Τι είναι η επίστρωση CVD TAC;

Όπως όλοι γνωρίζουμε,TaCέχει σημείο τήξης έως 3880°C, υψηλή μηχανική αντοχή, σκληρότητα, αντοχή σε θερμικό σοκ. καλή χημική αδράνεια και θερμική σταθερότητα σε αμμωνία, υδρογόνο, ατμούς που περιέχουν πυρίτιο σε υψηλές θερμοκρασίες.

Επίστρωση CVD TAC, χημική εναπόθεση ατμών (CVD) τουεπίστρωση καρβιδίου τανταλίου (TaC)., είναι μια διαδικασία για τη διαμόρφωση μιας υψηλής πυκνότητας και ανθεκτικής επίστρωσης σε ένα υπόστρωμα (συνήθως γραφίτη). Αυτή η μέθοδος περιλαμβάνει την εναπόθεση TaC στην επιφάνεια του υποστρώματος σε υψηλές θερμοκρασίες, με αποτέλεσμα μια επίστρωση με εξαιρετική θερμική σταθερότητα και χημική αντοχή.

Τα κύρια πλεονεκτήματα των επικαλύψεων CVD TaC περιλαμβάνουν:

Εξαιρετικά υψηλή θερμική σταθερότητα: αντέχει σε θερμοκρασίες άνω των 2200°C.

Χημική αντοχή: μπορεί να αντισταθεί αποτελεσματικά σε σκληρές χημικές ουσίες όπως υδρογόνο, αμμωνία και ατμοί πυριτίου.

Ισχυρή πρόσφυση: εξασφαλίζει μακροχρόνια προστασία χωρίς αποκόλληση.

Υψηλή καθαρότητα: ελαχιστοποιεί τις ακαθαρσίες, καθιστώντας το ιδανικό για εφαρμογές ημιαγωγών.

Αυτές οι επικαλύψεις είναι ιδιαίτερα κατάλληλες για περιβάλλοντα που απαιτούν υψηλή αντοχή και αντοχή σε ακραίες συνθήκες, όπως η κατασκευή ημιαγωγών και βιομηχανικές διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας.

Στη βιομηχανική παραγωγή, τα υλικά γραφίτη (σύνθετα υλικά άνθρακα-άνθρακα) επικαλυμμένα με επίστρωση TaC είναι πολύ πιθανό να αντικαταστήσουν τον παραδοσιακό γραφίτη υψηλής καθαρότητας, την επίστρωση pBN, τα εξαρτήματα επικάλυψης SiC κ.λπ. Επιπλέον, στον τομέα της αεροδιαστημικής, το TaC έχει μεγάλες δυνατότητες να να χρησιμοποιηθεί ως αντιοξειδωτική και αντι-απολαυστική επίστρωση υψηλής θερμοκρασίας και έχει ευρείες προοπτικές εφαρμογής. Ωστόσο, εξακολουθούν να υπάρχουν πολλές προκλήσεις για την επίτευξη της παρασκευής πυκνής, ομοιόμορφης, μη ξεφλουδισμένης επίστρωσης TaC στην επιφάνεια του γραφίτη και την προώθηση της βιομηχανικής μαζικής παραγωγής.

Σε αυτή τη διαδικασία, η εξερεύνηση του μηχανισμού προστασίας της επίστρωσης, η καινοτομία στη διαδικασία παραγωγής και ο ανταγωνισμός με το κορυφαίο ξένο επίπεδο είναι ζωτικής σημασίας για την ανάπτυξη και την επιταξία κρυστάλλων ημιαγωγών τρίτης γενιάς.