Μεταφορέας βάρκας γκοφρέτας SiC υψηλής καθαρότητας

Το VeTek Semiconductor προσφέρει εξατομικευμένο μεταφορέα γκοφρέτας SiC υψηλής καθαρότητας. Κατασκευασμένο από καρβίδιο του πυριτίου υψηλής καθαρότητας, διαθέτει υποδοχές για να συγκρατεί τη γκοφρέτα στη θέση της, εμποδίζοντάς την να γλιστρήσει κατά την επεξεργασία. Η επίστρωση CVD SiC είναι επίσης διαθέσιμη εάν απαιτείται. Ως επαγγελματίας και ισχυρός κατασκευαστής και προμηθευτής ημιαγωγών, η VeTek Semiconductor's High purity Wafer Wafer SiC είναι ανταγωνιστική τιμή και υψηλή ποιότητα. Η VeTek Semiconductor ανυπομονεί να γίνει ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.

Αποστολή Ερώτησης

περιγραφή προϊόντος

Ο φορέας βάρκας πλακιδίων SiC υψηλής καθαρότητας VeTekSemi είναι ένα σημαντικό ρουλεμάν που χρησιμοποιείται σε κλιβάνους ανόπτησης, κλιβάνους διάχυσης και άλλο εξοπλισμό στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών. Ο μεταφορέας σκαφών γκοφρέτας SiC υψηλής καθαρότητας είναι συνήθως κατασκευασμένος από υλικό καρβιδίου του πυριτίου υψηλής καθαρότητας και περιλαμβάνει κυρίως τα ακόλουθα μέρη:

• Σώμα στήριξης σκάφους: δομή παρόμοια με βραχίονα, που χρησιμοποιείται ειδικά για τη μεταφοράγκοφρέτες πυριτίουή άλλα υλικά ημιαγωγών.

• Δομή υποστήριξης: Ο σχεδιασμός της δομής στήριξης του επιτρέπει να αντέχει βαριά φορτία σε υψηλές θερμοκρασίες και δεν παραμορφώνεται ή καταστρέφεται κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας σε υψηλή θερμοκρασία.

silicon carbide material

υλικό καρβιδίου του πυριτίου

Φυσικές ιδιότητες τουΑνακρυσταλλωμένο καρβίδιο του πυριτίου：

Ιδιοκτησία	Τυπική τιμή
Θερμοκρασία λειτουργίας (°C)	1600°C (με οξυγόνο), 1700°C (μειωτικό περιβάλλον)
Περιεχόμενο SiC	> 99,96%
Δωρεάν περιεχόμενο Si	< 0,1%
Χύδην πυκνότητα	2,60-2,70 g/cm3
Φαινόμενο πορώδες	< 16%
Αντοχή συμπίεσης	> 600 MPa
Αντοχή σε ψυχρή κάμψη	80-90 MPa (20°C)
Δύναμη καυτής κάμψης	90-100 MPa (1400°C)
Θερμική διαστολή @1500°C	4,70*10^-6/°C
Θερμική αγωγιμότητα @1200°C	23 W/m•K
Συντελεστής ελαστικότητας	Συντελεστής ελαστικότητας 240 GPa
Αντοχή σε θερμικό σοκ	Εξαιρετικά καλό

Εάν οι απαιτήσεις της παραγωγικής διαδικασίας είναι υψηλότερες,Επίστρωση CVD SiCμπορεί να εκτελεστεί στον φορέα βάφας γκοφρέτας SiC υψηλής καθαρότητας για να κάνει την καθαρότητα να φτάσει πάνω από 99,99995%, βελτιώνοντας περαιτέρω την αντοχή του σε υψηλή θερμοκρασία.

Βασικές φυσικές ιδιότητες της επίστρωσης CVD SiC:

Ιδιοκτησία	Τυπική τιμή
Κρυσταλλική Δομή	Πολυκρυσταλλική φάση β FCC, κυρίως (111) προσανατολισμένη
Πυκνότητα	3,21 g/cm³
Σκληρότητα	2500 Vickers σκληρότητα (500 g φορτίο)
Grain SiZe	2~10μm
Χημική Καθαρότητα	99,99995%
Θερμοχωρητικότητα	640 J·kg^-1·Κ^-1
Θερμοκρασία εξάχνωσης	2700℃
Καμπτική Αντοχή	415 MPa RT 4 σημείων
Το Modulus του Young	430 Gpa 4pt κάμψη, 1300℃
Θερμική αγωγιμότητα	300 W·m^-1·Κ^-1
Θερμική Διαστολή (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας σε υψηλές θερμοκρασίες, ο φορέας βάρκας γκοφρέτας SiC υψηλής καθαρότητας επιτρέπει στη γκοφρέτα πυριτίου να θερμαίνεται ομοιόμορφα για να αποφευχθεί η τοπική υπερθέρμανση. Επιπλέον, η αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία του υλικού καρβιδίου του πυριτίου του επιτρέπει να διατηρεί τη δομική σταθερότητα σε θερμοκρασίες 1200°C ή και υψηλότερες. working principle of High purity SiC wafer boat carrier

Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας διάχυσης ή ανόπτησης, το κουπί πρόβολου και ο φορέας βάρκας πλακιδίων SiC υψηλής καθαρότητας συνεργάζονται. Οπρόβολο κουπίσπρώχνει αργά το φορέα σκάφους πλακιδίων SiC υψηλής καθαρότητας που μεταφέρει τη γκοφρέτα πυριτίου μέσα στο θάλαμο του κλιβάνου και το σταματά σε μια καθορισμένη θέση για επεξεργασία.

Ο φορέας σκάφους γκοφρέτας SiC υψηλής καθαρότητας διατηρεί την επαφή με τη γκοφρέτα πυριτίου και στερεώνεται σε μια συγκεκριμένη θέση κατά τη διάρκεια της διαδικασίας θερμικής επεξεργασίας, ενώ το κουπί πρόβολου βοηθά στη διατήρηση ολόκληρης της δομής στη σωστή θέση διασφαλίζοντας ταυτόχρονα ομοιομορφία θερμοκρασίας.

Ο φορέας βάρκας γκοφρέτας SiC υψηλής καθαρότητας και το κουπί προβόλου συνεργάζονται για να εξασφαλίσουν την ακρίβεια και τη σταθερότητα της διαδικασίας υψηλής θερμοκρασίας.

Το VeTek Semiconductor σάς παρέχει προσαρμοσμένο μεταφορέα βάφας SiC υψηλής καθαρότητας σύμφωνα με τις ανάγκες σας. Ανυπομονώ για την ερώτησή σας.

VeTek SemiconductorΚαταστήματα μεταφοράς σκαφών γκοφρέτας SiC υψηλής καθαρότητας:

VeTek Semiconductor High purity SiC wafer boat carrier shops

Hot Tags: Μεταφορέας σκαφών γκοφρέτας SiC υψηλής καθαρότητας, Κίνα, Κατασκευαστής, Προμηθευτής, Εργοστάσιο, Προσαρμοσμένο, Αγορά, Προηγμένο, Ανθεκτικό, Κατασκευασμένο στην Κίνα

Ετικέτα προϊόντος

Σχετική Κατηγορία