Τεχνολογία θερμικού ψεκασμού ημιαγωγών

Η τεχνολογία θερμικού ψεκασμού ημιαγωγών είναι μια προηγμένη διαδικασία που ψεκάζει υλικά σε τετηγμένη ή ημιτηγμένη κατάσταση στην επιφάνεια ενός υποστρώματος για να σχηματιστεί μια επίστρωση. Αυτή η τεχνολογία χρησιμοποιείται ευρέως στον τομέα της κατασκευής ημιαγωγών, κυρίως για τη δημιουργία επικαλύψεων με συγκεκριμένες λειτουργίες στην επιφάνεια του υποστρώματος, όπως αγωγιμότητα, μόνωση, αντοχή στη διάβρωση και αντοχή στην οξείδωση. Τα κύρια πλεονεκτήματα της τεχνολογίας θερμικού ψεκασμού περιλαμβάνουν την υψηλή απόδοση, το ελεγχόμενο πάχος επίστρωσης και την καλή πρόσφυση επίστρωσης, καθιστώντας την ιδιαίτερα σημαντική στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών που απαιτεί υψηλή ακρίβεια και αξιοπιστία.

Εφαρμογή τεχνολογίας θερμικού ψεκασμού σε ημιαγωγούς

Χάραξη δέσμης πλάσματος (ξηρή χάραξη)

Συνήθως αναφέρεται στη χρήση εκκένωσης λάμψης για τη δημιουργία ενεργών σωματιδίων στο πλάσμα που περιέχουν φορτισμένα σωματίδια όπως πλάσμα και ηλεκτρόνια και εξαιρετικά χημικά ενεργά ουδέτερα άτομα και μόρια και ελεύθερες ρίζες, τα οποία διαχέονται στο μέρος που θα χαραχθεί, αντιδρούν με το χαραγμένο υλικό, σχηματίζουν πτητικά προϊόντα και αφαιρούνται, ολοκληρώνοντας έτσι την τεχνολογία χάραξης της μεταφοράς προτύπων. Είναι μια αναντικατάστατη διαδικασία για την υλοποίηση της υψηλής πιστότητας μεταφοράς λεπτών μοτίβων από πρότυπα φωτολιθογραφίας σε γκοφρέτες για την παραγωγή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων εξαιρετικά μεγάλης κλίμακας.

Θα δημιουργηθεί ένας μεγάλος αριθμός ενεργών ελεύθερων ριζών όπως Cl και F. Όταν χαράσσουν συσκευές ημιαγωγών, διαβρώνουν τις εσωτερικές επιφάνειες άλλων τμημάτων του εξοπλισμού, συμπεριλαμβανομένων των κραμάτων αλουμινίου και των κεραμικών δομικών μερών. Αυτή η ισχυρή διάβρωση παράγει μεγάλο αριθμό σωματιδίων, τα οποία όχι μόνο απαιτούν συχνή συντήρηση του εξοπλισμού παραγωγής, αλλά προκαλούν επίσης αστοχία του θαλάμου διαδικασίας χάραξης και βλάβη στη συσκευή σε σοβαρές περιπτώσεις.

Το Y2O3 είναι ένα υλικό με πολύ σταθερές χημικές και θερμικές ιδιότητες. Το σημείο τήξης του είναι πολύ πάνω από 2400℃. Μπορεί να παραμείνει σταθερό σε ισχυρό διαβρωτικό περιβάλλον. Η αντοχή του στον βομβαρδισμό πλάσματος μπορεί να παρατείνει σημαντικά τη διάρκεια ζωής των εξαρτημάτων και να μειώσει τα σωματίδια στον θάλαμο χάραξης.

Η κύρια λύση είναι ο ψεκασμός υψηλής καθαρότητας επίστρωσης Y2O3 για την προστασία του θαλάμου χάραξης και άλλων βασικών εξαρτημάτων.