Οριζόντιος φορέας γκοφρέτας SiC

VeTek Semiconductor'sΟριζόντιος φορέας γκοφρέτας SiC/Το σκάφος έχει εξαιρετικά υψηλό σημείο τήξης (περίπου 2700°C), το οποίο επιτρέπει τηνΟριζόντιος φορέας γκοφρέτας SiC/Το σκάφος να λειτουργεί σταθερά σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας χωρίς παραμόρφωση ή υποβάθμιση. Αυτό το χαρακτηριστικό είναι ιδιαίτερα σημαντικό στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, ειδικά σε διαδικασίες όπως η ανόπτηση σε υψηλή θερμοκρασία ή η εναπόθεση χημικών ατμών (CVD).

οΟριζόντιος φορέας γκοφρέτας SiC/Το Boat παίζει συγκεκριμένα τους ακόλουθους ρόλους στη διαδικασία μεταφοράς βαφερέ:

Μεταφορά και στήριξη γκοφρέτας πυριτίου: Το Horizontal SiC Wafer Boat χρησιμοποιείται κυρίως για τη μεταφορά και υποστήριξη πλακών πυριτίου κατά την κατασκευή ημιαγωγών. Μπορεί να τακτοποιήσει σταθερά πολλαπλές γκοφρέτες πυριτίου μαζί για να διασφαλίσει ότι παραμένουν σε καλή θέση και σταθερότητα σε όλη τη διαδικασία επεξεργασίας.

Ομοιόμορφη θέρμανση και ψύξη: Λόγω της υψηλής θερμικής αγωγιμότητας του SiC, το Wafer Boat μπορεί να κατανείμει αποτελεσματικά τη θερμότητα ομοιόμορφα σε όλες τις γκοφρέτες πυριτίου. Αυτό βοηθά στην επίτευξη ομοιόμορφης θέρμανσης ή ψύξης των πλακών πυριτίου κατά την επεξεργασία σε υψηλές θερμοκρασίες, διασφαλίζοντας τη συνέπεια και την αξιοπιστία της διαδικασίας επεξεργασίας.

Αποτρέψτε τη μόλυνση: Η χημική σταθερότητα του SiC του επιτρέπει να αποδίδει καλά σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικού αερίου, μειώνοντας έτσι την έκθεση των πλακών πυριτίου σε πιθανούς ρύπους ή αντιδρώντα, διασφαλίζοντας την καθαρότητα και την ποιότητα των πλακών πυριτίου.

Στην πραγματικότητα, το Horizontal SiC Wafer Boat μπορεί να παίξει τον παραπάνω ρόλο λόγω των μοναδικών χαρακτηριστικών του προϊόντος:

Εξαιρετική χημική σταθερότητα: Το υλικό SiC έχει εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση σε μια ποικιλία χημικών μέσων. Κατά τη διαδικασία επεξεργασίας διαβρωτικών αερίων ή υγρών, το SiC Wafer Boat μπορεί να αντισταθεί αποτελεσματικά στη χημική διάβρωση και να προστατεύσει τις γκοφρέτες πυριτίου από μόλυνση ή ζημιά.

Υψηλή θερμική αγωγιμότητα: Η υψηλή θερμική αγωγιμότητα του SiC βοηθά στην ομοιόμορφη κατανομή της θερμότητας στη διαδικασία του φορέα και στη μείωση της συσσώρευσης θερμότητας. Αυτό μπορεί να βελτιώσει την ακρίβεια του ελέγχου θερμοκρασίας κατά την επεξεργασία ακριβείας και να εξασφαλίσει ομοιόμορφη θέρμανση ή ψύξη των πλακών πυριτίου.

Χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής: Ο χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής του υλικού SiC σημαίνει ότι η αλλαγή διαστάσεων του SiC Wafer Boat είναι πολύ μικρή κατά τις αλλαγές θερμοκρασίας. Αυτό βοηθά στη διατήρηση της σταθερότητας των διαστάσεων κατά την επεξεργασία σε υψηλή θερμοκρασία και αποτρέπει την παραμόρφωση ή τη μετατόπιση θέσης των πλακών πυριτίου που προκαλείται από τη θερμική διαστολή.

Βασικές φυσικές ιδιότητες του Οριζόντιου Φορέα Γκοφρέτας SiC:

Κατάστημα παραγωγής ημιαγωγών VeTek:

Επισκόπηση της αλυσίδας βιομηχανίας επιταξίας τσιπ ημιαγωγών: