Η VeTek Semiconductor είναι ο καινοτόμος συνεργάτης σας στον τομέα της επεξεργασίας ημιαγωγών. Με το εκτεταμένο μας χαρτοφυλάκιο συνδυασμών υλικών πυριτίου καρβιδίου κεραμικής ποιότητας ημιαγωγών, τις δυνατότητες κατασκευής εξαρτημάτων και τις υπηρεσίες μηχανικής εφαρμογών, μπορούμε να σας βοηθήσουμε να ξεπεράσετε σημαντικές προκλήσεις. Τα τεχνικά μηχανικά κεραμικά καρβιδίου πυριτίου εφαρμόζονται ευρέως στη βιομηχανία ημιαγωγών λόγω της εξαιρετικής απόδοσης υλικού τους. Τα εξαιρετικά καθαρά κεραμικά καρβιδίου του πυριτίου της VeTek Semiconductor χρησιμοποιούνται συχνά σε ολόκληρο τον κύκλο κατασκευής και επεξεργασίας ημιαγωγών.
Το VeTek Semiconductor παρέχει κατασκευασμένα κεραμικά εξαρτήματα ειδικά σχεδιασμένα για τη διάχυση παρτίδας και τις απαιτήσεις LPCVD, όπως:
• Διαφράγματα & βάσεις
• Μπεκ
• Επενδύσεις & σωλήνες επεξεργασίας
• Κουπιά Cantilever Carbide Silicon
• Γκοφρέτες και βάθρα
SiC Cantilever Paddle Σωλήνες διεργασίας SiC Σωλήνας διεργασίας καρβιδίου πυριτίου Κάθετη βάρκα γκοφρέτας SiC Οριζόντια βάρκα γκοφρέτας SiC SiC οριζόντια τετράγωνο βάρκα γκοφρέτα Βάρκα γκοφρέτας SiC LPCVD Βάρκα οριζόντιας πλάκας SiC Στρογγυλό σκάφος γκοφρέτας SiC
Ελαχιστοποιήστε τη μόλυνση και την απρογραμμάτιστη συντήρηση με εξαρτήματα υψηλής καθαρότητας που έχουν σχεδιαστεί για τις ακαμψίες της επεξεργασίας χάραξης πλάσματος, συμπεριλαμβανομένων:
Δακτύλιοι εστίασης
Ακροφύσια
Ασπίδες
Κεφαλές ντους
Παράθυρα / Καπάκια
Άλλα προσαρμοσμένα εξαρτήματα
Το VeTek Semiconductor παρέχει προηγμένα υλικά εξαρτήματα προσαρμοσμένα για εφαρμογές θερμικής επεξεργασίας υψηλής θερμοκρασίας στη βιομηχανία ημιαγωγών. Αυτές οι εφαρμογές περιλαμβάνουν RTP, διεργασίες Epi, διάχυση, οξείδωση και ανόπτηση. Τα τεχνικά κεραμικά μας έχουν σχεδιαστεί για να αντέχουν θερμικά σοκ, παρέχοντας αξιόπιστη και σταθερή απόδοση. Με τα εξαρτήματα της VeTek Semiconductor, οι κατασκευαστές ημιαγωγών μπορούν να επιτύχουν αποτελεσματική και υψηλής ποιότητας θερμική επεξεργασία, συμβάλλοντας στη συνολική επιτυχία της παραγωγής ημιαγωγών.
• Διαχυτές
• Μονωτές
• Υποδοχείς
• Άλλα προσαρμοσμένα θερμικά εξαρτήματα
Φυσικές ιδιότητες του ανακρυσταλλωμένου καρβιδίου του πυριτίου | |
Ιδιοκτησία | Τυπική αξία |
Θερμοκρασία λειτουργίας (°C) | 1600°C (με οξυγόνο), 1700°C (μειωτικό περιβάλλον) |
Περιεχόμενο SiC / SiC | > 99,96% |
Si / Δωρεάν περιεχόμενο Si | < 0,1% |
Χύδην πυκνότητα | 2,60-2,70 g/cm3 |
Φαινόμενο πορώδες | < 16% |
Αντοχή συμπίεσης | > 600 MPa |
Αντοχή σε ψυχρή κάμψη | 80-90 MPa (20°C) |
Δύναμη καυτής κάμψης | 90-100 MPa (1400°C) |
Θερμική διαστολή @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Θερμική αγωγιμότητα @1200°C | 23 W/m•K |
Μέτρο ελαστικότητας | 240 GPa |
Αντοχή σε θερμικό σοκ | ΕΞΑΙΡΕΤΙΚΑ καλο |
Η VeTek Semiconductor είναι επαγγελματίας κατασκευαστής και προμηθευτής, αφοσιωμένος στην παροχή υψηλής ποιότητας σκόνης καρβιδίου του πυριτίου εξαιρετικά καθαρού για την ανάπτυξη κρυστάλλων. Με καθαρότητα έως και 99,999% κ.β. και εξαιρετικά χαμηλά επίπεδα ακαθαρσιών αζώτου, βορίου, αλουμινίου και άλλων ρύπων, έχει σχεδιαστεί ειδικά για να ενισχύει τις ημιμονωτικές ιδιότητες του καρβιδίου του πυριτίου υψηλής καθαρότητας. Καλώς ήρθατε να ρωτήσετε και να συνεργαστείτε μαζί μας!
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης