Η VeTek Semiconductor είναι ένας κορυφαίος κατασκευαστής και καινοτόμος στην Κίνα επικαλυμμένη με SiC Susceptor για γκοφρέτες LPE PE3061S 6''. Είμαστε εξειδικευμένοι στο υλικό επίστρωσης SiC εδώ και πολλά χρόνια. Προσφέρουμε έναν επικαλυμμένο με SiC επικάλυψη για τηγανίτες που έχει σχεδιαστεί ειδικά για γκοφρέτες LPE PE3061S 6'' . Αυτός ο επιταξιακός υποδοχέας διαθέτει υψηλή αντοχή στη διάβρωση, καλή απόδοση θερμικής αγωγιμότητας, καλή ομοιομορφία. Σας καλωσορίζουμε να επισκεφτείτε το εργοστάσιό μας στην Κίνα.
Ως επαγγελματίας κατασκευαστής, η VeTek Semiconductor θα ήθελε να σας προσφέρει υψηλής ποιότητας επικαλυμμένο SiC Pancake Susceptor για γκοφρέτες LPE PE3061S 6''.
Το VeTeK Semiconductor SiC Coated Pancake Susceptor για γκοφρέτες LPE PE3061S 6" είναι ένας κρίσιμος εξοπλισμός που χρησιμοποιείται στις διαδικασίες παραγωγής ημιαγωγών.
Σταθερότητα σε υψηλή θερμοκρασία: Το SiC παρουσιάζει εξαιρετική σταθερότητα σε υψηλές θερμοκρασίες, διατηρώντας τη δομή και την απόδοσή του σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας.
Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα: Το SiC έχει εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, επιτρέποντας γρήγορη και ομοιόμορφη μεταφορά θερμότητας για γρήγορη και ομοιόμορφη θέρμανση.
Αντοχή στη διάβρωση: Το SiC διαθέτει εξαιρετική χημική σταθερότητα, αντιστέκεται στη διάβρωση και την οξείδωση σε διάφορα περιβάλλοντα θέρμανσης.
Ομοιόμορφη κατανομή θέρμανσης: Ο φορέας γκοφρέτας με επίστρωση SiC παρέχει ομοιόμορφη κατανομή θέρμανσης, εξασφαλίζοντας ομοιόμορφη θερμοκρασία σε όλη την επιφάνεια της γκοφρέτας κατά τη θέρμανση.
Κατάλληλο για παραγωγή ημιαγωγών: Ο φορέας γκοφρέτας επιτάξεως Si χρησιμοποιείται ευρέως σε διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών, ιδιαίτερα για ανάπτυξη επιτάξεως Si και άλλες διεργασίες θέρμανσης σε υψηλή θερμοκρασία.
Βελτιωμένη απόδοση παραγωγής: Ο επικαλυμμένος με SiC υποδοχέας τηγανίτας επιτρέπει τη γρήγορη και ομοιόμορφη θέρμανση, μειώνοντας τον χρόνο θέρμανσης και ενισχύοντας την απόδοση παραγωγής.
Εξασφαλισμένη ποιότητα προϊόντος: Η ομοιόμορφη κατανομή θέρμανσης εξασφαλίζει συνέπεια κατά την επεξεργασία της γκοφρέτας, οδηγώντας σε βελτιωμένη ποιότητα του προϊόντος.
Εκτεταμένη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού: Το υλικό SiC προσφέρει εξαιρετική αντοχή στη θερμότητα και χημική σταθερότητα, συμβάλλοντας στη μεγαλύτερη διάρκεια ζωής του υποδοχέα τηγανίτας.
Προσαρμοσμένες λύσεις: Ο επικαλυμμένος με SiC υποδοχέας, ο φορέας γκοφρέτας Si epitaxy μπορεί να προσαρμοστεί σε διαφορετικά μεγέθη και προδιαγραφές με βάση τις απαιτήσεις των πελατών.
Βασικές φυσικές ιδιότητες της επικάλυψης CVD SiC | |
Ιδιοκτησία | Τυπική τιμή |
Κρυσταλλική Δομή | Πολυκρυσταλλική φάση β FCC, κυρίως (111) προσανατολισμένη |
Πυκνότητα | 3,21 g/cm³ |
Σκληρότητα | 2500 Vickers σκληρότητα (500 g φορτίο) |
Grain SiZe | 2~10μm |
Χημική Καθαρότητα | 99,99995% |
Θερμοχωρητικότητα | 640 J·kg-1·K-1 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης | 2700℃ |
Καμπτική Αντοχή | 415 MPa RT 4 σημείων |
Το Modulus του Young | 430 Gpa 4pt κάμψη, 1300℃ |
Θερμική αγωγιμότητα | 300W·m-1·K-1 |
Θερμική Διαστολή (CTE) | 4,5×10-6K-1 |