Αποδέκτης EPI

Το susceptor EPI της VeTek Semiconductor είναι σχεδιασμένο για τις απαιτητικές εφαρμογές επιταξιακού εξοπλισμού. Η δομή γραφίτη με επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου (SiC) υψηλής καθαρότητας προσφέρει εξαιρετική αντοχή στη θερμότητα, ομοιόμορφη θερμική ομοιομορφία για σταθερό πάχος και αντίσταση επιταξιακής στρώσης και μακροχρόνια χημική αντοχή. Ανυπομονούμε να συνεργαστούμε μαζί σας.

Αποστολή Ερώτησης

περιγραφή προϊόντος

Η VeTek Semiconductor είναι επαγγελματίας κορυφαίος κατασκευαστής China EPI Receiver, ALD Planetary Receiver, TaC Coated Graphite Receiver.

Ο υποδοχέας EPI της VeTek Semiconductor είναι ένα σημαντικό συστατικό της επιταξιακής ανάπτυξης στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών. Η κύρια λειτουργία του είναι να υποστηρίζει και να θερμαίνει τη γκοφρέτα έτσι ώστε ένα επιταξιακό στρώμα υψηλής ποιότητας να μπορεί να αναπτυχθεί ομοιόμορφα στην επιφάνεια του πλακιδίου.

Οι υποδοχείς EPI της VeTek Semiconductors είναι συνήθως κατασκευασμένοι από γραφίτη υψηλής καθαρότητας και επικαλύπτονται με ένα στρώμα καρβιδίου του πυριτίου (SiC). Αυτός ο σχεδιασμός έχει τα ακόλουθα βασικά πλεονεκτήματα:

Σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας: Ο υποδοχέας EPI μπορεί να παραμείνει σταθερός σε περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας, διασφαλίζοντας την ομοιόμορφη ανάπτυξη του επιταξιακού στρώματος.

Αντοχή στη διάβρωση: Η επίστρωση SiC έχει εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση και μπορεί να αντισταθεί στη διάβρωση των χημικών αερίων, παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής του δίσκου.

Θερμική αγωγιμότητα: Η υψηλή θερμική αγωγιμότητα του υλικού SiC εξασφαλίζει ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας της γκοφρέτας κατά τη θέρμανση, βελτιώνοντας έτσι την ποιότητα της επιταξιακής στρώσης.

Ταίριασμα συντελεστή θερμικής διαστολής: Ο συντελεστής θερμικής διαστολής του SiC είναι παρόμοιος με αυτόν του γραφίτη, αποφεύγοντας το πρόβλημα της απόρριψης της επικάλυψης λόγω θερμικής διαστολής και συστολής.

Βασικές φυσικές ιδιότητες τουΑποδέκτης EPI: