Επικαλυμμένο με SiC βαρέλι Susceptor

Η VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής, προμηθευτής και εξαγωγέας επίστρωσης SiC και επίστρωσης TaC στην Κίνα. Τηρώντας την επιδίωξη της άριστης ποιότητας των προϊόντων, έτσι ώστε το SiC Coated Barrel Susceptor μας να έχει ικανοποιηθεί από πολλούς πελάτες. Εξαιρετικός σχεδιασμός, ποιοτικές πρώτες ύλες, υψηλή απόδοση και ανταγωνιστική τιμή είναι αυτό που θέλει κάθε πελάτης και αυτό μπορούμε επίσης να σας προσφέρουμε. Φυσικά, επίσης σημαντικό είναι η τέλεια εξυπηρέτηση μετά την πώληση. Εάν ενδιαφέρεστε για τις υπηρεσίες μας με SiC Coated Barrel Susceptor, μπορείτε να μας συμβουλευτείτε τώρα, θα σας απαντήσουμε εγκαίρως!

Το VeTek Semiconductor SiC Coated Barrel Susceptor χρησιμοποιείται κυρίως για αντιδραστήρες LPE Si EPI

Η επιταξία πυριτίου LPE (Liquid Phase Epitaxy) είναι μια ευρέως χρησιμοποιούμενη τεχνική επιταξιακής ανάπτυξης ημιαγωγών για την εναπόθεση λεπτών στρωμάτων μονοκρυσταλλικού πυριτίου σε υποστρώματα πυριτίου. Είναι μια μέθοδος ανάπτυξης υγρής φάσης που βασίζεται σε χημικές αντιδράσεις σε διάλυμα για την επίτευξη ανάπτυξης κρυστάλλων.

Η βασική αρχή της επιταξίας πυριτίου LPE περιλαμβάνει τη βύθιση του υποστρώματος σε ένα διάλυμα που περιέχει το επιθυμητό υλικό, τον έλεγχο της θερμοκρασίας και της σύνθεσης του διαλύματος, επιτρέποντας στο υλικό στο διάλυμα να αναπτυχθεί ως στρώμα μονοκρυστάλλου πυριτίου 

στην επιφάνεια του υποστρώματος. Με την προσαρμογή των συνθηκών ανάπτυξης και της σύνθεσης του διαλύματος κατά την επιταξιακή ανάπτυξη, μπορεί να επιτευχθεί η επιθυμητή ποιότητα κρυστάλλου, πάχος και συγκέντρωση ντόπινγκ.

Η επιταξία πυριτίου LPE προσφέρει πολλά χαρακτηριστικά και πλεονεκτήματα. Πρώτον, μπορεί να εκτελεστεί σε σχετικά χαμηλές θερμοκρασίες, μειώνοντας τη θερμική καταπόνηση και τη διάχυση ακαθαρσιών στο υλικό. Δεύτερον, η επιταξία πυριτίου LPE παρέχει υψηλή ομοιομορφία και εξαιρετική ποιότητα κρυστάλλου, κατάλληλη για την κατασκευή συσκευών ημιαγωγών υψηλής απόδοσης. Επιπλέον, η τεχνολογία LPE επιτρέπει την ανάπτυξη πολύπλοκων δομών, όπως πολυστρωματικών και ετεροδομών.

Στην επιταξία πυριτίου LPE, ο επικαλυμμένος με SiC βαρέλι Susceptor είναι ένα κρίσιμο επιταξιακό συστατικό. Συνήθως χρησιμοποιείται για να συγκρατεί και να υποστηρίζει τα υποστρώματα πυριτίου που απαιτούνται για την επιταξιακή ανάπτυξη ενώ παρέχει έλεγχο θερμοκρασίας και ατμόσφαιρας. Η επίστρωση SiC ενισχύει την ανθεκτικότητα σε υψηλή θερμοκρασία και τη χημική σταθερότητα του υποδοχέα, ικανοποιώντας τις απαιτήσεις της διαδικασίας επιταξιακής ανάπτυξης. Με τη χρήση του επικαλυμμένου SiC Barrel Susceptor, η αποτελεσματικότητα και η συνέπεια της επιταξιακής ανάπτυξης μπορεί να βελτιωθεί, διασφαλίζοντας την ανάπτυξη επιταξιακών στρωμάτων υψηλής ποιότητας.

Βασικές φυσικές ιδιότητες της επίστρωσης CVD SiC

CVD SIC FILM ΚΡΥΣΤΑΛΙΚΗ ΔΟΜΗ