Κατασκευή τσιπ: Μια ροή διαδικασίας του MOSFET

Η διαδικασία κατασκευής τσιπ περιλαμβάνει φωτολιθογραφία,χαλκογραφία, διάχυση, λεπτή μεμβράνη, εμφύτευση ιόντων, χημική μηχανική στίλβωση, καθαρισμός, κ.λπ. Αυτό το άρθρο εξηγεί κατά προσέγγιση πώς αυτές οι διαδικασίες ενσωματώνονται στη σειρά για την κατασκευή ενός MOSFET.

1.Έχουμε πρώτα έναυπόστρωμαμε καθαρότητα πυριτίου έως και 99,9999999%.

2. Αναπτύξτε ένα στρώμα μεμβράνης οξειδίου στο υπόστρωμα κρυστάλλου πυριτίου.

3. Φωτοανθεκτικό στύψιμο ομοιόμορφα.

4. Η φωτολιθογραφία εκτελείται μέσω φωτομάσκας για να μεταφερθεί το σχέδιο της φωτομάσκας στο φωτοανθεκτικό.

5. Το φωτοανθεκτικό στη φωτοευαίσθητη περιοχή ξεπλένεται μετά την ανάπτυξη.

6. Χαράξτε το φιλμ οξειδίου που δεν καλύπτεται από το φωτοανθεκτικό μέσω χάραξης, έτσι ώστε το σχέδιο φωτολιθογραφίας να μεταφερθεί στοόστια.

7. Καθαρίστε και αφαιρέστε την περίσσεια φωτοαντίσταση.

8. Απλώστε ένα άλλο διαλυτικόμεμβράνη οξειδίου. Μετά από αυτό, μέσω της παραπάνω φωτολιθογραφίας και χάραξης, διατηρείται μόνο το φιλμ οξειδίου στην περιοχή της πύλης.

9. Αναπτύξτε ένα στρώμα πολυπυριτίου πάνω του

10. Όπως στο βήμα 7, χρησιμοποιήστε φωτολιθογραφία και χάραξη για να διατηρήσετε μόνο το πολυπυρίτιο στο στρώμα οξειδίου της πύλης.

11. Καλύψτε το στρώμα οξειδίου και την πύλη με καθαρισμό φωτολιθογραφίας, έτσι ώστε ολόκληρη η γκοφρέτα να είναιεμφυτευμένα με ιόντα, και θα υπάρχει πηγή και αποχέτευση.

12. Αναπτύξτε ένα στρώμα μονωτικής μεμβράνης στη γκοφρέτα.

13. Χαράξτε τις οπές επαφής της πηγής, της πύλης και αποστραγγίστε με φωτολιθογραφία και χάραξη.

14. Στη συνέχεια, εναποθέστε μέταλλο στην χαραγμένη περιοχή, έτσι ώστε να υπάρχουν αγώγιμα μεταλλικά σύρματα για την πηγή, την πύλη και την αποστράγγιση.

Τέλος, ένα πλήρες MOSFET κατασκευάζεται με συνδυασμό διαφόρων διαδικασιών.

Στην πραγματικότητα, το κάτω στρώμα του τσιπ αποτελείται από μεγάλο αριθμό τρανζίστορ.

Διάγραμμα κατασκευής MOSFET, πηγή, πύλη, αποχέτευση

Διάφορα τρανζίστορ σχηματίζουν λογικές πύλες

Οι λογικές πύλες σχηματίζουν αριθμητικές μονάδες

Τέλος, είναι ένα τσιπ στο μέγεθος ενός νυχιού