Ποια είναι η διαφορά μεταξύ του CVD TaC και του πυροσυσσωματωμένου TaC;

1. Τι είναι το καρβίδιο του τανταλίου;

Το καρβίδιο του τανταλίου (TaC) είναι μια δυαδική ένωση που αποτελείται από ταντάλιο και άνθρακα με τον εμπειρικό τύπο TaCX, όπου το X κυμαίνεται συνήθως στην περιοχή από 0,4 έως 1. Είναι πολύ σκληρά, εύθραυστα μεταλλικά αγώγιμα πυρίμαχα κεραμικά υλικά. Είναι καφέ-γκρι σκόνες, συνήθως πυροσυσσωματωμένες. Ως σημαντικό μεταλλικό κεραμικό υλικό, το καρβίδιο του τανταλίου χρησιμοποιείται εμπορικά για εργαλεία κοπής και μερικές φορές προστίθεται σε κράματα καρβιδίου του βολφραμίου.

Εικόνα 1. Πρώτες ύλες καρβιδίου τανταλίου

Το κεραμικό καρβίδιο τανταλίου είναι ένα κεραμικό που περιέχει επτά κρυσταλλικές φάσεις καρβιδίου τανταλίου. Ο χημικός τύπος είναι TaC, κυβικό πλέγμα με επίκεντρο την όψη.

Εικόνα 2.Καρβίδιο τανταλίου - Wikipedia

Η θεωρητική πυκνότητα είναι 1,44, το σημείο τήξης είναι 3730-3830℃, ο συντελεστής θερμικής διαστολής είναι 8,3×10-6, ο συντελεστής ελαστικότητας είναι 291GPa, η θερμική αγωγιμότητα είναι 0,22J/cm·S·C και το σημείο αιχμής τήξης του τανταλίου είναι περίπου 3880℃, ανάλογα με την καθαρότητα και τις συνθήκες μέτρησης. Αυτή η τιμή είναι η υψηλότερη μεταξύ των δυαδικών ενώσεων.

Εικόνα 3.Εναπόθεση χημικού ατμού καρβιδίου τανταλίου στο TaBr5&ndash

2. Πόσο ισχυρό είναι το καρβίδιο του τανταλίου;

Με τη δοκιμή της σκληρότητας Vickers, της αντοχής σε θραύση και της σχετικής πυκνότητας μιας σειράς δειγμάτων, μπορεί να προσδιοριστεί ότι το TaC έχει τις καλύτερες μηχανικές ιδιότητες στα 5,5GPa και στους 1300℃. Η σχετική πυκνότητα, η αντοχή σε θραύση και η σκληρότητα Vickers του TaC είναι 97,7%, 7,4MPam1/2 και 21,0GPa αντίστοιχα.

Το καρβίδιο του τανταλίου ονομάζεται επίσης κεραμικό καρβίδιο τανταλίου, το οποίο είναι ένα είδος κεραμικού υλικού με ευρεία έννοια.Οι μέθοδοι παρασκευής καρβιδίου τανταλίου περιλαμβάνουνCVDμέθοδος, μέθοδος πυροσυσσωμάτωσηςκτλ. Επί του παρόντος, η μέθοδος CVD χρησιμοποιείται συχνότερα σε ημιαγωγούς, με υψηλή καθαρότητα και υψηλό κόστος.

3. Σύγκριση μεταξύ πυροσυσσωματωμένου καρβιδίου τανταλίου και καρβιδίου τανταλίουCVD

Στην τεχνολογία επεξεργασίας ημιαγωγών, το πυροσυσσωματωμένο καρβίδιο του τανταλίου και το καρβίδιο του τανταλίου με εναπόθεση χημικών ατμών (CVD) είναι δύο κοινές μέθοδοι παρασκευής καρβιδίου τανταλίου, οι οποίες έχουν σημαντικές διαφορές στη διαδικασία παρασκευής, τη μικροδομή, την απόδοση και την εφαρμογή.

3.1 Διαδικασία προετοιμασίας

Συντηγμένο καρβίδιο τανταλίου: Η σκόνη καρβιδίου του τανταλίου συντήκεται υπό υψηλή θερμοκρασία και υψηλή πίεση για να σχηματιστεί ένα σχήμα. Αυτή η διαδικασία περιλαμβάνει πύκνωση σκόνης, ανάπτυξη κόκκων και αφαίρεση ακαθαρσιών.

Καρβίδιο του τανταλίου CVD: Ο αέριος πρόδρομος καρβιδίου του τανταλίου χρησιμοποιείται για να αντιδράσει χημικά στην επιφάνεια του θερμαινόμενου υποστρώματος και το φιλμ καρβιδίου του τανταλίου εναποτίθεται στρώμα προς στρώμα. Η διαδικασία CVD έχει καλή ικανότητα ελέγχου πάχους φιλμ και ομοιομορφία σύνθεσης.

3.2 Μικροδομή

Πυροσυσσωματωμένο καρβίδιο τανταλίου: Γενικά, είναι μια πολυκρυσταλλική δομή με μεγάλο μέγεθος κόκκων και πόρους. Η μικροδομή του επηρεάζεται από παράγοντες όπως η θερμοκρασία πυροσυσσωμάτωσης, η πίεση και τα χαρακτηριστικά σκόνης.

Καρβίδιο του τανταλίου CVD: Είναι συνήθως ένα πυκνό πολυκρυσταλλικό φιλμ με μικρό μέγεθος κόκκων και μπορεί να επιτύχει υψηλά προσανατολισμένη ανάπτυξη. Η μικροδομή του φιλμ επηρεάζεται από παράγοντες όπως η θερμοκρασία εναπόθεσης, η πίεση αερίου και η σύνθεση της αέριας φάσης.

3.3 Διαφορές απόδοσης

Σχήμα 4. Διαφορές απόδοσης μεταξύ πυροσυσσωματωμένου TaC και CVD TaC

3.4 Εφαρμογές

Συντηγμένο καρβίδιο τανταλίου: Λόγω της υψηλής αντοχής, της υψηλής σκληρότητας και της αντοχής σε υψηλή θερμοκρασία, χρησιμοποιείται ευρέως σε εργαλεία κοπής, ανθεκτικά στη φθορά εξαρτήματα, δομικά υλικά υψηλής θερμοκρασίας και άλλα πεδία. Για παράδειγμα, το πυροσυσσωματωμένο καρβίδιο του τανταλίου μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την κατασκευή κοπτικών εργαλείων όπως τρυπάνια και φρέζες για τη βελτίωση της απόδοσης επεξεργασίας και της ποιότητας της επιφάνειας των μερών.

Καρβίδιο του τανταλίουCVD: Λόγω των ιδιοτήτων του λεπτού φιλμ, της καλής πρόσφυσης και της ομοιομορφίας του, χρησιμοποιείται ευρέως σε ηλεκτρονικές συσκευές, υλικά επίστρωσης, καταλύτες και άλλους τομείς. Για παράδειγμα, το καρβίδιο του τανταλίου CVD μπορεί να χρησιμοποιηθεί ως διασυνδέσεις για ολοκληρωμένα κυκλώματα, ανθεκτικές στη φθορά επιστρώσεις και φορείς καταλύτη.

-------------------------------------------------- -------------------------------------------------- -------------------------------------------------- -------------------------------------------------- -------------------------------------------------- -------------------------------

Ως κατασκευαστής, προμηθευτής και εργοστάσιο επικάλυψης καρβιδίου τανταλίου, η VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής υλικών επίστρωσης καρβιδίου τανταλίου για τη βιομηχανία ημιαγωγών.

Τα κύρια προϊόντα μας περιλαμβάνουνΜέρη με επίστρωση καρβιδίου του τανταλίουCVD, πυροσυσσωματωμένα εξαρτήματα επικαλυμμένα με TaC για ανάπτυξη κρυστάλλων SiC ή διεργασίες επιταξίας ημιαγωγών. Τα κύρια προϊόντα μας είναι οδηγοί δακτύλιοι με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου, οδηγοί δακτύλιοι με επίστρωση TaC, εξαρτήματα μισής σελήνης με επίστρωση TaC, πλανητικούς περιστρεφόμενοι δίσκοι με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου (Aixtron G10), Χωνευτήρια με επικάλυψη TaC. Δακτύλιοι με επίστρωση TaC. Πορώδης γραφίτης με επικάλυψη TaC. Υποδοχείς γραφίτη με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου. Δακτύλιοι οδηγοί με επίστρωση TaC. Πλάκες επικαλυμμένες με καρβίδιο τανταλίου TaC. Επικαλυμμένα με TaC Υποδοχείς Γκοφρέτας; Καπάκια γραφίτη με επικάλυψη TaC. Μπλοκ με επίστρωση TaC, κ.λπ., με καθαρότητα μικρότερη από 5 ppm για την κάλυψη των απαιτήσεων των πελατών.

Εικόνα 5. Προϊόντα επίστρωσης TaC Hot-seller της VeTek Semiconductor

Η VeTek Semiconductor δεσμεύεται να γίνει καινοτόμος στη βιομηχανία επικάλυψης καρβιδίου του τανταλίου μέσω συνεχούς έρευνας και ανάπτυξης επαναληπτικών τεχνολογιών. 

Εάν ενδιαφέρεστε για προϊόντα TaC, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μας απευθείας.

Κιν: +86-180 6922 0752

WhatsAPP: +86 180 6922 0752

Email: anny@veteksemi.com