Χαρακτηριστικά της επιταξίας πυριτίου

Τα χαρακτηριστικά της επιταξίας πυριτίου είναι τα εξής:

Υψηλή καθαρότητα: Το επιταξιακό στρώμα πυριτίου που αναπτύσσεται με χημική εναπόθεση ατμού (CVD) έχει εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, καλύτερη επιπεδότητα επιφάνειας και χαμηλότερη πυκνότητα ελαττώματος από τα παραδοσιακά γκοφρέτα.

Ομοιομορφία λεπτής μεμβράνης: Η επιταξία πυριτίου μπορεί να σχηματίσει ένα πολύ ομοιόμορφο λεπτό φιλμ κάτω από ένα συγκεκριμένο εγγυημένο ρυθμό ανάπτυξης. Ταυτόχρονα, μπορεί να επιτευχθεί η ομοιομορφία της θέρμανσης, μειώνοντας έτσι τα ελαττώματα της κρυσταλλικής δομής και βελτιώνοντας την ποιότητα του κρυστάλλου.

Ισχυρή δυνατότητα ελέγχου: Η τεχνολογία επιταξίας πυριτίου μπορεί να ελέγξει με ακρίβεια τη μορφολογία, το μέγεθος και τη δομή των υλικών πυριτίου και μπορεί να αναπτύξει πολύπλοκες κρυσταλλικές δομές, όπως ετεροσυνδέσεις πολλαπλών στρωμάτων.

Μεγάλη διάμετρος γκοφρέτας: Η τεχνολογία επιταξιακής ανάπτυξης πυριτίου μπορεί να αναπτύξει γκοφρέτες πυριτίου με μεγάλες διαμέτρους και η ικανότητα παραγωγής πλακών πυριτίου μεγάλης διαμέτρου είναι ζωτικής σημασίας για την παραγωγή ημιαγωγών.

Αξιοπιστία διαδικασίας: Η επιταξιακή διεργασία πυριτίου μπορεί να επαναχρησιμοποιηθεί πολλές φορές, κάτι που έχει μεγάλη σημασία για τη μαζική παραγωγή συσκευών ημιαγωγών.