Πορώδες καρβίδιο τανταλίου: Μια νέα γενιά υλικών για την ανάπτυξη κρυστάλλων SiC

Με τη σταδιακή μαζική παραγωγή αγώγιμων υποστρωμάτων SiC, τίθενται υψηλότερες απαιτήσεις στη σταθερότητα και την επαναληψιμότητα της διαδικασίας. Ειδικότερα, ο έλεγχος ελαττωμάτων, ελαφρών προσαρμογών ή μετατοπίσεων στο θερμικό πεδίο στον κλίβανο θα οδηγήσει σε αλλαγές στον κρύσταλλο ή σε αύξηση των ελαττωμάτων.

Στο μεταγενέστερο στάδιο, θα αντιμετωπίσουμε την πρόκληση του «να μεγαλώσουμε πιο γρήγορα, πιο χοντρά και πιο μακριά». Εκτός από τη βελτίωση της θεωρίας και της μηχανικής, χρειάζονται πιο προηγμένα υλικά θερμικού πεδίου ως υποστήριξη. Χρησιμοποιήστε προηγμένα υλικά για την ανάπτυξη προηγμένων κρυστάλλων.

Η ακατάλληλη χρήση υλικών όπως ο γραφίτης, ο πορώδης γραφίτης και η σκόνη καρβιδίου του τανταλίου στο χωνευτήριο στο θερμικό πεδίο θα οδηγήσει σε ελαττώματα όπως αυξημένα εγκλείσματα άνθρακα. Επιπλέον, σε ορισμένες εφαρμογές, η διαπερατότητα του πορώδους γραφίτη δεν είναι αρκετή και πρέπει να ανοίξουν πρόσθετες οπές για να αυξηθεί η διαπερατότητα. Ο πορώδης γραφίτης με υψηλή διαπερατότητα αντιμετωπίζει προκλήσεις όπως η επεξεργασία, η απώλεια σκόνης και η χάραξη.

Πρόσφατα, η VeTek Semiconductor κυκλοφόρησε μια νέα γενιά υλικών θερμικού πεδίου ανάπτυξης κρυστάλλων SiC,πορώδες καρβίδιο τανταλίου, για πρώτη φορά στον κόσμο.

Το καρβίδιο του τανταλίου έχει υψηλή αντοχή και σκληρότητα και είναι ακόμη πιο δύσκολο να γίνει πορώδες. Είναι ακόμη πιο δύσκολο να φτιάξετε πορώδες καρβίδιο τανταλίου με μεγάλο πορώδες και υψηλή καθαρότητα. Η VeTek Semiconductor κυκλοφόρησε ένα πρωτοποριακό πορώδες καρβίδιο τανταλίου με μεγάλο πορώδες,με μέγιστο πορώδες 75%, φτάνοντας στο διεθνές κορυφαίο επίπεδο.

Επιπλέον, μπορεί να χρησιμοποιηθεί για φιλτράρισμα συστατικών αέριας φάσης, ρύθμιση τοπικών κλίσεων θερμοκρασίας, καθοδήγηση κατεύθυνσης ροής υλικού, έλεγχο διαρροής κ.λπ. μπορεί να συνδυαστεί με άλλη επίστρωση στερεού καρβιδίου τανταλίου (πυκνό) ή καρβιδίου του τανταλίου της VeTek Semiconductor για να σχηματίσει εξαρτήματα με διαφορετικές αγωγιμότητες τοπικής ροής. ορισμένα εξαρτήματα μπορούν να επαναχρησιμοποιηθούν.

Τεχνικές παράμετροι

Porosity ≤75% Διεθνής ηγετική θέση

Σχήμα: νιφάδα, κυλινδρικό Διεθνές κορυφαίο

Ομοιόμορφο πορώδες

Το πορώδες καρβίδιο του τανταλίου (TaC) ημιαγωγών VeTek έχει τα ακόλουθα χαρακτηριστικά προϊόντος

●   Porosity για ευέλικτες εφαρμογές

Η πορώδης δομή του TaC παρέχει πολυλειτουργικότητα, επιτρέποντας τη χρήση του σε εξειδικευμένα σενάρια όπως:

Διάχυση αερίου: Διευκολύνει τον ακριβή έλεγχο ροής αερίου σε διαδικασίες ημιαγωγών.

Διήθηση: Ιδανικό για περιβάλλοντα που απαιτούν διαχωρισμό σωματιδίων υψηλής απόδοσης.

Ελεγχόμενη διάχυση θερμότητας: Διαχειρίζεται αποτελεσματικά τη θερμότητα σε συστήματα υψηλής θερμοκρασίας, ενισχύοντας τη συνολική θερμική ρύθμιση.

●   Εξαιρετική αντίσταση σε υψηλές θερμοκρασίες

Με σημείο τήξης περίπου 3.880°C, το καρβίδιο του τανταλίου υπερέχει σε εφαρμογές σε εξαιρετικά υψηλές θερμοκρασίες. Αυτή η εξαιρετική αντοχή στη θερμότητα εξασφαλίζει σταθερή απόδοση σε συνθήκες όπου τα περισσότερα υλικά αποτυγχάνουν.

●   Ανώτερη σκληρότητα και ανθεκτικότητα

Κατάταξη 9-10 στην κλίμακα σκληρότητας Mohs, παρόμοια με το διαμάντι, το Porous TaC επιδεικνύει απαράμιλλη αντοχή στη μηχανική φθορά, ακόμη και υπό ακραίες καταπονήσεις. Αυτή η ανθεκτικότητα το καθιστά ιδανικό για εφαρμογές που εκτίθενται σε λειαντικά περιβάλλοντα.

●   Εξαιρετική θερμική σταθερότητα

Το καρβίδιο του τανταλίου διατηρεί τη δομική του ακεραιότητα και την απόδοσή του σε υπερβολική ζέστη. Η αξιοσημείωτη θερμική του σταθερότητα εξασφαλίζει αξιόπιστη λειτουργία σε βιομηχανίες που απαιτούν συνέπεια σε υψηλές θερμοκρασίες, όπως η κατασκευή ημιαγωγών και η αεροδιαστημική.

●   Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα

Παρά την πορώδη φύση του, το Porous TaC διατηρεί αποτελεσματική μεταφορά θερμότητας, επιτρέποντας τη χρήση του σε συστήματα όπου η ταχεία απαγωγή θερμότητας είναι κρίσιμη. Αυτό το χαρακτηριστικό ενισχύει τη δυνατότητα εφαρμογής του υλικού σε διαδικασίες έντασης θερμότητας.

●   Χαμηλή θερμική διαστολή για σταθερότητα διαστάσεων

Με χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής, το καρβίδιο του τανταλίου αντιστέκεται στις αλλαγές διαστάσεων που προκαλούνται από τις διακυμάνσεις της θερμοκρασίας. Αυτή η ιδιότητα ελαχιστοποιεί τη θερμική καταπόνηση, παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής των εξαρτημάτων και διατηρώντας την ακρίβεια σε κρίσιμα συστήματα.

Στην κατασκευή ημιαγωγών, το πορώδες καρβίδιο τανταλίου (TaC) παίζει τους ακόλουθους συγκεκριμένους βασικούς ρόλους

●  Σε διαδικασίες υψηλής θερμοκρασίας, όπως η χάραξη πλάσματος και η CVD, το πορώδες καρβίδιο του τανταλίου ημιαγωγού VeTek χρησιμοποιείται συχνά ως προστατευτική επίστρωση για εξοπλισμό επεξεργασίας. Αυτό οφείλεται στην ισχυρή αντίσταση στη διάβρωση του TaC Coating και στη σταθερότητά του σε υψηλές θερμοκρασίες. Αυτές οι ιδιότητες διασφαλίζουν ότι προστατεύει αποτελεσματικά τις επιφάνειες που εκτίθενται σε αντιδραστικά αέρια ή ακραίες θερμοκρασίες, διασφαλίζοντας έτσι την κανονική αντίδραση των διεργασιών σε υψηλή θερμοκρασία.

●  Στις διαδικασίες διάχυσης, το πορώδες καρβίδιο του τανταλίου μπορεί να χρησιμεύσει ως αποτελεσματικό φράγμα διάχυσης για να αποτρέψει την ανάμειξη υλικών σε διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας. Αυτό το χαρακτηριστικό χρησιμοποιείται συχνά για τον έλεγχο της διάχυσης των προσμείξεων σε διαδικασίες όπως η εμφύτευση ιόντων και ο έλεγχος καθαρότητας πλακών ημιαγωγών.

●  Η πορώδης δομή του καρβιδίου πορώδους τανταλίου ημιαγωγού VeTek είναι πολύ κατάλληλη για περιβάλλοντα επεξεργασίας ημιαγωγών που απαιτούν ακριβή έλεγχο ροής αερίου ή διήθηση. Σε αυτή τη διαδικασία, το Porous TaC παίζει κυρίως το ρόλο της διήθησης και διανομής αερίου. Η χημική του αδράνεια διασφαλίζει ότι δεν εισάγονται ρύποι κατά τη διαδικασία διήθησης. Αυτό εγγυάται αποτελεσματικά την καθαρότητα του επεξεργασμένου προϊόντος.

Σχετικά με το VeTek Semiconductor

Ως επαγγελματίας στην Κίνα κατασκευαστής καρβιδίου πορώδους τανταλίου, προμηθευτής, εργοστάσιο, έχουμε το δικό μας εργοστάσιο. Είτε χρειάζεστε προσαρμοσμένες υπηρεσίες για να καλύψετε τις συγκεκριμένες ανάγκες της περιοχής σας είτε θέλετε να αγοράσετε προηγμένο και ανθεκτικό πορώδες καρβίδιο τανταλίου κατασκευασμένο στην Κίνα, μπορείτε να μας αφήσετε ένα μήνυμα.

Εάν έχετε οποιεσδήποτε ερωτήσεις ή χρειάζεστε πρόσθετες λεπτομέρειες σχετικά μεΠορώδες καρβίδιο τανταλίου、Πορώδης γραφίτης με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίουκαι άλλαΣυστατικά επικαλυμμένα με καρβίδιο τανταλίου, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μας.

☏☏☏Mob/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

☏☏☏Email: anny@veteksemi.com