Βάθρο λιωμένου χαλαζία ALD

Το VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Pedestal παίζει βασικό ρόλο στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών ως δομή στήριξης για τοβάρκα χαλαζία, το οποίο χρησιμοποιείται για τη συγκράτηση τουόστια. Το Fused Quartz Pedestal βοηθά στην επίτευξη ομοιόμορφης εναπόθεσης φιλμ διατηρώντας μια σταθερή θερμοκρασία, η οποία επηρεάζει άμεσα την απόδοση και την αξιοπιστία των συσκευών ημιαγωγών. Επιπλέον, το Quartz Pedestal εξασφαλίζει ομοιόμορφη κατανομή της θερμότητας και του φωτός στο θάλαμο διεργασίας, βελτιώνοντας έτσι τη συνολική ποιότητα της διαδικασίας εναπόθεσης.

Πλεονεκτήματα υλικού βάθρου από λιωμένο χαλαζία ALD

Αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες: Το σημείο μαλάκυνσης του λιωμένου βάθρου χαλαζία είναι περίπου 1730°C και μπορεί να αντέξει τη λειτουργία σε υψηλή θερμοκρασία από 1100°C έως 1250°C για μεγάλο χρονικό διάστημα και μπορεί να εκτεθεί σε περιβάλλοντα ακραίων θερμοκρασιών έως και 1450°C για μικρό χρονικό διάστημα.

Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση: Ο συντηγμένος χαλαζίας είναι εξαιρετικά χημικά αδρανής σε όλα σχεδόν τα οξέα εκτός από το υδροφθορικό οξύ. Η αντοχή του στα οξέα είναι 30 φορές υψηλότερη από τα κεραμικά και 150 φορές υψηλότερη από τον ανοξείδωτο χάλυβα. Ο λιωμένος χαλαζίας είναι χημικά απαράμιλλος σε υψηλές θερμοκρασίες, καθιστώντας τον ιδανικό υλικό για πολύπλοκες χημικές διεργασίες.

Θερμική σταθερότητα: Ένα βασικό χαρακτηριστικό του υλικού Fused Quartz Pedestal είναι ο εξαιρετικά χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής του. Αυτό σημαίνει ότι μπορεί εύκολα να χειριστεί τις δραματικές διακυμάνσεις της θερμοκρασίας χωρίς να ραγίσει. Για παράδειγμα, ο λιωμένος χαλαζίας πυριτίας μπορεί να θερμανθεί γρήγορα στους 1100°C και να βυθιστεί απευθείας σε κρύο νερό χωρίς ζημιά, ένα σημαντικό χαρακτηριστικό σε συνθήκες παραγωγής υψηλής πίεσης.

Αυστηρή διαδικασία παραγωγής: Η διαδικασία παραγωγής των βάθρων λιωμένου πυριτίου τηρεί αυστηρά τα υψηλά πρότυπα ποιότητας. Η διαδικασία παραγωγής χρησιμοποιεί διαδικασίες θερμής διαμόρφωσης και συγκόλλησης, οι οποίες συνήθως ολοκληρώνονται σε περιβάλλον καθαρού δωματίου κατηγορίας 10.000. Στη συνέχεια, το βάθρο από λιωμένο γυαλί χαλαζία καθαρίζεται επιμελώς με εξαιρετικά καθαρό νερό (18 MΩ) για να διασφαλιστεί η καθαρότητα του προϊόντος και η βέλτιστη απόδοση. Κάθε τελικό προϊόν ελέγχεται αυστηρά, καθαρίζεται και συσκευάζεται σε καθαρό δωμάτιο κατηγορίας 1.000 ή υψηλότερο ώστε να πληροί τα υψηλά πρότυπα της βιομηχανίας ημιαγωγών.

Υλικό αδιαφανούς πυριτίου χαλαζία υψηλής καθαρότητας

Το VeTeksemi ALD Fused Quartz Pedestal χρησιμοποιεί αδιαφανές υλικό χαλαζία υψηλής καθαρότητας για την αποτελεσματική απομόνωση της θερμότητας και του φωτός. Η εξαιρετική του θωράκιση από τη θερμότητα και οι ιδιότητες θωράκισης του φωτός του επιτρέπουν να διατηρεί ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας στο θάλαμο διεργασίας, διασφαλίζοντας ομοιομορφία και συνέπεια του λεπτούεναπόθεση φιλμστην επιφάνεια της γκοφρέτας.

Πεδία Εφαρμογής

Τα βάθρα λιωμένου χαλαζία χρησιμοποιούνται ευρέως σε πολλούς τομείς της βιομηχανίας ημιαγωγών λόγω της εξαιρετικής τους απόδοσης. Στοδιαδικασία εναπόθεσης ατομικού στρώματος (ALD)., υποστηρίζει τον ακριβή έλεγχο της ανάπτυξης του φιλμ και διασφαλίζει την πρόοδο των συσκευών ημιαγωγών. Στοδιαδικασία εναπόθεσης χημικών ατμών χαμηλής πίεσης (LPCVD)., η θερμική σταθερότητα και η ικανότητα θωράκισης του φωτός του βάθρου χαλαζία υψηλής καθαρότητας παρέχουν εγγυήσεις για ομοιόμορφη εναπόθεση λεπτών μεμβρανών, βελτιώνοντας έτσι την απόδοση και την απόδοση της συσκευής.

Επιπλέον, στη διεργασία γκοφρέτας διάχυσης, η αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία και η αντοχή στη χημική διάβρωση του Fused Quartz Pedestal διασφαλίζουν την αξιοπιστία και τη συνέπεια της διαδικασίας ντόπινγκ υλικού ημιαγωγών. Αυτές οι βασικές διεργασίες καθορίζουν την ηλεκτρική απόδοση των συσκευών ημιαγωγών και τα υλικά Fused Quartz υψηλής ποιότητας διαδραματίζουν απαραίτητο ρόλο στην επίτευξη των καλύτερων αποτελεσμάτων αυτών των διεργασιών.

Καταστήματα VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Pedestal: