Υποδοχέας ALD

Η VeTek Semiconductor είναι επαγγελματίας κατασκευαστής ALD Susceptor, CVD SiC επίστρωσης, CVD TAC COATING βάσης γραφίτη στην Κίνα. Η Vetek Semiconductor ανέπτυξε και παρήγαγε από κοινού πλανητικές βάσεις ALD επικαλυμμένες με SiC με κατασκευαστές συστημάτων ALD για να ανταποκρίνονται στις υψηλές απαιτήσεις της διαδικασίας ALD και να κατανέμουν ομοιόμορφα τη ροή αέρα στο υπόστρωμα. Ανυπομονούμε για περαιτέρω συνεργασία μαζί σας.

Αποστολή Ερώτησης

περιγραφή προϊόντος

Ως επαγγελματίαςΔέκτης ALDκατασκευαστής στην Κίνα, το προϊόν μαςΔέκτης ALDΟ ακριβής έλεγχος θερμοκρασίας, η ομοιόμορφη κατανομή αερίου και η εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα και άλλα χαρακτηριστικά του προϊόντος καθορίζουν αυτόΔέκτης ALDπαίζει καθοριστικό ρόλο στη διαδικασία εναπόθεσης ατομικού στρώματος (ALD). Σημαντικός ρόλος, καλωσορίστε τη διαβούλευση σας.

Ομοιόμορφη εναπόθεση λεπτής μεμβράνηςΤο :ALD Susceptor εξασφαλίζει ομοιόμορφη εναπόθεση ατομικών στρωμάτων σε ολόκληρη την επιφάνεια του πλακιδίου κατά τη διάρκεια της διαδικασίας εναπόθεσης ατομικού στρώματος (ALD). Ο μοναδικός περιστρεφόμενος σχεδιασμός του επιτρέπει στα αέρια και τα αντιδρώντα να έρχονται σε ομοιόμορφη επαφή με την επιφάνεια του πλακιδίου, με αποτέλεσμα ομοιόμορφο πάχος φιλμ. Αυτό είναι κρίσιμο για την κατασκευή ημιαγωγών υψηλής ακρίβειας.

Βελτιώστε την ποιότητα εναπόθεσης: Βελτιστοποιώντας τον έλεγχο θερμοκρασίας και την κατανομή αερίου, το ALD Susceptor βελτιώνει σημαντικά την ποιότητα και την απόδοση του φιλμ, μειώνοντας τα ελαττώματα και την ανομοιομορφία. Αυτό το καθιστά ιδανικό για την κατασκευή ημιαγωγών και ηλεκτρονικών συσκευών υψηλής ακρίβειας, διασφαλίζοντας την αξιοπιστία και την απόδοση του προϊόντος.

Υποστηρίζει επεξεργασία πολλαπλών γκοφρετών: Ορισμένα σχέδια ALD Susceptor επιτρέπουν την ταυτόχρονη επεξεργασία πολλαπλών γκοφρετών, αυξάνοντας την απόδοση παραγωγής. Αυτό είναι ιδιαίτερα σημαντικό για περιβάλλοντα παραγωγής υψηλής απόδοσης, ικανά να καλύψουν τις ανάγκες παραγωγής μεγάλης κλίμακας.

Φιλοξενεί διαφορετικά μεγέθη και τύπους γκοφρέτες:Οι υποδοχείς ALD είναι γενικά σχεδιασμένοι για υψηλή συμβατότητα και μπορούν να υποστηρίξουν διαφορετικά μεγέθη και τύπους γκοφρέτες. Αυτό το καθιστά αποτελεσματικό σε μια ποικιλία διαδικασιών παραγωγής, παρέχοντας μεγαλύτερη ευελιξία και προσαρμοστικότητα.

Μειώστε το κόστος παραγωγής: Λόγω της αποτελεσματικής διανομής αερίου και των ομοιόμορφων δυνατοτήτων θέρμανσης, το ALD Susceptor αυξάνει την αποτελεσματικότητα της διαδικασίας εναπόθεσης, μειώνοντας έτσι τα απόβλητα υλικών και το κόστος παραγωγής. Αυτό όχι μόνο βοηθά στη βελτίωση της αποδοτικότητας της παραγωγής αλλά και μειώνει σημαντικά το κόστος κατασκευής.

Βασικές φυσικές ιδιότητες της επίστρωσης CVD SiC: