κομμάτι της επεξεργασίας γκοφρέτας και της κατασκευής συσκευών. Επιπλέον, οι επιστρώσεις μας είναι κατάλληλες για εφαρμογές σε φούρνους κενού και θέρμανση δειγμάτων, όπου συναντώνται περιβάλλοντα υψηλού κενού, αντιδραστικών και οξυγόνου.
Στην VeTek Semiconductor, προσφέρουμε μια ολοκληρωμένη λύση με τις προηγμένες δυνατότητες του μηχανουργείου μας. Αυτό μας δίνει τη δυνατότητα να κατασκευάζουμε τα βασικά εξαρτήματα χρησιμοποιώντας γραφίτη, κεραμικά ή πυρίμαχα μέταλλα και να εφαρμόζουμε τις κεραμικές επικαλύψεις SiC ή TaC στο εσωτερικό. Παρέχουμε επίσης υπηρεσίες επίστρωσης για ανταλλακτικά που παρέχονται από τον πελάτη, εξασφαλίζοντας ευελιξία για την κάλυψη διαφορετικών αναγκών.
Τα προϊόντα μας επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου χρησιμοποιούνται ευρέως σε επιτάξεις Si, επιτάξεις SiC, σύστημα MOCVD, διαδικασία RTP/RTA, διαδικασία χάραξης, διαδικασία χάραξης ICP/PSS, διαδικασία διαφόρων τύπων LED, συμπεριλαμβανομένων μπλε και πράσινων LED, UV LED και βαθιάς υπεριώδους ακτινοβολίας LED κ.λπ., το οποίο είναι προσαρμοσμένο σε εξοπλισμό από LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI και ούτω καθεξής.
Βασικές φυσικές ιδιότητες της επικάλυψης CVD SiC | |
Ιδιοκτησία | Τυπική τιμή |
Κρυσταλλική Δομή | Πολυκρυσταλλική φάση β FCC, κυρίως (111) προσανατολισμένη |
Πυκνότητα | 3,21 g/cm³ |
Σκληρότητα | 2500 Vickers σκληρότητα (500 g φορτίο) |
Grain SiZe | 2~10μm |
Χημική Καθαρότητα | 99,99995% |
Θερμοχωρητικότητα | 640 J·kg-1·K-1 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης | 2700℃ |
Καμπτική Αντοχή | 415 MPa RT 4 σημείων |
Το Modulus του Young | 430 Gpa 4pt κάμψη, 1300℃ |
Θερμική αγωγιμότητα | 300W·m-1·K-1 |
Θερμική Διαστολή (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Ως επαγγελματίας κατασκευαστής και προμηθευτής πλακών πλακών επίστρωσης SiC στην Κίνα, οι φορείς πλακών επίστρωσης SiC της Vetek Semiconductor χρησιμοποιούνται κυρίως για τη βελτίωση της ομοιομορφίας ανάπτυξης του επιταξιακού στρώματος, διασφαλίζοντας τη σταθερότητα και την ακεραιότητά τους σε υψηλές θερμοκρασίες και διαβρωτικά περιβάλλοντα. Ανυπομονώ για την ερώτησή σας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ VeTek Semiconductor είναι επαγγελματίας κατασκευαστής ALD Susceptor, CVD SiC επίστρωσης, CVD TAC COATING βάσης γραφίτη στην Κίνα. Η Vetek Semiconductor ανέπτυξε και παρήγαγε από κοινού πλανητικές βάσεις ALD επικαλυμμένες με SiC με κατασκευαστές συστημάτων ALD για να ανταποκρίνονται στις υψηλές απαιτήσεις της διαδικασίας ALD και να κατανέμουν ομοιόμορφα τη ροή αέρα στο υπόστρωμα. Ανυπομονούμε για περαιτέρω συνεργασία μαζί σας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΩς επαγγελματίας κατασκευαστής και προμηθευτής οροφής με επίστρωση CVD SiC στην Κίνα, η οροφή με επίστρωση CVD SiC της VeTek Semiconductor έχει εξαιρετικές ιδιότητες όπως αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχή στη διάβρωση, υψηλή σκληρότητα και χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής, καθιστώντας την ιδανική επιλογή υλικού στην κατασκευή ημιαγωγών. Ανυπομονούμε για περαιτέρω συνεργασία μαζί σας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ VeTek Semiconductor είναι επαγγελματίας κατασκευαστής MOCVD LED Epi Susceptor, ALD Planetary Susceptor, TaC Coated Graphite Susceptor στην Κίνα. Το MOCVD LED Epi Susceptor της VeTek Semiconductor είναι σχεδιασμένο για απαιτητικές εφαρμογές επιταξιακού εξοπλισμού. Η υψηλή θερμική αγωγιμότητα, η χημική σταθερότητα και η ανθεκτικότητά του είναι βασικοί παράγοντες για τη διασφάλιση μιας σταθερής διαδικασίας επιταξιακής ανάπτυξης και υψηλής ποιότητας παραγωγής φιλμ ημιαγωγών. Ανυπομονούμε για περαιτέρω συνεργασία μαζί σας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΩς επαγγελματίας κατασκευαστής και προμηθευτής υποδοχέα ALD επίστρωσης SiC στην Κίνα, η επίστρωση SiC ALD της VeTek Semiconductor είναι ένα εξάρτημα υποστήριξης που χρησιμοποιείται ειδικά στη διαδικασία εναπόθεσης ατομικού στρώματος (ALD). Διαδραματίζει βασικό ρόλο στον εξοπλισμό ALD, διασφαλίζοντας την ομοιομορφία και την ακρίβεια της διαδικασίας εναπόθεσης. Πιστεύουμε ότι τα προϊόντα μας ALD Planetary Susceptor μπορούν να σας προσφέρουν λύσεις προϊόντων υψηλής ποιότητας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής, καινοτόμος και ηγέτης των προϊόντων SiC Coating Epi Susceptor στην Κίνα. Για πολλά χρόνια, εστιάζουμε σε διάφορα προϊόντα επίστρωσης SiC, όπως SiC Coating Epi Susceptor, SiC Coating Wafer Carrier, SiC Coating Susceptor, SiC Coating ALD susceptor, κ.λπ. Η VeTek Semiconductor έχει δεσμευτεί να παρέχει προηγμένες λύσεις τεχνολογίας και προϊόντων για τον ημιαγωγό βιομηχανία. Καλωσορίστε την περαιτέρω διαβούλευση σας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης