Γιατί η επίστρωση SiC λαμβάνει τόση προσοχή; - VeTek Semiconductor

Τα τελευταία χρόνια, με τη συνεχή ανάπτυξη της βιομηχανίας ηλεκτρονικών,ο ημιαγωγός τρίτης γενιάςτα υλικά έχουν γίνει μια νέα κινητήρια δύναμη για την ανάπτυξη της βιομηχανίας ημιαγωγών. Ως τυπικός εκπρόσωπος των υλικών ημιαγωγών τρίτης γενιάς, το SiC έχει χρησιμοποιηθεί ευρέως στον τομέα της κατασκευής ημιαγωγών, ειδικά σεθερμικό πεδίουλικά, λόγω των εξαιρετικών φυσικών και χημικών ιδιοτήτων του.

Λοιπόν, τι ακριβώς είναι η επίστρωση SiC; Και τι είναιΕπίστρωση CVD SiC?

Το SiC είναι μια ένωση ομοιοπολικά συνδεδεμένη με υψηλή σκληρότητα, εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής και υψηλή αντοχή στη διάβρωση. Η θερμική του αγωγιμότητα μπορεί να φτάσει τα 120-170 W/m·K, επιδεικνύοντας εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα στην απαγωγή θερμότητας ηλεκτρονικών εξαρτημάτων. Επιπλέον, ο συντελεστής θερμικής διαστολής του καρβιδίου του πυριτίου είναι μόνο 4,0×10-6/K (στην περιοχή 300–800℃), γεγονός που του επιτρέπει να διατηρεί σταθερότητα διαστάσεων σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας, μειώνοντας σημαντικά την παραμόρφωση ή την αστοχία που προκαλείται από τη θερμική στρες. Η επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου αναφέρεται σε μια επίστρωση από καρβίδιο του πυριτίου που παρασκευάζεται στην επιφάνεια των εξαρτημάτων με φυσική ή χημική εναπόθεση ατμών, ψεκασμό κ.λπ.  

Εναπόθεση χημικών ατμών (CVD)είναι επί του παρόντος η κύρια τεχνολογία για την προετοιμασία επικάλυψης SiC σε επιφάνειες υποστρώματος. Η κύρια διαδικασία είναι ότι τα αντιδρώντα αέριας φάσης υφίστανται μια σειρά από φυσικές και χημικές αντιδράσεις στην επιφάνεια του υποστρώματος και τελικά η επίστρωση CVD SiC εναποτίθεται στην επιφάνεια του υποστρώματος.

Δεδομένα Sem Επικάλυψης CVD SiC

Εφόσον η επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου είναι τόσο ισχυρή, σε ποιους κρίκους κατασκευής ημιαγωγών έχει παίξει τεράστιο ρόλο; Η απάντηση είναι τα αξεσουάρ παραγωγής επιταξίας.

Η επίστρωση SIC έχει το βασικό πλεονέκτημα ότι ταιριάζει σε μεγάλο βαθμό με τη διαδικασία επιταξιακής ανάπτυξης όσον αφορά τις ιδιότητες του υλικού. Ακολουθούν οι σημαντικοί ρόλοι και οι λόγοι της επίστρωσης SICΕπιταξιακός υποδοχέας επικάλυψης SIC:

1. Υψηλή θερμική αγωγιμότητα και αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία

Η θερμοκρασία του επιταξιακού περιβάλλοντος ανάπτυξης μπορεί να φτάσει πάνω από 1000℃. Η επίστρωση SiC έχει εξαιρετικά υψηλή θερμική αγωγιμότητα, η οποία μπορεί να διαλύσει αποτελεσματικά τη θερμότητα και να εξασφαλίσει την ομοιομορφία θερμοκρασίας της επιταξιακής ανάπτυξης.

2. Χημική σταθερότητα

Η επίστρωση SiC έχει εξαιρετική χημική αδράνεια και μπορεί να αντισταθεί στη διάβρωση από διαβρωτικά αέρια και χημικά, διασφαλίζοντας ότι δεν αντιδρά αρνητικά με τα αντιδρώντα κατά την επιταξιακή ανάπτυξη και διατηρεί την ακεραιότητα και την καθαρότητα της επιφάνειας του υλικού.

3. Ταίριασμα σταθερά πλέγματος

Στην επιταξιακή ανάπτυξη, η επίστρωση SiC μπορεί να συνδυαστεί καλά με μια ποικιλία επιταξιακών υλικών λόγω της κρυσταλλικής δομής της, η οποία μπορεί να μειώσει σημαντικά την αναντιστοιχία του πλέγματος, μειώνοντας έτσι τα κρυσταλλικά ελαττώματα και βελτιώνοντας την ποιότητα και την απόδοση του επιταξιακού στρώματος.

4. Χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής

Η επίστρωση SiC έχει χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής και είναι σχετικά κοντά σε αυτόν των κοινών επιταξιακών υλικών. Αυτό σημαίνει ότι σε υψηλές θερμοκρασίες, δεν θα υπάρχει έντονη τάση μεταξύ της βάσης και της επίστρωσης SiC λόγω της διαφοράς στους συντελεστές θερμικής διαστολής, αποφεύγοντας προβλήματα όπως ξεφλούδισμα υλικού, ρωγμές ή παραμόρφωση.

5. Υψηλή σκληρότητα και αντοχή στη φθορά

Η επίστρωση SiC έχει εξαιρετικά υψηλή σκληρότητα, επομένως η επίστρωσή της στην επιφάνεια της επιταξιακής βάσης μπορεί να βελτιώσει σημαντικά την αντοχή της στη φθορά και να παρατείνει τη διάρκεια ζωής της, διασφαλίζοντας παράλληλα ότι η γεωμετρία και η επιπεδότητα της επιφάνειας της βάσης δεν αλλοιώνονται κατά τη διαδικασία επιταξίας.

Εικόνα διατομής και επιφάνειας επίστρωσης SiC

Εκτός από αξεσουάρ για επιταξιακή παραγωγή,Η επίστρωση SiC έχει επίσης σημαντικά πλεονεκτήματα σε αυτούς τους τομείς:

Φορείς γκοφρέτας ημιαγωγών：Κατά την επεξεργασία ημιαγωγών, ο χειρισμός και η επεξεργασία των γκοφρετών απαιτεί εξαιρετικά υψηλή καθαριότητα και ακρίβεια. Η επίστρωση SiC χρησιμοποιείται συχνά σε φορείς πλακών, βραχίονες και δίσκους.

Γκοφρέτα μεταφοράς

Δακτύλιος προθέρμανσης：Ο δακτύλιος προθέρμανσης βρίσκεται στον εξωτερικό δακτύλιο του επιταξιακού δίσκου υποστρώματος Si και χρησιμοποιείται για βαθμονόμηση και θέρμανση. Τοποθετείται στο θάλαμο αντίδρασης και δεν έρχεται σε άμεση επαφή με τη γκοφρέτα.

  Δακτύλιος προθέρμανσης

Το άνω μέρος του μισού φεγγαριού είναι ο φορέας άλλων εξαρτημάτων του θαλάμου αντίδρασης τουΣυσκευή επιτάξεως SiC, ο οποίος ελέγχεται η θερμοκρασία και εγκαθίσταται στο θάλαμο αντίδρασης χωρίς άμεση επαφή με τη γκοφρέτα. Το κάτω μέρος του μισού φεγγαριού συνδέεται με έναν σωλήνα χαλαζία που εισάγει αέριο για να κινήσει την περιστροφή της βάσης. Είναι ελεγχόμενη θερμοκρασία, τοποθετείται στο θάλαμο αντίδρασης και δεν έρχεται σε άμεση επαφή με τη γκοφρέτα.

Άνω τμήμα μισοφεγγαριού

Επιπλέον, υπάρχουν χωνευτήριο τήξης για εξάτμιση στη βιομηχανία ημιαγωγών, πύλη ηλεκτρονικών σωλήνων υψηλής ισχύος, βούρτσα που έρχεται σε επαφή με τον ρυθμιστή τάσης, μονοχρωματικό γραφίτη για ακτίνες Χ και νετρόνια, διάφορα σχήματα υποστρωμάτων γραφίτη και Η επίστρωση σωλήνων ατομικής απορρόφησης, κ.λπ., η επίστρωση SiC διαδραματίζει όλο και πιο σημαντικό ρόλο.

Γιατί να επιλέξετεVeTek Semiconductor?

Στη VeTek Semiconductor, οι διαδικασίες παραγωγής μας συνδυάζουν μηχανική ακριβείας με προηγμένα υλικά για την παραγωγή προϊόντων επίστρωσης SiC με ανώτερη απόδοση και ανθεκτικότητα, όπως π.χ.Στήριγμα γκοφρέτας με επίστρωση SiC, δέκτης SiC Coating Epi,UV LED Epi Receiver, Κεραμική επίστρωση καρβιδίου πυριτίουκαιΕπικάλυψη SiC Υποδοχέας ALD. Είμαστε σε θέση να ανταποκριθούμε στις συγκεκριμένες ανάγκες της βιομηχανίας ημιαγωγών καθώς και άλλων βιομηχανιών, παρέχοντας στους πελάτες υψηλής ποιότητας προσαρμοσμένη επίστρωση SiC.

Εάν έχετε οποιεσδήποτε ερωτήσεις ή χρειάζεστε πρόσθετες λεπτομέρειες, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μας.

Mob/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

Email: anny@veteksemi.com