Υψηλής καθαρότητας SiC Cantilever Paddle

Το Paddle SiC Cantilever High Purity είναι ένα βασικό εξάρτημα που χρησιμοποιείται στον εξοπλισμό επεξεργασίας ημιαγωγών. Το προϊόν είναι κατασκευασμένο από υλικό καρβιδίου του πυριτίου (SiC) υψηλής καθαρότητας. Σε συνδυασμό με τα εξαιρετικά χαρακτηριστικά υψηλής καθαρότητας, υψηλής θερμικής σταθερότητας και αντοχής στη διάβρωση, χρησιμοποιείται ευρέως σε διαδικασίες όπως η μεταφορά γκοφρέτας, η υποστήριξη και η επεξεργασία υψηλής θερμοκρασίας, παρέχοντας αξιόπιστη εγγύηση για την ακρίβεια της διαδικασίας και την ποιότητα του προϊόντος.

Γενικά, το υψηλής καθαρότητας SiC Cantilever Paddle παίζει τους ακόλουθους συγκεκριμένους ρόλους στη διαδικασία επεξεργασίας ημιαγωγών:

Μεταφορά γκοφρέτας: Το κουπί SiC Cantilever υψηλής καθαρότητας χρησιμοποιείται συνήθως ως συσκευή μεταφοράς γκοφρέτας σε κλιβάνους διάχυσης ή οξείδωσης υψηλής θερμοκρασίας. Η υψηλή σκληρότητά του το καθιστά ανθεκτικό στη φθορά και δεν παραμορφώνεται εύκολα κατά τη μακροχρόνια χρήση και μπορεί να εξασφαλίσει ότι η γκοφρέτα παραμένει με ακρίβεια τοποθετημένη κατά τη διαδικασία μεταφοράς. Σε συνδυασμό με την υψηλή θερμοκρασία και την αντοχή του στη διάβρωση, μπορεί να μεταφέρει με ασφάλεια γκοφρέτες μέσα και έξω από το σωλήνα του κλιβάνου σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας χωρίς να προκαλέσει μόλυνση ή ζημιά στα πλακίδια.

Υποστήριξη γκοφρέτας: Το υλικό SiC έχει χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής, πράγμα που σημαίνει ότι το μέγεθός του αλλάζει λιγότερο όταν αλλάζει η θερμοκρασία, γεγονός που βοηθά στη διατήρηση ακριβούς ελέγχου στη διαδικασία. Σε διαδικασίες χημικής εναπόθεσης ατμού (CVD) ή φυσικής εναπόθεσης ατμού (PVD), το SiC Cantilever Paddle χρησιμοποιείται για τη στήριξη και τη στερέωση της γκοφρέτας για να διασφαλιστεί ότι η γκοφρέτα παραμένει σταθερή και επίπεδη κατά τη διαδικασία εναπόθεσης, βελτιώνοντας έτσι την ομοιομορφία και την ποιότητα της μεμβράνης .

Εφαρμογή διεργασιών υψηλής θερμοκρασίας: Το SiC Cantilever Paddle έχει εξαιρετική θερμική σταθερότητα και αντέχει σε θερμοκρασίες έως και 1600°C. Ως εκ τούτου, αυτό το προϊόν χρησιμοποιείται ευρέως σε ανόπτηση υψηλής θερμοκρασίας, οξείδωση, διάχυση και άλλες διεργασίες.

Βασικές φυσικές ιδιότητες του υψηλής καθαρότητας SiC Cantilever Paddle:

Υψηλής καθαρότητας SiC Cantilever Paddleκαταστήματα:

Επισκόπηση της αλυσίδας βιομηχανίας επιταξίας τσιπ ημιαγωγών: